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[发明专利]一种放电激励气体激光器及其运行方法-CN201710363602.7有效
发明人：黄珂;黄超;马连英;易爱平;安晓霞;李高鹏 -专利权人：西北核技术研究所
申请日： 2017-05-22 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明公开了放电激励气体激光器及其运行方法，放电激励气体激光器包括激光器主体、放电泵浦源、谐振腔、光窗、气源和腔内压力维持单元；光窗由光窗清洁器和窗口构成；光窗清洁器基于气体紊流消能原理，包括消能箱、金属气管和气体流量控制器放电激励气体激光器运行时，气源持续给光窗清洁器供给一定流量的激光工作气体，在激光器光窗内部形成紊流，消弱放电微粒飞向窗口的动能，使放电微粒不能到达并附着在窗口玻璃内表面，从而保护放电激励气体激光器光窗不受污染输入的气体通过腔内压力维持单元排除激光器腔室，同时保持激光器腔室内部气体压力不变。
一种放电激励气体激光器及其运行方法

[发明专利]准分子激光器的放电腔、清洗系统及准分子激光器-CN202210110369.2在审
发明人：孔令浩;张艳茹;常庆麒;郭媚媚;江锐 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-01-29 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本申请公开了一种准分子激光器的放电腔(1)和准分子激光器放电腔清洗系统(100)，其中，准分子激光器的放电腔(1)包括：腔体(10)的两侧壁设置有用于气体流通的第一通孔(21)和多个第二通孔(22)；放电腔本申请实施例的放电腔具有可与外接准分子激光器放电腔清洗系统(100)适配的结构和接口，在需要清洗时，只需打开与准分子激光器放电腔清洗系统(100)连接的真空插板阀门(9)，开启清洗系统，即可完成对放电腔本实施例的方案克服了传统放电腔在清洗时容易被空气污染，从而使准分子激光器有更长的使用寿命及更好的功率输出。
准分子激光放电清洗系统

[发明专利]气体CO₂激光器的激光放电腔装置-CN200910066898.1无效
发明人：耿玉民;郭劲 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2009-05-05 - 公布日： 2009-09-23 - 主分类号： H01S3/03 文献下载
摘要：本发明涉及一种气体CO₂激光器的激光放电腔装置，该装置包括腔右侧立板，腔上支撑框板，腔上绝缘框板，上电极板，上放电电极，陶瓷绝缘片，上预电离触发针，腔左侧立板，下放电电极，气体循环通道进气口，下电极板，下预电离触发针，气体循环通道出气口，腔右侧端板，腔左侧端板。其特征是激光放电腔固定安装在密闭循环流动的工作气体通道上，经储能充放电路注入电能后使上、下放电电极大面积均匀的辉光放电和多对上、下紫外光预电离触发针实现火花放电而构成激光器的激光放电腔。本发明体积小且结构紧凑，便于放电电极和预电离触发针的修整与安装，使气体CO₂激光器系统长时间稳定工作而延长运转寿命，适用于高功率气体激光器和脉冲气体激光器。
气体 co sub 激光器激光放电装置

[发明专利]激光器放电腔的六自由度调节机构-CN201310158818.1有效
发明人：丁金滨;李少华;刘斌;沙鹏飞;周翊;王宇;赵江山 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2013-05-02 - 公布日： 2013-08-28 - 主分类号： H01S3/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光器放电腔的六自由度调节机构，包括两个调节器，该两个调节器分别安装于激光器放电腔的底面上沿光轴方向的前后两端，且每个调节器包括一个万向轮装置和两个升降装置；激光器放电腔的安装平面为XY平面，该XY平面的X轴方向为激光器放电腔的光轴方向，该XY平面的Y轴方向为垂直于X轴的方向，Z轴方向是垂直于该安装平面的方向；两个调节器的万向轮装置共同调节激光器放电腔在XY平面内的平移和在Z轴的转动；两个调节器的升降装置共同调节激光器放电腔在Z轴方向的高度和绕XY平面的X、Y轴的转动。本发明可以实现对激光器放电腔六个自由度的粗调整及细微调整，并且结构简单、易于加工、方便安装。
激光器放电自由度调节机构

[发明专利]激光器的能量补偿方法及装置-CN202110600173.7有效
发明人：梁赛;冯泽斌;徐向宇;刘广义;江锐;刘斌;王香 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H01S3/13 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种激光器的能量补偿方法及装置。在本申请实施例中，获取激光器的放电腔的能量信息；根据所述能量信息以及目标能量信息，确定能量偏差，并提取所述能量偏差中的干扰频率；对所述能量偏差以及所述干扰频率进行自动控制，并根据控制后的对应控制结果，确定所述放电腔的补偿电压，以使对所述放电腔的放电电压进行补偿。通过对能量偏差以及干扰频率的控制，调整激光器的输出能量，可以在一定程度上减少由放电腔振动引起的激光器能量波动，以保证激光器输出较为稳定的能量。
激光器能量补偿方法装置

