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[发明专利]一种气体传输管路系统-CN202211203791.9在审
发明人：高鹏飞;吴凤丽;杨华龙;赵坤;张启辉;张恩慈 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，更具体的说，涉及一种气体传输管路系统。本发明提供了一种气体传输管路系统，包括化学源传输管路、化学源吹扫管路和连接管路：所述化学源传输管路，包括化学源输入管路和化学源输出管路；所述化学源输入管路，可通断地与化学源吹扫管路连接；所述化学源输出管路，可通断地与连接管路连接，设置有至少一个ALD阀；所述化学源吹扫管路，可通断地分别与化学源输入管路、化学源输出管路和连接管路连接；其中，所述化学源输出管路，设置有喷口；所述喷口，设置在所述至少一个ALD本发明提供的气体传输管路系统，既可以实现化学源流入量的精准控制，又可以大大提高吹扫效率，减少工艺时间，提高产量。
一种气体传输管路系统

[实用新型]压缩机干气密封系统-CN201922229740.3有效
发明人：弋朝山;白卫卫;黄余东;秦建志;朱斌;金彦斌;马克荣;席学军 -专利权人：宁夏宝丰能源集团股份有限公司;宁夏宝丰能源集团煤焦化有限公司;宁夏峰达精细化工有限公司;宁夏东毅环保科技有限公司
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： F04B39/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及干气密封领域，具体而言，涉及压缩机干气密封系统；该压缩机干气密封系统包括第一气源管路、第二气源管路和一级密封管路，第一气源管路和第二气源管路均与一级密封管路连接，以使第一气源管路和第二气源管路均能向一级密封管路输气，一级密封管路用于向待密封的压缩机输气；第二气源管路设置有调节阀；调节阀被配置为：在第一气源管路向一级密封管路输气时，阻断第二气源管路与一级密封管路的连接；在第一气源管路未向一级密封管路输气时，疏通第二气源管路与一级密封管路的连接本实用新型的压缩机干气密封系统能够改善气源中断的情况，避免对压缩机的运行造成不良的影响。
压缩机密封系统

[发明专利]一种包装袋自动生产线中的活塞式上胶装置-CN201010115957.2无效
发明人：方先其 -专利权人：方先其
申请日： 2010-03-02 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种包装袋自动生产线中的活塞式上胶装置，包括搅拌胶源、活塞式上胶缸、气缸、气源、胶传输管路、第一气源管路、第二气源管路、自清理管路和控制阀，所述搅拌胶源通过胶传输管路与活塞式上胶缸相通，所述气源通过第一气源管路与气缸相通，气缸与活塞式上胶缸连接，所述自清理管路的两端分别连接胶传输管路和第二气源管路，第二气源管路与气源连接，所述胶传输管路、第一气源管路和第二气源管路上分别设有控制阀。采用本发明的上胶机构，可以实现管路的自动清理，缩短了胶路而减少了对胶的浪费，节约了能源，保护了现场环境，保证了胶粘度统一而保证所出产品的质量的稳定。
一种装袋自动生产线中的活塞式上胶装置

[实用新型]一种包装袋自动生产线中的活塞式上胶装置-CN201020121306.X有效
发明人：方先其 -专利权人：方先其
申请日： 2010-03-02 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： B05C11/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种包装袋自动生产线中的活塞式上胶装置，包括搅拌胶源、活塞式上胶缸、气缸、气源、胶传输管路、第一气源管路、第二气源管路、自清理管路和控制阀，所述搅拌胶源通过胶传输管路与活塞式上胶缸相通，所述气源通过第一气源管路与气缸相通，气缸与活塞式上胶缸连接，所述自清理管路的两端分别连接胶传输管路和第二气源管路，第二气源管路与气源连接，所述胶传输管路、第一气源管路和第二气源管路上分别设有控制阀。采用本实用新型的上胶机构，可以实现管路的自动清理，缩短了胶路而减少了对胶的浪费，节约了能源，保护了现场环境，保证了胶粘度统一而保证所出产品的质量的稳定。
一种装袋自动生产线中的活塞式上胶装置

