专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]热处理装置和热处理方法-CN200380102592.8无效
  • 藤田武彦;冈田充弘;梅泽好太;长谷部一秀;坂本浩一 - 东京毅力科创株式会社
  • 2003-10-29 - 2005-12-14 - H01L21/205
  • 本发明的热处理装置配备:保持多个基板的保持器;搬入所述保持器的反应容器;把处理气体供给所述反应容器的处理气体供给机构;和在所述处理气体供给时,对所述反应容器加热,对基板施以成膜处理的加热机构,使在一批量处理中预定处理的基板枚数数据与所述处理气体的流量参数目标值数据对应的流量参数表数据储存在流量参数表数据存储部内控制机构根据在一批量处理中预定处理的基板实际枚数,基于在所述流量参数表数据存储部内储存的流量参数表数据,得到所述处理气体流量参数目标值数据,并遵从该目标数据,控制所述处理气体供给机构。
  • 热处理装置方法
  • [发明专利]提升物理气相沉积反应炉良率的方法-CN202111212550.6在审
  • 杨孟;刘飞;游志聪 - 东莞美景科技有限公司
  • 2021-10-18 - 2022-01-11 - C23C14/22
  • 本发明公开了提升物理气相沉积反应炉良率的方法,包括以下步骤:对物理气相沉积反应炉的内壁、遮覆板和挡板进行喷砂清洁及粗化;将金属颗粒或粉末经金属喷涂技术喷涂在经过喷砂清洁的物理气相沉积反应炉的内壁、遮覆板的外表面和挡板的外表面上,并分别形成物理气相沉积的内壁金属喷涂层、遮覆板外表面金属喷涂层和挡板外表面金属喷涂层;当所述物理气相沉积的内壁金属喷涂层、遮覆板外表面金属喷涂层和挡板外表面金属喷涂层累积金属镀膜到一定程度后,去除金属镀膜
  • 提升物理沉积反应炉方法
  • [发明专利]基片处理设备及处理方法-CN202310287020.0在审
  • 李翔;赵昂璧;糜珂 - 江苏微导纳米科技股份有限公司
  • 2023-03-22 - 2023-06-27 - C23C16/455
  • 基片处理设备包括腔体以及容置在腔体内的多个单元气室,多个单元气室上对应开设有开口,单元气室内分别通入有处理气体,当待沉积基片穿过开口在多个单元气室间移动时,每个单元气室内的处理气体均可对待沉积基片进行处理;腔体内通入有隔离气体,隔离气体不与处理气体发生反应,隔离气体用以阻止处理气体通过开口溢出。本申请所提供的基片处理设备,通过将多个彼此独立的单元气室容置在腔体内,使得各个单元气室内的处理气体无法相互接触而发生反应,从而避免在腔体内产生积粉。
  • 处理设备方法
  • [发明专利]成膜装置及成膜方法-CN201710192799.2有效
  • 吉田武史 - 株式会社昭和真空
  • 2017-03-28 - 2020-12-15 - C23C16/455
  • 原料气体供给部用于成膜处理,向成膜室(10)供给含有成膜成分的原料气体,第二气体配管(90)用于成膜处理,将与原料气体不同的处理气体从蓄存该处理气体的处理气体蓄存部向成膜室(10)供给。控制部在从原料气体供给部向成膜室(10)供给原料气体期间,以使处理气体在第二气体配管(90)中流动而从处理气体蓄存部向成膜室(10)供给的方式进行控制。
  • 装置方法
  • [实用新型]一种物理气相沉积炉-CN202121536975.8有效
  • 董家海 - 浙江诺华陶瓷有限公司
  • 2021-07-07 - 2022-08-26 - C23C14/54
  • 本实用新型涉及气相炉设备技术领域,更具体的说是一种物理气相沉积炉。本实用新型提供一种物理气相沉积炉,其有益效果为可以实现对工作的气相沉积炉进行温度测量,从而确保气相炉内的温度为加工的适宜温度。一种物理气相沉积炉,包括气相炉、抽气口、气孔和温度传感器,气相炉上设置有进气口,气相炉上设置有气孔,温度传感器与气相炉外壁接触。一种物理气相沉积炉还包括盛放板,多个盛放板均固定连接在气相炉内部。一种物理气相沉积炉还包括盛放槽,多个盛放板上均设置有盛放槽。
  • 一种物理沉积

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