[实用新型]激光器-CN201320712503.2有效
发明人：魏宁;高云峰 -专利权人：深圳市大族激光科技股份有限公司
申请日： 2013-11-12 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： H01S3/08 文献下载
摘要：本实用新型适用于激光器结构技术领域，提供了一种激光器，所述激光器，包括谐振腔，所述谐振腔设置阳极放电座、放电管和气路连接装置，所述阳极放电座固定连接在所述放电管上，所述放电管和/或气路连接装置上设置集尘器采用本实用新型的技术方案，可以增加激光器的稳定性，且结构简单，维护方便，成本低廉。
激光器

[实用新型]CO2射频激光器的介质气体加速回流装置-CN201720767378.3有效
发明人：杨海青;朱奇;杨发清;杨珊 -专利权人：贵阳菲镭泰克技术有限公司
申请日： 2017-06-28 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本实用新型提供一种CO2射频激光器的介质气体加速回流装置，CO2射频激光器包括激光放电腔及控制电路，激光放电腔由上框板、下框板、左框板、右框板及两侧端板围构而成，两个相对设置的射频电极板通过两侧端板固定于激光放电腔内部，两个射频电极板的相对侧设置放电电极，两放电电极之间形成介质气体放电区，激光放电腔内设置变频风扇，控制电路的控制输出端与变频风扇的控制端相连接，激光器在激发状态下，通过控制电路控制变频风扇实现变频控制调节介质气体的流速本实用新型能够加速激光器在工作时的介质气体回流速度，提高流速均匀性，从而提高激光器输出功率的稳定性。
co2 射频激光器介质气体加速回流装置

[发明专利]MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法-CN201210578509.5无效
发明人：方晓东;梁勖;王效顺;鲍健 -专利权人：中国科学院安徽光学精密机械研究所
申请日： 2012-12-27 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，包括有第一放电腔MO腔和第二放电腔PA腔，每个放电腔内均安装有准分子激光放电头，分别采用两高压探头对两准分子激光放电头进行检测，获取两放电腔的放电高压信号，或采用光敏探头检测第一放电腔MO腔的光信号，采用高压探头检测第二放电腔PA腔的放电信号，并将两信号传输至同步控制器，同步控制器提取其中的上升沿，进行同步调整，实现MOPA双腔同步出光。本发明可以有效的实时获得准分子激光器的放电时序信号，结合准分子激光器专用的同步控制器，可以有效的对MOPA结构的双腔准分子激光器进行同步控制，达到所需的控制精度。
mopa 系统准分子激光同步控制中的信号获取方法

[发明专利]检测装置、检测准分子激光器放电腔部件钝化程度的方法-CN202010113630.5有效
发明人：郭馨;江锐;王倩;周翊;赵江山;王宇 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-02-24 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种检测装置、检测准分子激光器的放电腔部件钝化程度的方法，涉及光电技术领域，可判断放电腔部件内的钝化层是否钝化完成。一种检测装置，用于检测准分子激光器的放电腔部件的钝化程度，包括准分子激光器、测试腔、试样槽、钝化气瓶、质谱仪；准分子激光器包括放电腔部件；试样槽位于测试腔内；钝化气瓶和质谱仪分别与测试腔连接；试样槽，用于盛放从所述放电腔部件取样的钝化样品；钝化气瓶，用于向测试腔输入钝化气体，得到钝化层；质谱仪，用于检测测试腔内的有害气体的含量，并判断钝化是否完成。
检测装置准分子激光放电部件钝化程度方法

[发明专利]一种新型双色激光器-CN201610625206.2有效
发明人：刘海庆;申俊杰;揭银先;李根;魏学朝 -专利权人：天津英光光电科技有限责任公司
申请日： 2016-08-03 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型双色激光器，克服了现有技术中，激光器中光栅转动的转速对激光器调制频率稳定性不均匀的问题。该发明含有两台放电玻璃管，每台放电玻璃管含有放电阴极、放电阳极、进气口，抽气口，阴极谐振腔调节装置，阳极输出调节装置和工作气体，所述阴极谐振腔调节装置包括阴极腔头内圈、阴极腔头外圈、阴极腔头密封压盖、定向导筒、波纹管、阶梯轴和位于阶梯轴靠近阴极腔头内圈一端的反射镜装置。本技术通过在激光器的反射镜端设计的调节结构可以引起激光器谐振腔共振，使得激光器功率达到理想值，从而保证两台同时运行的激光器，频率的变化，产生受控的兆赫兹的差频信号，可以代替转动光栅。
一种新型激光器

