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[发明专利]一种实验用源瓶-CN201210584503.9无效
发明人：付淑珍 -专利权人：苏州瑞日纺织科技有限公司
申请日： 2012-12-28 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： C30B31/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种实验用化学药品的容器，尤其涉及一种实验用源瓶。它包括瓶体，该瓶体设置有出口位于所述瓶体底部的进气管和入口位于所述瓶体上部的出气管，所述瓶体的底部设置有集源槽，所述进气管下端的进气孔设置于所述集源槽内；其所述瓶体底部设置有加厚部，所述加厚部与所述集源槽位于所述瓶体底部的不同位置；所述瓶体内侧壁设置有用于控制源瓶内气压的气体浓度控制器和气压控制器，所述气体浓度控制器连接有设置在所述瓶体外部的气体监测仪。瓶底的加厚部抬高了瓶内液体的液面，减少了残留液体的浪费；在瓶体内侧壁设置有用于控制源瓶内气压的气体浓度控制器和气压控制器，使源液体POCl3的利用率提高，可靠性好。
一种实验用源瓶

[实用新型]一种用于太阳能电池扩散的源瓶-CN201922017927.7有效
发明人：庄艳;王守志;黄国平;吴少梅 -专利权人：中节能太阳能科技（镇江）有限公司
申请日： 2019-11-20 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了用于太阳能电池扩散的源瓶，包括圆柱形源瓶本体、进气管、出气管、第一挡板和隔板，所述进气管和出气管分别置于源瓶本体内部两侧，所述第一挡板置于靠近所述进气管侧的源瓶本体内部，并沿与源瓶本体内侧壁连接处B斜向上安装，所述第一挡板上开设通孔，所述进气管利用所述通孔穿过第一挡板，所述第一挡板上开设向源瓶本体内侧壁方向延伸的第一沥液缝，所述隔板安装在所述第一挡板下方的源瓶本体内底面上。本实用新型在现有的瓶体中安装第一挡板和第二挡板，增加了气体与扩散源的接触时间，增加了气体携带扩散源的量，在扩散源量较少时，也可保证气体的扩散源携带量，减少了对扩散效果的影响。
一种用于太阳能电池扩散

[实用新型]一种新型源瓶阀门结构-CN202021591902.4有效
发明人：李宝飞;雷小龙;胡云川;张泸;彭欣欣;阿海克古;董纪刚 -专利权人：通威太阳能（成都）有限公司
申请日： 2020-08-04 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： F17C13/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型源瓶阀门结构，涉及三氯氧磷源瓶技术领域，本实用新型包括与源瓶的两个出气管瓶颈分别连接的二通阀门A和二通阀门B，所述二通阀门A和二通阀门B远离源瓶一端通过可拆卸方式连接有弯管A和弯管B，二通阀门A和二通阀门B远离源瓶一端均设置有接口外螺纹，弯管A和弯管B靠近源瓶一端均设置有与各自对应的接口外螺纹配合的涨套式螺母；本实用新型具有结构简单，平时源瓶拆卸时，只需要拆卸涨套式螺母的优点，因螺母受力平行于源瓶出气管
一种新型阀门结构

[实用新型]一种液体回收装置-CN202220658493.8有效
发明人：雷小龙;王斯海;何长发 -专利权人：通威太阳能(成都)有限公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： F04F3/00 文献下载
摘要：其中，第一回收管用于集液源瓶和残液源瓶，且第一回收管的一端伸入残液源瓶内的液面以下，第一回收管的另一端伸入集液源瓶内的液面以上。将抽真空系统与集液源瓶连通，并伸入集液源瓶的液面以上，利用抽真空系统对集液源瓶进行抽真空。因此通过第一回收管连接的集液源瓶和残液源瓶之间会形成压力差，使得残液源瓶内的三氯氧磷能够通过第一回收管吸入集液源瓶内，进而实现三氯氧磷液体的回收。
一种液体回收装置

[实用新型]一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统-CN201920205612.2有效
发明人：何一峰;姚春梅;赵庆国;陆波;李小飞;张炎;赵晓龙 -专利权人：浙江贝盛光伏股份有限公司
申请日： 2019-02-18 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及化工设备领域，具体涉及一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统。本实用新型是通过以下技术方案得以实现的：一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，包含主源瓶，其特征在于：还包含副源瓶，所述主源瓶通过链接管路与所述副源瓶贯通连接，所述主源瓶中设有用于检测所述主源瓶中液体液面高度的液位感应器本实用新型的目的是提供一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，主副瓶分离设计，能动态保证主瓶的液位高度在一个合理的设定值，使得供给扩散的三氯氧磷蒸汽气流稳定，提高扩散品质。
供给系统管式扩散磷源主源本实用新型源瓶三氯氧磷蒸汽液位感应器扩散分离设计贯通连接化工设备开关状态连接管路气流稳定液体液面主阀门副瓶链接液位主瓶检测保证

