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[发明专利]电容式压力传感器及其制备方法和钢琴手套-CN202010329665.2在审
发明人：娄正;沈国震;赵淑芳;冉文浩;王得鹏;尹瑞阳;闫勇旭 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： G06F3/01 文献下载
摘要：一种电容式压力传感器及其制备方法和钢琴手套，该电容式压力传感器包括第一衬底；第一电极，其设置在第一衬底上；介电层，其设置在第一电极上；第二电极，其设置在介电层上；以及第二衬底，其设置在第二电极。本发明通过采用3D结构的介电层构建柔性电容式压力传感器，成功的解决了电容式压力传感器灵敏度低的问题，所制备的电容式压力传感器灵敏度非常的高；本发明设计的3D结构的电容式压力传感器响应速度很快，能够准确无误的采集到所有人体发出的压力信号
电容压力传感器及其制备方法钢琴手套

[发明专利]基于电容式压力传感器的测试压力的系统-CN201210386270.1无效
发明人：不公告发明人 -专利权人：陕西杰创科技有限公司
申请日： 2012-10-13 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：一种基于电容式压力传感器的测试压力的系统，包括电容式压力传感器，电容式压力传感器的输出接入C/F转换模块，C/F转换模块的输出接频率计数器，频率计数器的输出接处理器，处理器接有显示器，本发明很好地利用了电容式压力传感器，克服了其容值变化难以采集的问题，测量的压力值精确稳定。
基于电容压力传感器测试压力系统

[发明专利]一种显示屏制造方法及显示屏、用户设备-CN201510542328.0有效
发明人：李建林 -专利权人： OPPO广东移动通信有限公司
申请日： 2015-08-27 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本发明公开了一种显示屏制造方法及显示屏、用户设备，该显示屏包括显示屏本体和压力传感器，压力传感器是由铟锡氧化物构造成的薄膜形状的电容式压力传感器，电容式压力传感器覆盖在显示屏本体的表面，电容式压力传感器上设置有信号输出端
一种显示屏制造方法用户设备

[发明专利]电容压力传感器及其制备方法-CN202011301093.3在审
发明人：张新伟;蔡清华;杨杰;顾坚俭;薛静静;杨万青 -专利权人：无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种电容压力传感器及其制备方法，包括：将基体衬底形成有绝缘介质层的一面与键合衬底键合，基体衬底与键合衬底之间未设置绝缘介质层的位置形成空腔结构；在基体衬底上形成与基体衬底电连接的第一电极，在键合衬底上形成与键合衬底电连接的第二电极；其中，基体衬底作为电容压力传感器的第一极板，键合衬底作为电容压力传感器的第二极板。本申请将基体衬底作为电容压力传感器的第一极板，键合衬底作为电容压力传感器的第二极板，处于第一极板和第二极板之间的空腔结构可充当电容压力传感器两个电极之间的电介质材料，与现有技术相比，本申请制备电容压力传感器的工艺简单
电容压力传感器及其制备方法

[发明专利]利用静电力对电容式压力传感器的自校准-CN201510419714.0有效
发明人： D·哈默施密特 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2015-07-16 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： G01L25/00 文献下载
摘要：本申请涉及利用静电力对电容式压力传感器的自校准。提供一种压力传感器校准系统，包括一个或多个压力传感器，用于基于来自静电力的薄膜位移或薄膜偏转来校准传感器参数。测量部件测量与在所述一个或多个压力传感器的电极处的所施加的电压相对应的电容值。传感器参数从电容测量和压力测量中得到，由校准部件用于对所述一个或多个压力传感器的校准和再校准。
利用静电力电容压力传感器校准

[发明专利]压力传感器校准装置及方法-CN201711236946.8有效
发明人： M·H·M·纳加尔;I·O·维根 -专利权人：德克萨斯仪器股份有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：压力传感器校准装置(100)包括：第一压力传感器(104)设置在其中的压力室(110)；一个或多个第一传感器(112)，其用于测量来自所执行的物理测试的第一压力传感器的第一电容值；该一个或多个第一传感器用于测量来自对第一压力传感器执行的第一电气测试的第二电容值；以及相关器(118)，其用来基于在对第一压力传感器的物理测试期间确定的第一电容值以及在对第一压力传感器的第一电气测试期间确定的第二电容值来确定相关系数值；以及校准器(314)，其用来基于相关系数值以及在对第二压力传感器(304)进行第二电气测试期间确定的第三电容值来确定校准系数值以便校准第二压力传感器。
压力传感器校准装置方法

