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[发明专利]一种气压压差浸渍设备-CN202210522387.1在审
发明人：姚尚兵;张光远 -专利权人：上海皓越电炉技术有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： B22D23/04 文献下载
摘要：所述地坑的底部上设有下升降装置，所述下升降装置的上方设有坩埚升降装置，所述坩埚升降装置的上方设有上下开口的压力罐体，所述压力罐体固定在机架上，所述炉盖顶部通过连接装置连接吊装装置，所述压力罐体的内部设有下炉体热场，所述下炉体热场的上方的压力罐体的内部设有上炉体热场，所述上炉体热场的内部设有模具，所述压力罐体一侧的的机架上设有真空装置；通过设置可进行抽真空的模具以及可升降的坩埚，金属熔化后，坩埚上升，使升液管插入金属熔液内，模具内部和炉体内部隔绝，然后通入气体到炉内，使金属熔液通过压差被压入模具内部并渗透入模具内的多孔材料中，保证了后续的成型效果。
一种压压浸渍设备

[发明专利]一种炉体热场及大尺寸锗单晶生长工艺-CN202211392095.7在审
发明人：崔丁方;王同波;王云鹏;张文泽熹;陈俊肖;韩帅民;孙燕;张仕波;缪彦美;子光平 -专利权人：云南驰宏国际锗业有限公司;昆明冶金研究院有限公司北京分公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C30B29/08 文献下载
摘要：本发明提出了一种炉体热场及大尺寸锗单晶生长工艺，并设计优化出大尺寸（300mm）锗单晶的生长工艺。通过仿真模拟技术和拉晶试验技术，优化热场选材、热场部件尺寸、水冷强度和保温毡布置等，开发出适合于坩埚/晶体直径比小于2.0的炉体热场；在该热场条件下，优化出放肩、转肩、等径、收尾阶段的功率、拉速加热器温度协同控制工艺，使得在坩埚/晶体直径比小于2.0的炉体热场内高效完成大尺寸红外锗单晶的生长，应用于远距离红外探测。
一种炉体热场尺寸锗单晶生长工艺

[发明专利]一种可稳定控温改善晶片生长均匀性的立式成膜装置-CN202310020001.1在审
发明人：刘鹏;徐文立;沈磊 -专利权人：宁波恒普真空科技股份有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本发明公开一种可稳定控温改善晶片生长均匀性的立式成膜装置，包括反应腔室、多区域控温机构和特定点位，反应腔室内热场分为上、下两部分，分别用于过程气体预热和晶片加热，且均为多区分布热场，成膜装置顶部至少安装有两个测温元件，成膜工艺过程中监测晶片中心和边缘温度，反馈至控制系统，实现下炉体热场的温控输出。下炉体热场靠近基座发热体辅助加热晶片，上炉体热场靠近进气室，由进气室处热电偶反馈温度数据控制输出功率，晶片成膜至一定膜厚维持原先热场输出功率，避免由于薄膜干涉产生温度变化影响正常成膜过程。
一种稳定改善晶片生长均匀立式装置

[实用新型]一种可稳定控温改善晶片生长均匀性的立式成膜装置-CN202320034064.8有效
发明人：刘鹏;徐文立;沈磊 -专利权人：宁波恒普真空科技股份有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本实用新型公开一种可稳定控温改善晶片生长均匀性的立式成膜装置，包括反应腔室、多区域控温机构和特定点位，反应腔室内热场分为上、下两部分，分别用于过程气体预热和晶片加热，且均为多区分布热场，成膜装置顶部至少安装有两个测温元件，成膜工艺过程中监测晶片中心和边缘温度，反馈至控制系统，实现下炉体热场的温控输出。下炉体热场靠近基座发热体辅助加热晶片，上炉体热场靠近进气室，由进气室处热电偶反馈温度数据控制输出功率，晶片成膜至一定膜厚维持原先热场输出功率，避免由于薄膜干涉产生温度变化影响正常成膜过程。
一种稳定改善晶片生长均匀立式装置

[实用新型]一种泡生法蓝宝石单晶炉-CN202122606999.2有效
发明人：卢惠民;卢小溪 -专利权人：济南易航新材料科技有限公司
申请日： 2021-10-27 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本实用新型属于大尺寸蓝宝石技术领域，本实用新型提供了一种泡生法蓝宝石单晶炉，包含机械部分和电气部分，所述机械部分包含炉体热场系统，所述炉体热场系统由外向内依次包含炉壳、侧反射屏、保温材料、加热体、坩埚；本实用新型的炉体热场系统温度均匀、温度梯度小，能够有效避免晶体生长的扰动问题。采用本实用新型的泡生法蓝宝石单晶炉得到的蓝宝石晶体生长均匀，晶体内气泡少、晶界少，晶体的质量高、尺寸大、性能好。
一种泡生法蓝宝石单晶炉

