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[发明专利]一种半导体制冷靶材配叠转换冷却薄膜溅射机-CN201910692042.9在审
发明人：蔡玉明 -专利权人：蔡玉明
申请日： 2019-07-30 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体制冷靶材配叠转换冷却薄膜溅射机，其结构包括靶材溅射主控台、靶材溅射护套、切换柄、辅盖、调控视板、半导体靶材配叠转换冷却装置，靶材溅射护套底端通过嵌入的方式安装在靶材溅射主控台顶端，辅盖顶端设有切换柄，本发明通过在装载靶材时将靶材辅套与靶材内套展开调节至适合该靶材的约束点并通过插接被压片完成配接固定，同时能够通过掰拉侧撑翻控机构调节至适应该靶材的直径，以使用靶材的实际高度，当靶材消耗到靶材主套的高度时，形成一条直线，引导内部靶材的热量并以最大接触面与其进行交换，能够使靶材的表面始终处于均匀轰击的状态，并且最大限度的自动匹配调节冷却的状态。
靶材溅射切换柄主控台辅盖护套半导体靶材半导体制冷冷却薄膜冷却装置自动匹配溅射机嵌入的约束点侧撑插接底端内套配接视板压片主套转换轰击冷却装载消耗调控交换

[发明专利]靶材安装结构及离子源溅射系统-CN201911417970.0在审
发明人：刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;吴秋生;刘运鸿 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本申请涉及一种靶材安装结构，包括：主轴、靶材底座以及固定支撑轴，所述靶材底座上设有多个靶材安装座，各个靶材安装座连接螺杆；主轴与靶材底座连接，带动靶材底座旋转；固定支撑轴通过单向逆止结构分别与靶材底座和螺杆的一端连接，螺杆的另一端通过涡轮与靶材安装座连接；主轴往正向旋转时，靶材底座跟随转动，单向逆止结构使得所述螺杆相对于靶材底座静止，螺杆相对于所述固定支撑轴位移，靶材安装座保持静止；主轴往反向旋转时，靶材底座跟随转动，单向逆止结构使得螺杆相对于固定支撑轴位移，螺杆相对于靶材底座位移，螺杆通过涡轮转动靶材安装座。本申请只需通过一个电机即可实现靶材的选择和旋转，且传动机构简单。
安装结构离子源溅射系统

[发明专利]磁控源和磁控溅射设备、以及磁控溅射方法-CN201010590171.6有效
发明人：叶华;夏威 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2010-12-15 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提出一种磁控源，包括：靶材；磁控管，所述磁控管位于所述靶材上方；靶材厚度测量器，靶材厚度测量器用于检测所述靶材的厚度；扫描机构，扫描机构以控制磁控管以预定轨迹在靶材上方移动，且扫描机构与靶材厚度测量器相连以在磁控管停止运行时控制靶材厚度测量器在靶材上方移动以检测靶材的厚度；和控制器，控制器分别与靶材厚度测量器和所述扫描机构相连，控制器对所述磁控管的预定轨迹进行设定，并根据靶材厚度测量器检测的厚度测量信息调整磁控管的预定轨迹。本发明实施例通过靶材厚度测量器对靶材进行厚度检测，从而根据靶材厚度检测结果及时地调整磁控管的运行轨迹，以达到提高靶材利用率和金属离化率的目的。
磁控源磁控溅射设备以及方法

[实用新型]靶材安装结构及离子源溅射系统-CN201922501847.9有效
发明人：刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;吴秋生;刘运鸿 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本申请涉及一种靶材安装结构，包括：主轴、靶材底座以及固定支撑轴，所述靶材底座上设有多个靶材安装座，各个靶材安装座连接螺杆；主轴与靶材底座连接，带动靶材底座旋转；固定支撑轴通过单向逆止结构分别与靶材底座和螺杆的一端连接，螺杆的另一端通过涡轮与靶材安装座连接；主轴往正向旋转时，靶材底座跟随转动，单向逆止结构使得所述螺杆相对于靶材底座静止，螺杆相对于所述固定支撑轴位移，靶材安装座保持静止；主轴往反向旋转时，靶材底座跟随转动，单向逆止结构使得螺杆相对于固定支撑轴位移，螺杆相对于靶材底座位移，螺杆通过涡轮转动靶材安装座。本申请只需通过一个电机即可实现靶材的选择和旋转，且传动机构简单。
安装结构离子源溅射系统