[发明专利]一种电容式压力传感器及其制备方法-CN201510434068.5有效
发明人：郭小军;陈苏杰;卓本刚;于鹏飞 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2015-07-22 - 公布日： 2018-01-12 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种电容式压力传感器及其制备方法，所述电容式压力传感器由绝缘层和两片包含电极的衬底组成，所述绝缘层位于两层电极之间，该绝缘层为多孔性弹性薄膜。本发明的绝缘层采用多孔性弹性薄膜，使所述电容式压力传感器对压力的敏感性增加，同时增加了该电容式压力传感器高敏感性的压力范围；多孔性弹性薄膜所采用的材料价格低，加工工艺简单，降低了电容式压力传感器的成本。
一种电容压力传感器及其制备方法

[发明专利]动态压力传感器-CN202180082239.6在审
发明人：黄飘;达米安·雅各布斯 -专利权人：菲特米公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种压力传感器，其包括考虑电容式压力传感器和计算装置，该计算装置考虑了电容式压力传感器的动态校准曲线。
动态压力传感器

[发明专利]操作输入装置-CN201780044156.1在审
发明人：高桥荣广;中野良子 -专利权人：株式会社东海理化电机制作所
申请日： 2017-06-15 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：操作输入装置(1)具有：静电电容传感器(120)，将检测部(10)配置为矩阵状而具有矩阵状的检测区域；压力传感器(130)，与静电电容传感器(120)重叠配置；操作输入传感器(110)，是将静电电容传感器(120)以及压力传感器(130)重叠配置于基部(200)而成的操作检测部；以及控制部(150)，从静电电容传感器(120)以及压力传感器(130)检测静电电容信息(Sij)(i＝1、…、M，j＝1、…、N)以及压力信息(SP)，并将对操作输入传感器(110)的操作状态检测为矩阵状。
静电电容传感器压力传感器矩阵状操作输入装置输入传感器重叠配置操作状态检测操作检测部检测区域静电电容压力信息检测基部配置

[发明专利]复合式压力传感器及其形成方法-CN201210171708.4有效
发明人：王志玮;唐德明 -专利权人：上海丽恒光微电子科技有限公司
申请日： 2012-05-29 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：一种复合式压力传感器及其形成方法，复合式压力传感器包括：基底，所述基底具有CMOS控制电路，位于所述CMOS控制电路上的第一互连结构和第二互连结构，所述第一互连结构、第二互连结构与所述CMOS控制电路电连接；位于所述基底上的电容式压力传感器，与所述第一互连结构电连接；位于所述电容式压力传感器上的电阻式压力传感器，所述电阻式压力传感器与所述第二互连结构电连接，所述电容式压力传感器和电阻式压力传感器之间为第一介质层；位于所述电阻式压力传感器上的具有开口的第二介质层，所述开口定义出压力感应区的位置。本技术方案的压力传感器相对于现有技术单一模式的压力传感器可以提高压力感测的精度，扩大压力感测的范围。
复合压力传感器及其形成方法

[实用新型]金属敏感膜片电容式压力传感器-CN202221703559.7有效
发明人：华俊杰 -专利权人：海速芯（杭州）科技有限公司;深圳海速芯业科技有限公司;无锡市海速芯业电子科技有限公司
申请日： 2022-07-04 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本实用新型提供金属敏感膜片电容式压力传感器，涉及压力传感器技术领域。该金属敏感膜片电容式压力传感器包括电容式压力传感器本体，所述电容式压力传感器本体顶部转动连接有转动杆，所述转动杆外侧固定连接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮底部啮合连接有第二锥齿轮。该金属敏感膜片电容式压力传感器，转动轴转动带动第一齿轮转动，第一齿轮转动带动圆形齿圈转动，圆形齿圈转动带动第二齿轮转动，此时可以带动圆形套筒转动，由于螺纹杆螺纹连接于限位杆外侧，同时螺纹杆螺纹连接于圆形套筒内部，进而第二齿轮转动带动螺纹杆边转动边向安装孔内部运动，以此可以快速对电容式压力传感器本体进行安装，节省时间，节省人力。
金属敏感膜片电容压力传感器