[实用新型]真空源切换装置-CN201621090244.4有效
发明人：庞伶伶;许振杰;陈祥玉;王同庆;李昆;路新春 -专利权人：天津华海清科机电科技有限公司;清华大学
申请日： 2016-09-28 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空源切换装置，该真空源切换装置包括真空源；真空源管路，真空源管路与真空源相连且适于连接设备，真空源管路内的空气适于单向从设备流向真空源；真空发生装置；压缩空气源；压缩空气源管路，压缩空气源管路与压缩空气源相连且适于连接真空发生装置；真空发生装置管路，真空发生装置管路与真空发生装置相连且适于连接设备，真空发生装置管路与真空源管路并联，真空发生装置管路内的空气适于单向从设备流向真空发生装置。在真空源无法为设备提供负压环境时，压缩空气源可以为真空发生装置提供压缩空气，这样真空发生装置在压缩空气的作用下产生真空，从而可以为设备提供负压环境，设备可以继续正常工作。
真空切换装置

[实用新型]锅炉本体内吹灰管路的新型布置结构-CN202020634121.2有效
发明人：陈开扬 -专利权人：华电漯河发电有限公司
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： F23J3/00 文献下载
摘要：本申请提供有一种锅炉本体内吹灰管路的新型布置结构，包括：进入锅炉本体内的吹灰汽源管路且吹灰汽源管路末端设有四个汽源输送管路；所述汽源输送管路的自由端上分别连接有吹灰单元；所述吹灰单元包括：与所述汽源输送管路的自由端倾斜固接且连通的吹灰管路和设于所述吹灰管路上且沿其轴线排布的多个吹灰器；所述吹灰管路上相对远离所述汽源输送管路的一端密封且该端高度高于所述汽源输送管路自由端的高度；所述吹灰管路上相对靠近所述汽源输送管路的一端设有与其连通且竖直向下设置的疏水管路；所述疏水管路上设有电动阀门
锅炉体内管路新型布置结构

[发明专利]一种碳化硅外延生长源管路系统-CN202211206396.6在审
发明人：黄海林;钱卫宁;刘杰;梁瑞;冯淦;赵建辉 -专利权人：瀚天天成电子科技（厦门）有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： C30B25/14 文献下载
摘要：本发明公开一种碳化硅外延生长源管路系统，包括主载气管路、预混管路、碳源单元、硅源单元和掺杂源单元，主载气管路用于连通外延生长反应腔，预混管路连通主载气管路，碳源单元、硅源单元和掺杂源单元分别通过对应的碳源传输管路、硅源传输管路和掺杂源连通管路与预混管路连通，以使碳源、硅源、掺杂源先在预混管路中按预设比例进行预混形成预混生长源气体，而后再通入主载气管路中与主载气一同进入到外延生长反应腔中。本发明可以保证碳源、硅源和掺杂源可同时混入主载气中并一同进入到外延生长反应腔中去，并保证在混入瞬间的C/Si与此后外延生长过程中的C/Si是一致的。如此，有利于提高碳化硅外延薄膜的质量。
一种碳化硅外延生长管路系统

[发明专利]一种定量输出设备以及前驱体供应方法-CN202310188652.1在审
发明人：陈蓉;苏宇;刘潇;单斌 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本申请涉及一种定量输出设备，包括供应装置、缓冲装置、管路组件和控制阀组件，供应装置中有液态的前驱体，缓冲装置配置为能将前驱体雾化，管路组件包括用于将供应装置与缓冲装置连接的前驱体源管路和进气管路，前驱体源管路包括第一源管路和第二源管路，进气管路将外部气源与第二源管路连接，第二源管路上设置有液体流量计，控制阀组件包括第一阀体和第二阀体，第一阀体设置于第二源管路，第二阀体设置于进气管路本设备通过供应装置配合第一阀体和液体流量计实现精确控制通入前驱体的量，配合缓冲装置、进气管路和第二阀体对前驱体源管路进行清扫，将管路和液体流量计中残留的前驱体冲入缓冲装置，进一步提高前驱体的利用率，节省生产成本
一种定量输出设备以及前驱供应方法