[实用新型]一种新型双色激光器-CN201620829346.7有效
发明人：刘海庆;申俊杰;揭银先;李根;魏学朝 -专利权人：天津英光光电科技有限责任公司
申请日： 2016-08-03 - 公布日： 2016-12-28 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型双色激光器，克服了现有技术中，激光器中光栅转动的转速对激光器调制频率稳定性不均匀的问题。该实用新型含有两台放电玻璃管，每台放电玻璃管含有放电阴极、放电阳极、进气口，抽气口，阴极谐振腔调节装置，阳极输出调节装置和工作气体，所述阴极谐振腔调节装置包括阴极腔头内圈、阴极腔头外圈、阴极腔头密封压盖、定向导筒、波纹管、阶梯轴和位于阶梯轴靠近阴极腔头内圈一端的反射镜装置。本技术通过在激光器的反射镜端设计的调节结构可以引起激光器谐振腔共振，使得激光器功率达到理想值，从而保证两台同时运行的激光器，频率的变化，产生受控的兆赫兹的差频信号，可以代替转动光栅。
一种新型激光器

[发明专利]一种准分子激光器高纯工作气体配送系统及方法-CN201610457955.9有效
发明人：丁金滨;刘斌;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2016-06-22 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： H01S3/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种准分子激光器高纯工作气体配送系统及方法，用于激光器系统用多种高纯气体的供应，该系统具有包括多路进气口的多路进气通道，用于实现对一个或多个放电腔的注气，还具有排气通道，用于实现对一个或多个放电腔的排气本发明还公开了一种采用四路进气、两路输出到放电腔的准分子激光器高纯工作气体配送系统，其根据工作气体的种类适当调整进气路数以满足不同气体的配置。根据激光器可能采用单腔或者双腔的结构特点，通过调整气体输送系统输出到放电腔的路数进行控制，可以满足不同结构特点激光器的需要。
一种准分子激光高纯工作气体配送系统方法

[实用新型]一种准分子激光器工作气体配送装置-CN201620623605.0有效
发明人：丁金滨;刘斌;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2016-06-22 - 公布日： 2016-12-21 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种准分子激光器工作气体配送装置，用于激光器系统用多种高纯气体的供应，该装置具有包括多路进气口的多路进气通道，用于实现对一个或多个放电腔的注气，还具有排气通道，用于实现对一个或多个放电腔的排气本实用新型还公开了一种采用四路进气、两路输出到放电腔的准分子激光器高纯工作气体配送装置，其根据工作气体的种类适当调整进气路数以满足不同气体的配置。根据激光器可能采用单腔或者双腔的结构特点，通过调整气体输送系统输出到放电腔的路数进行控制，可以满足不同结构特点激光器的需要。
一种准分子激光工作气体配送装置

[发明专利]高功率TEA气体激光器环形谐振激光腔-CN201010143625.5无效
发明人：杨贵龙;谢冀江;邵春雷;李殿军;郭劲 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2010-04-12 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： H01S3/23 文献下载
摘要：高功率TEA气体激光器环形谐振激光腔，属于TEA气体激光器技术领域。该环形谐振激光腔包括：激光输出镜、激光反射镜、四个储能放电腔模块、三个直角转镜、壳体、上、导流板、下导流板、轴流压气机、板翅换热器。其中，四个储能放电腔模块是相同结构并可完全互换，分别安装在一个方形壳体的四边，保证四个储能放电模块中的放电电极互相垂直，放电电极间距相同，电极的轴心与谐振腔光轴重合；通过固定法兰与激光器壳体固定和密封，激光器壳体的一个角的两边安装有激光输出镜和激光反射镜，其它三个角分别安装转镜，形成一个环形的放电、谐振、激光放大输出的激光腔。本发明具有放电激励体积大，输出功率高，光束质量好，设备体积小和维护简单方便等优点。
功率 tea 气体激光器环形谐振激光

[发明专利]基于垂直腔面发射激光器的脉冲驱动电路-CN201810573672.X在审
发明人：刘克富;颜颖颖;邱剑 -专利权人：复旦大学
申请日： 2018-06-06 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： H01S5/042 文献下载
摘要：本发明属于半导体激光器驱动电路技术领域，具体涉及基于垂直腔面发射激光器的脉冲驱动电路。本发明结构电路包括垂直腔面发射激光器、储能单元、开关单元、驱动芯片、电流检测单元、充电限流单元以及输入输出接口，这些部件集成在一块电路板上；垂直腔面发射激光器的发光面电极连接到电路板上，储能单元分布在垂直腔面发射激光器四周，开关单元位于垂直腔面发射激光器所在电路板背面；储能单元、垂直腔面发射激光器、电流检测单元以及开关单元通过电路板过孔构成放电回路。本发明利用垂直腔面发射激光器的双层结构以及电路板多层电路结构，可以在激光器周围180度的空间内集成脉冲放电回路，结构简单，分布参数可控，易于产生窄脉冲大电流参数，从而获得高峰值功率的激光窄脉冲。
垂直腔面发射激光器电路板储能单元开关单元电流检测单元脉冲驱动电路放电回路窄脉冲半导体激光器驱动充电限流单元电路技术领域多层电路结构输入输出接口电路板背面高峰值功率部件集成电极连接分布参数集成脉冲结构电路驱动芯片双层结构激光器大电流发光面可控激光

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