[实用新型]一种平面靶材-CN201920409388.9有效
发明人：沈登涛;曾一鑫 -专利权人：信元光电有限公司
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种平面靶材，包括背板、设于所述背板上的靶材组和设于所述靶材组上的压条，所述靶材组通过所述压条可拆卸固定于所述背板上；所述靶材组包括多个成多列多行布置的子靶材，所述子靶材的行数为二的倍数且使得靶材组对应于所述背板中线形成上下对称的布置本实用新型提供的平面靶材通过设置由成多列多行布置且能替换位置的子靶材组成的靶材组，且靶材组可拆卸固定于所述背板上，子靶材的行数为二的倍数且使得靶材组对应于所述背板中线形成上下对称的布置，从而因磁场强度原因造成不同位置上的子靶材消耗不同时，可以将子靶材位置进行替换，从而有效提高了利用率，降低了生产成本。
靶材背板压条本实用新型可拆卸固定多列多行平面靶材上下对称行数靶材位置靶材组成强度原因替换位置磁场生产成本替换消耗

[发明专利]一种透明电路板用镧系靶材及其制造方法-CN201710010630.0在审
发明人：李天奇 -专利权人：广州市祺虹电子科技有限公司
申请日： 2017-01-06 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种透明电路板用镧系靶材，以重量百分比计，包括0.03～0.2％的La、0.04～0.08％的Ce、0.01～0.06％的Yb、0～0.05％的Gd、0～0.03％的Lu、0～0.03％的Tb，余量为靶材基质，还公开了其制造方法。本发明通过在靶材基质中增加镧系金属，与同类型未添加靶材相比，导电性能增加，电阻率下降5～18％；靶材作用于玻璃基板时，附着力明显增强，与玻璃表面溅射的其他附着层互融性明显增强，附着力提高2～5％表面焊接电子器件时
一种透明电路板用镧系靶材及其制造方法

[发明专利]一种p型半导体掺镍氧化铜靶材及其制备方法-CN200810036561.1有效
发明人：张群;施展;杨铭;王颖华 -专利权人：复旦大学
申请日： 2008-04-24 - 公布日： 2008-09-10 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明属于半导体氧化物材料领域，具体为一种p型半导体掺镍氧化铜(Cu 1-xNi xO)靶材及其制备方法。本发明将氧化铜粉末和氧化镍粉末均匀混合，采用粉末压片机干压成型，用氮气作为保护气体，在管式电阻炉中烧结成致密的块体靶材。所制备的靶材具有p型导电的特征。该发明制作工艺简单、经济，制成的靶材成分均匀，性能稳定。本发明方法获得的靶材在磁控溅射技术和脉冲等离子体沉积技术等制备光电性能优良的p型导电透明掺镍氧化铜薄膜领域具有应用价值。
一种半导体氧化铜及其制备方法

[发明专利]靶材组件的制作方法-CN200910261152.6有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-12-28 - 公布日： 2010-06-02 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种靶材组件的制作方法，包括：提供靶材，所述靶材为铬或铬合金；利用电镀工艺，在靶材的焊接面上形成镍金属镀层；对铬或铬合金靶材和铜或铜合金背板进行钎焊，将铬或铬合金靶材焊接至铜或铜合金背板形成靶材组件。本发明能够通过在靶材的焊接面形成金属镀层，增强靶材与背板焊接后的结合强度，制作出符合要求的靶材组件。
组件制作方法

[实用新型]一种靶材-CN201920393122.X有效
发明人：臧龙杰 -专利权人：昆山世高新材料科技有限公司
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供一种靶材，包括靶材；所述靶材下端面设置有铜网，所述铜网位于硅胶内，所述铜网与硅胶平面大小相同，所述铜网不与靶材连接的一侧设置有靶材背板，所述铜网与靶材以及靶材背板均为贴合连接，所述靶材、铜网以及靶材背板均通过硅胶粘合本实用新型一种靶材，结构简便，能使硅胶完全导电，并且导电效果好。
靶材铜网靶材背板硅胶本实用新型导电效果硅胶平面贴合连接下端面粘合导电