[实用新型]一种炉体热场结构-CN202222068134.X有效
发明人：贾建平;周晖雨;贾建顺 -专利权人：苏州山人纳米科技有限公司
申请日： 2022-08-08 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： F27D1/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种炉体热场结构，包括炉架，所述炉架的顶部设置有测量仪安装平台，所述测量仪安装平台的顶部设置有炉腔，所述炉腔的内部设置有发热体，所述测量仪安装平台的内侧设置有样件支撑机构，所述样件支撑机构的顶端贯穿炉腔设置有样件该一种炉体热场结构，通过采用钼丝加工而成的发热体为加热元件进行加热，与普通的热阻式发热体相比，热场具有洁净度高，挥发少等优点，保证产品的清洁性，且隔热采用多层金属反射屏加工而成，保温效果好，整个隔热屏采用金属框架固定
一种炉体热场结构

[发明专利]空气动力加热炉-CN201310560548.7无效
发明人：王照波;李文岛;野延年;朱传俊 -专利权人：西安航天化学动力厂
申请日： 2013-11-10 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： F24J3/00 文献下载
摘要：种空气动力加热炉，叶轮位于炉体内。导流板通过导流板支架安装在炉体内，并固定在炉体后壁板内表面上。导流板与叶轮相邻的两个表面之间有间距；导流板中心有进风孔与叶轮的中心同心。导流板的外圆周有轴向凸出的导流边，并且该导流边朝向该炉体内墙。直角导流边增大了紊流，提高加热均匀性加热深度。本发明以风能作为加热介质，通过电机驱动叶轮实现风能和热能转换，利用风能的流动实现温度场的高度均匀，同时可省略电热管等加热元件，减少保持温场均匀性的部件，减少了局部高温点、炉体热容和炉体热桥，从而减少了能量消耗
空气动力加热炉

[实用新型]一种抗炉体热应力变形的装置及基板玻璃成型炉-CN202222811510.X有效
发明人：邹帅帅 -专利权人：湖南邵虹特种玻璃股份有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C03B17/06 文献下载
摘要：本实用新型属于基板玻璃生产技术领域，具体是涉及到一种抗炉体热应力变形的装置及基板玻璃成型炉，该装置包括：相对设置的固定座一和固定座二，以及两端分别与固定座一和固定座二连接的长度调节组件；所述固定座一和固定座二分别刚性连接于炉体上部和下部，所述长度调节组件可实时调节长短依靠自身刚度抵消炉体热应力变形，该基板玻璃成型炉通过上炉体和下炉体的两侧分别设置的多个抗炉体热应力变形的装置，有效解决成型炉在升温及生产过程中，温度发生剧烈变化时，在热应力作用下产生的形变问题，维持炉子本体及内部结构相关设备质量的稳定性，减小内部温度场的波动，为有序开展工艺对策奠定良好的设备基础。
一种抗炉体热应力变形装置玻璃成型

[实用新型]一种卧式真空炉的炉体热区安装装置-CN201821246751.1有效
发明人：杜连合 -专利权人：北京北方华创真空技术有限公司
申请日： 2018-08-03 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： F27B5/05 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空炉技术领域，尤其涉及一种卧式真空炉的炉体热区安装装置。所述卧式真空炉的炉体热区安装装置包括轴向设于炉体内腔中的导轨，所述炉体反射屏的底部可滑动地设于所述导轨上。相对于现有的将炉体热区吊挂在炉体内的安装结构，所述卧式真空炉的炉体热区安装装置无需螺杆或螺栓等吊挂件，结构更加简单。本安装装置便于炉体反射屏的拆装，从而便于炉体热区的安装维护，减轻了工人的劳动强度，提高了工作效率。同时由于炉体反射屏不受强制约束，在高温下是均匀膨胀或变形，在长期使用后其外形保持良好，延长了炉体反射屏的使用寿命。
炉体热安装装置卧式真空炉反射屏炉体导轨本实用新型安装结构安装维护工作效率可滑动地炉体内腔使用寿命外形保持螺栓吊挂件真空炉拆装吊挂螺杆轴向变形体内膨胀

[发明专利]一种底部气冷的多晶硅半熔铸锭装置及工艺-CN201410342848.2在审
发明人：姜大川;李佳艳;谭毅;李鹏廷;任世强 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2014-07-17 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：一种底部气冷的多晶硅半熔铸锭装置，所述装置包括炉体，炉体内部设有定向凝固块和置于定向凝固块之上的坩埚；所述定向凝固块下方中央处设有通气的底部管道(9)，底部管道的管口离定向凝固块的距离为2～5cm。本发明所述的装置节省了炉体热场成本、人力成本及熔化阶段的能原消耗，降低生产成本5％，能够节省半熔工艺的熔化、长晶及冷却时间约4h，节省时间成本5％。
一种底部气冷多晶熔铸装置工艺