[发明专利]一种电容型压力传感器-CN202010738164.X在审
发明人：邹定锴;高亭;郭发林 -专利权人：南京天易合芯电子有限公司
申请日： 2020-07-28 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种电容型压力传感器，压力传感器分为两部分，第一部分为压力感应单元，可以感知外部压力并产生伸缩形变；第二部分为PCB，PCB上设计带有屏蔽功能的电容检测单元。当压力传感器受到按压时，压力感应部分产生形变，PCB上的电容检测单元会检测到由于形变产生的微小电容变化，该变化会通过高性能电容检测电路读出，转换为压力值。本发明电容压力传感器可以有效地提取按压信号，并转换为电容信号，然后通过高性能电容检测单元读出压力值。本发明电容压力传感器结构组装简单，成本低，可靠性高，抗干扰能力强，非常适用于消费类电子产品的压力检测应用。
一种电容压力传感器

[发明专利]基于薄膜压力传感器与三轴加速度计的三维多点式触摸屏-CN201310358756.9有效
发明人：黄奎 -专利权人：江苏物联网研究发展中心
申请日： 2013-08-18 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： G06F3/044 文献下载
摘要：本发明提供一种基于薄膜压力传感器与三轴加速度计的三维多点式触摸屏，包括：电容触摸屏体、设置在电容触摸屏体背面的若干个薄膜压力传感器、电容触摸屏控制芯片、压力传感器接口电路、主控芯片；所述电容触摸屏体连接电容触摸屏控制芯片，所述薄膜压力传感器连接压力传感器接口电路；电容触摸屏控制芯片和压力传感器接口电路分别与主控芯片连接；所述主控芯片连接一三轴加速度传感器，所述三轴加速度传感器用于获取垂直于电容触摸屏体表面的加速度值并传输给主控芯片；本发明能够实现设备处于不同倾斜姿态和运动状态下时对垂直于触摸屏表面的触控压力的准确感知，从而准确获得多个触摸点对应的实际触控压力。
基于薄膜压力传感器加速度计三维多点触摸屏

[发明专利]MEMS电容压力芯片及其制备方法、电容式压力传感器-CN202110660644.3有效
发明人：王立会;刘云飞;周瑜;滕超;冯杰 -专利权人：中国电子科技集团公司第三研究所
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种微机电系统MEMS电容压力芯片及其制备方法、电容式压力传感器，本发明在上极板及下极板上分别设置了感压膜和引压孔，通过双感压膜结构以及引压孔结构的设计，使得上、下极板会产生相同大小的形变，该形变引起电容变化是现有单感压膜的电容式压力传感器芯片的两倍，所以本发明芯片灵敏度也是现有电容压力传感器芯片的两倍，因此本发明可以有效提高电容式压力传感器灵敏度，从而解决了现有电容式压力传感器灵敏度低的问题
mems 电容压力芯片及其制备方法压力传感器

[实用新型]一种采用硅电容压力技术的压力式水位计-CN201520753306.4有效
发明人：张涵福 -专利权人：内蒙古信源信息技术有限公司
申请日： 2015-09-28 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： G01F23/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种水文、水利和环境监测仪器仪表领域，尤其涉及一种采用硅电容压力技术的压力式水位计，包括控制器单元、蓄电池、水位传感器单元、数据预处理单元、环境传感器单元、存储器单元、数据传输单元以及报警器，所述水位传感器单元包括硅电容压力传感器1、硅电容压力传感器2以及硅电容压力传感器3，所述环境传感器单元包括温度传感器以及大气压力传感器。本实用新型的采用硅电容压力技术的压力式水位计，较好地解决了气泡式水位计单点测量时精度不高、安装维护麻烦、使用寿命短以及雷达水位计费用较高等问题。
一种采用电容压力技术水位计