[实用新型]组合选型式供应装置-CN202221662348.3有效
发明人：赵军;顾勇华;杨贺 -专利权人：维克多精密工业技术（苏州）有限责任公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型组合选型式供应装置，包括靶材供应模块，靶材供应模块包括分别供应Cr靶材、TI靶材、AL靶材的三个靶材供应管道；靶材供应模块对应设置有选型模块，选型模块包括分别对应三个靶材供应管道的管道开闭对应体；靶材供应模块对应设置有用于驱动管道开闭对应体进行三个靶材供应管道其中之一关闭的管道开闭驱动模块。
组合选型供应装置

[实用新型]一种靶材冷却装置-CN201721851177.8有效
发明人：刘文卿;严佐毅;张龙;张丽 -专利权人：安徽金美新材料科技有限公司
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型属于溅射靶材领域，具体来说涉及一种靶材冷却装置，包括靶材、靶材余料，所述靶材与所述靶材余料为一整体，所述靶材余料上设置有若干冷媒通道；本实用新型简易方便，能够在不增加成本的基础上直接对靶材进行冷却，大大降低靶材温度，提高传热效率，并且能够更加均匀的冷却靶材，提高沉积薄膜的性能。
靶材余料本实用新型靶材冷却冷却沉积薄膜传热效率溅射靶材冷媒通道对靶简易

[实用新型]一种板状靶材装夹机构-CN202020930323.1有效
发明人：王俊锋;王锋;袁明 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2020-05-27 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及靶材装夹供料技术领域，尤其公开了一种板状靶材装夹机构，包括载架、设置于载架的加热单元及磁铁、用于冷却载架所承载的板状靶材的冷却单元，载架设有与板状靶材配合使用的锥形孔，锥形孔靠近板状靶材一端的孔径小于锥形孔远离板状靶材一端的孔径，加热单元用于加热蒸发载架所承载的板状靶材，磁铁作用于板状靶材蒸发后经由锥形孔移出的靶材离子；实际使用时，将板状靶材设置在载架上，加热单元将载具承载的板状靶材加热蒸发成靶材离子经由锥形孔移出供料，借助冷却单元冷却板状靶材，避免板状靶材温度过高而炸裂；板状靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。
一种板状靶材装夹机构

[发明专利]一种靶材、靶材制备方法及装置-CN201810489753.1在审
发明人：王云能 -专利权人：米亚索乐装备集成（福建）有限公司
申请日： 2018-05-21 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明是关于一种靶材、靶材制备方法及装置。该靶材包括：背衬管；形成于背衬管的外表面的靶材体；其中，靶材体包括：两个端段和中间段；其中，所述端段的第一靶材厚度大于所述中间段的第二靶材厚度。该技术方案增加了靶材体的端段的厚度，延长靶材在使用过程中的消耗时长，从而防止靶材体两端先耗光，提高靶材的利用率。
靶材端段制备方法及装置背衬管中间段时长消耗

[发明专利]一种靶材的加工方法-CN201110028684.2有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈玉蓉 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2011-01-26 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： B23P13/00 文献下载
摘要：一种靶材的加工方法，所述方法包括：提供靶材坯料；对所述靶材坯料按目标靶材的形状进行下料，所述目标靶材为多个分割靶材装配组成的靶材；对下料后的靶材坯料进行机械加工，得到半成品靶材；将所述半成品靶材利用线切割进行分割，得到分割靶材。
一种加工方法

[实用新型]一种长寿命溅射靶材组件-CN202020968641.7有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;曹欢欢 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种长寿命溅射靶材组件，所述长寿命靶材组件包括阶梯状靶材与环形背板；所述阶梯状靶材包括靶材基板以及凸出于靶材基板溅射面的凸块，靶材基板的中心与凸块的中心同心；所述靶材基板的侧壁与环形背板的内壁连接本实用新型通过选用环状背板，并将靶材选择为阶梯状靶材，在增加靶材厚度的同时能够使靶材组件的整体厚度保持不变，而且能够保证背板的冷却效果。本实用新型提供的长寿命靶材组件的结构简单，便于加工生产，成本较低。
一种寿命溅射组件