[发明专利]一种利用气体热载体为热源的颗粒煤立式干馏炉-CN201910195439.7在审
发明人：张小康;韩保平;张琪 -专利权人：上海新佑能源科技有限公司
申请日： 2019-03-14 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： C10B53/04 文献下载
摘要：本发明公开的一种利用气体热载体为热源的颗粒煤立式干馏炉，包括炉体和安装在炉体顶部进煤端的颗粒煤上料系统以及安装在炉体底部出焦端的出焦装置，其在炉体内由上而下依次设置有干馏气体收集及输送系统、煤预热段、干馏段以及熄焦段；在干馏段设置有气体热载体分布系统，气体热载体分布系统将气体热载体导入干馏段，对进入干馏段的颗粒煤进行干馏，干馏后产生的干馏气体与气体热载体进入煤预热段，对进入煤预热段的颗粒煤进行预热，然后被所述干馏气体收集及输送系统收集而送出本发明采用气体热载体加热，采用了水雾干法熄焦方式熄焦、双通道干馏等多项技术的组合，实现多产有效干馏气体、稳定运行、节能、节水等多种目标。
气体热载体颗粒煤干馏气体干馏段煤预热段干馏立式干馏炉分布系统输送系统热源炉体出焦装置干法熄焦炉体顶部上料系统稳定运行依次设置双通道熄焦段预热出焦水雾送出熄焦加热体内节能节水

[实用新型]一种全自动数控稳定热场系统装置-CN201520924203.X有效
发明人：张会选;李庆跃;李凯;徐峰 -专利权人：黄山市东晶光电科技有限公司
申请日： 2015-11-19 - 公布日： 2016-03-30 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全自动数控稳定热场系统装置，其特征在于：包括控制器，用于安置坩埚的炉体，设置在炉体上部的上隔热屏，以及安装在上隔热屏上用于控制上隔热屏升降的第一调节装置，所述控制器与第一调节装置相连接，用于根据炉体内晶体的重量变化控制上隔热屏的升降。本实用新型通过控制器对炉体内晶体重量变化进行实时监测，并驱动第一调节装置带动上隔热屏进行升降，实现了对炉体内垂直温度梯度的有效调整，大大降低了退火难度，与此同时降低了退火周期和晶体热应力，使得蓝宝石单晶的报废率得到大幅度降低
一种全自动数控稳定系统装置

[实用新型]用于半导体热处理设备的冷却装置及半导体热处理设备-CN202223135896.3有效
发明人：周裔朋;张洪;桂晓波;李补忠;郑建宇 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开一种用于半导体热处理设备的冷却装置及半导体热处理设备，所述半导体热处理设备包括加热炉体(200)，所述冷却装置(100)用于冷却所述加热炉体(200)；所述冷却装置(100)包括支撑筒体(110)和冷却管路(120)；所述支撑筒体(110)包括外壳(116)，所述冷却管路(120)设置于所述外壳(116)的内壁上，所述支撑筒体(110)可拆卸的套装于所述加热炉体(200)之外。上述方案能够解决半导体热处理设备的加工效率较低的问题。
用于半导体热处理设备冷却装置

[发明专利]等离子体热风炉及基于等离子体热风炉气体循环回收装置-CN202110008537.2在审
发明人：白玉龙;白碧哲;陈国新;林泓任;焦阳;江军;翟双庆;孙毅;陶立平 -专利权人：陕西翼飞航智能科技有限公司
申请日： 2021-01-05 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： F24H3/04 文献下载
摘要：本发明属于加热设备技术领域，涉及一种等离子体热风炉及基于等离子体热风炉气体循环回收装置，等离子体热风炉包括炉体以及设置在炉体外壳上的等离子体发生器；等离子体发生器与炉体内腔贯通，炉体上设置调温气源入口以及热风气体出口；等离子体发生器上设置有与炉体内腔贯通的启动气源入口；启动气源入口脱盐启动气源管路相连通；基于等离子体热风炉气体循环回收装置包括等离子体热风炉以及工业窑炉；工业窑炉与热风气体出口相连，工业窑炉经冷却净化装置与调温气源入口和启动气源入口相连
等离子体热风炉基于气体循环回收装置

[发明专利]一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置及生长方法-CN202110692780.0在审
发明人：李东振;王东海;徐军 -专利权人：南京同溧晶体材料研究院有限公司
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： C30B15/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置及生长方法，包括炉体，所述炉体两侧相对开门结构，采用板状石墨电阻加热器，石墨硬毡作为保温材料，整体热场为双温区结构，圆形坩埚四周有四片板状石墨加热器，为主加热区,包括以下步骤：步骤1：先装炉，然后对炉体内进行抽真空；步骤2：然后对炉体内进行充气，然后对炉体进行升温，实现蓝宝石的融化；步骤3：进行引晶和放肩至等径阶段，并持续到晶体生长完成；步骤4：然后对炉体进行原位退火
一种尺寸蓝宝石板材导模法生长装置方法

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