[发明专利]一种用于MOCVD设备GaN外延MO源供给系统-CN201210200710.X无效
发明人：刘欣;魏唯;陈特超;罗才旺;李克;陈峰武;林伯奇;贾京英 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2012-06-18 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： C30B25/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于MOCVD设备GaN外延MO源供给系统。所述供给系统包括分别通过载气进气管与气源相连的标准管路、双稀释管路、双重标准管路、浓度计管路和双源瓶串联管路；所述标准管路、双稀释管路、双重标准管路、浓度计管路和双源瓶串联管路分别通过MO源出气管与Run/Vent切换回路相连；所述气源通过管道与Run/Vent切换回路相连。以上述的标准管路为基础，针对每种MO源工艺需求摩尔流量以及蒸汽压的不同采用了不同的管路设计，实现了对每种MO源注入摩尔流量的精确控制。
一种用于 mocvd 设备 gan 外延 mo 供给系统

[发明专利]一种干熄焦运焦带式输送机事故喷淋系统及方法-CN201810216595.2在审
发明人：袁宝林;马广泉;杨凯;刘晓东;赵阳;陈静 -专利权人：中冶焦耐（大连）工程技术有限公司
申请日： 2018-03-16 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： C10B39/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种干熄焦运焦带式输送机事故喷淋系统及方法，喷淋系统的喷淋供水管道上设控制阀门，控制阀门为气动快速开关阀，气动快速开关阀的控制气源管路上设开关电磁阀，开关电磁阀的信号输入端与非接触式测温装置的信号输出端相连；开关电磁阀上游的控制气源管路连接气源供气管路；气源供气管路由气源管路一、气源管路二并联组成，气源管路一和气源管路二互为冗余。本发明通过冗余气源管路、气源压力实时监控、气源管路自动切换来确保喷淋系统工作的可靠性，采用气动快速开关阀确保喷淋系统的实时性，提高干熄焦运焦带式输送机运行的安全性；同时还具有经济性。
喷淋系统气源管路开关电磁阀快速开关阀干熄焦输送机焦带供气管路控制阀门控制气源气源接触式测温装置信号输出端信号输入端并联组成供水管道管路连接互为冗余气源压力实时监控自动切换实时性源管路冗余喷淋与非上游

[实用新型]一种干熄焦运焦带式输送机事故喷淋系统-CN201820358982.5有效
发明人：袁宝林;马广泉;杨凯;刘晓东;赵阳;陈静 -专利权人：中冶焦耐（大连）工程技术有限公司
申请日： 2018-03-16 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： C10B39/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种干熄焦运焦带式输送机事故喷淋系统，喷淋系统的喷淋供水管道上设控制阀门，控制阀门为气动快速开关阀，气动快速开关阀的控制气源管路上设开关电磁阀，开关电磁阀的信号输入端与非接触式测温装置的信号输出端相连；开关电磁阀上游的控制气源管路连接气源供气管路；气源供气管路由气源管路一、气源管路二并联组成，气源管路一和气源管路二互为冗余。本实用新型通过冗余气源管路、气源压力实时监控、气源管路自动切换来确保喷淋系统工作的可靠性，采用气动快速开关阀确保喷淋系统的实时性，提高干熄焦运焦带式输送机运行的安全性；同时还具有经济性。
喷淋系统气源管路开关电磁阀快速开关阀干熄焦输送机焦带本实用新型供气管路控制阀门控制气源气源接触式测温装置信号输出端信号输入端并联组成供水管道管路连接互为冗余气源压力实时监控自动切换实时性源管路冗余喷淋与非上游

[发明专利]化工物料输送管路吹扫系统-CN201410854729.5在审
发明人：王洪军 -专利权人：天津渤化中河化工有限公司
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2015-05-06 - 主分类号： B08B9/032 文献下载
摘要：本发明提供一种物料输送管路吹扫系统，具体技术方案为：一种物料输送管路吹扫系统，其特征在于吹扫气源Ⅰ和吹扫气源Ⅱ分别通过吹扫气源Ⅰ管路和吹扫气源Ⅱ管路连接吹扫管路，所述吹扫气源Ⅰ管路和吹扫气源Ⅱ管路上分别设置有阀门，在所述吹扫管路的阀门前端设置有压力表，所述吹扫管路设有多条吹扫支路连接不同的输送管路，所述的吹扫支路上均设置有阀门。其有益效果在于，吹扫系统设有两种吹扫气源，可根据生产加工的需要选择不同的气源进行管路吹扫；吹扫气源Ⅱ最高可提供300℃的热空气，有效防止高凝固点物料容易堵塞管路的问题，节约了人工成本，减少了不合格品的发生
化工物料输送管路系统

[发明专利]多种气源集成式清仓系统-CN202211186636.0在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：长沙市奇俊机电科技有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： B08B9/093 文献下载
摘要：本申请涉及清仓系统技术领域，提供了一种多种气源集成式清仓系统，包括主管路、气体喷射执行管路，气体喷射执行管路上设置有能够伸入料仓的气体喷射装置；主气源、第一气源、第二气源和消防气源，主气源与主管路连接，第一气源通过第一管路与主管路连接，第二气源通过第二管路与主管路连接，消防气源通过第三管路与主管路连接，主气源的气体压强大于第一气源的气体压强，第二气源包括多种可选择的气源；总控制阀、第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀；总控制单元，总控制单元分别与总控制阀、第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀信号连接，本多种气源集成式清仓系统能够适应较大范围和复杂工况下的料仓堵料故障的清仓需求。
多种集成清仓系统

[实用新型]一种镁电解槽的抓斗控制装置-CN201921502534.9有效
发明人：王永荣;李国栋;李鹏业;文生财;王永芳 -专利权人：青海盐湖工业股份有限公司
申请日： 2019-09-10 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： C25C3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种镁电解槽的抓斗控制装置，包括提供压缩空气的气源、气源总阀、气源管路、气缸、以及受所述气缸控制的抓斗，所述气源管路将所述气源总阀与所述气缸连接；所述气源管路包括第一气源管路和第二气源管路，所述第一气源管路的一端与所述气源总阀连接，其另一端与所述气缸连接，所述第一气源管路上设有第一进气阀、第二排气阀；所述第二气源管路一端与所述气源总阀连接，其另一端与所述气缸连接，所述第二气源管路上设有第一排气阀本实用新型提供的抓斗控制装置通过气源管路上的阀门改变压缩空气的流向以驱动气缸的活动来实现抓斗的开闭，以完成镁电解槽的抓渣工作，结构简单、操作方便，抓斗开闭和开闭的幅度均可控。
一种电解槽抓斗控制装置

[实用新型]一种容器检漏装置-CN201720005802.0有效
发明人：张果;蓝峰;王洪军;黄凯 -专利权人：成都东方仪器有限公司
申请日： 2017-01-04 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： G01M3/32 文献下载
摘要：一种容器检漏装置，包括气源管路和检测管路。气源管路包括由耐压管路连接的气源入口接头和气源压力表。检测管路入口连入气源入口接头和气源压力表之间的气源管路中。检测管路从前至后依次设有进气阀、压力计和容器快插接口。进气阀和压力计间设有卸压管路。本实用新型将气源、检测气路和卸压气路进行集成布设，通过容器快插接口实现与待检容器的快速连通，有利于简化检漏操作、保证检漏体系的密封性，从而提高检漏效率和检测精度。
一种容器检漏装置

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