[发明专利]一种化学源瓶保温装置-CN202111114345.6在审
发明人：周仁;王新征;龚炳建;黎微明;李翔 -专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种化学源瓶保温装置，包括外壳，所述外壳内放置源瓶，所述源瓶具有进入管和排出管，所述进入管和所述排出管穿出所述外壳；所述外壳内安装若干加热器；所述外壳上结合安装与其内部连通的氮气进入管路和氮气排出管路所述化学源瓶保温装置有利于源瓶的保温，避免因突然断电降温导致前驱体冷凝导致的管路或阀体的堵塞；通过设置外壳内通氮气，可以在源瓶密封失效时防止前驱体与空气中的氧气或水蒸气发生反应，保证工艺效果；外壳由可拆卸连接的筒体和盖体组成，方便对源瓶进行维护。
一种化学保温装置

[实用新型]一种大流量液态源供应装置-CN201821378379.X有效
发明人：沈一林;孙效义;吴海华 -专利权人：至砾机电设备(上海)有限公司
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： F17D1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大流量液态源供应装置，包括TMA源罐、TMA供应箱、推送吹扫气架、TMA供应箱和TMA源罐。本实用新型方便大包装源瓶的就位固定，方便操作；同时也适合于后续更大容量包装的源瓶接入系统使用；使用大容量包装的源瓶，大大减少了更换源瓶次数，减低了人工操作工作量同时降低了安全风险源，提高了系统安全性；使用本实用新型可以有效减少了换瓶次数，可以保证同一源罐内的TMA质量均匀一致，尽可能长时间保持电池片的良率一致性；且本实用新型在源瓶与设备之间增加了防火隔墙，提升安全性，当源罐发生紧急情况时，不会损坏设备及内部的阀件仪表。
源瓶本实用新型源罐大容量包装供应装置大流量供应箱液态源系统安全性方便操作防火隔墙接入系统人工操作时间保持有效减少质量均匀吹扫气大包装电池片风险源就位阀件换瓶良率推送工作量仪表安全保证

[实用新型]一种太阳能电池扩散用盛源装置-CN201220425747.8有效
发明人：翟金权;张超;勾宪芳;姜利凯;王鹏 -专利权人：中节能太阳能科技（镇江）有限公司
申请日： 2012-08-27 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能电池扩散用盛源装置，它包括圆柱形源瓶和设置于源瓶上端的送气管和出气管，源瓶的内底部由瓶壁向中间厚度逐渐变薄，源瓶的内底部为阶梯形圆环结构，阶梯形圆环结构由源瓶的瓶壁向中间逐渐收缩，送气管的上端位于源瓶上端面的中部，下端位于接近最底层圆环结构的底面处。本实用新型通过设置直径逐渐减小的阶梯型环形结构，送气管路延伸到瓶子的底部可以更好的吸收从高处向地处集中起来的源，减少源的浪费并且避免因为液面不足造成方块电阻的不稳定，从而提高转换效率。
一种太阳能电池扩散用盛源装置

[发明专利]大流量高压气源检测阀门气密性的方法-CN201410557063.7无效
发明人：赵期能;宗志勇 -专利权人：苏州锦鹏机电设备制造有限公司
申请日： 2014-10-20 - 公布日： 2015-01-07 - 主分类号： G01M3/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种大流量高压气源检测阀门气密性的方法，使用的检测系统包括：供气源、工作气源、工作气源包括普通高压瓶组及较高高压瓶组，在普通高压瓶组与较高高压瓶组之间通过管道连接有气-气增压组件，当检测阀门压力要求小于供气源时，普通高压瓶组与较高高压瓶组中被供气源充满的高压气体直接充入待测阀门，当大于阀门检测要求时，经增压较高高压瓶组中的高压气体充入待测阀门；本发明设置多组高压气瓶组及气体增压器，可提高气体流量，提高检测效率；高压气源装置管道采用不锈钢材料，介质控制阀采用截止阀；可实现远程操作，远程监控，远程测试，远程记录，确保试验系统的安全、可靠。
流量压气检测阀门气密性方法

[发明专利]一种用于盛放电子化学品石英源瓶的镀膜方法-CN201811635042.7在审
发明人：蒋飚;赵和英;郭之军;刘邦伟;李建明;吴海波;李能武;钟赤宇 -专利权人：贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： C03C17/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于盛放电子化学品石英源瓶的镀膜方法，包括：将软胶膜原料加入真空夹套反应釜中，加热至反应釜内温度在60‑70℃，抽真空度至0.055MPa，搅拌4‑4.5小时，得到透明软胶膜浆料放入料槽，料槽中的浆料保持在3/4液位；将石英源瓶安装到可旋转的夹具上，推送到石英源瓶恒温箱中预热，待石英源瓶预热10‑20分钟后，转移至料槽正上方，将整个石英源瓶浸没在透明软胶膜浆料中，浸没1‑2分钟后，石英源瓶完全脱离料槽；塑化时间3‑5分钟，将塑化后的石英源瓶浸没入冷水槽内冷却2‑5分钟，得到镀膜的石英源瓶。
石英源瓶料槽浸没镀膜塑化电子化学品透明软胶反应釜膜浆料预热盛放夹具安全环保抽真空度可旋转的真空夹套恒温箱化学品冷水槽软胶膜放入浆料液位加热冷却泄漏脱离

[实用新型]一种用于消防的风动式切割设备-CN202120347947.5有效
发明人：梁广;黄宏德 -专利权人：梁广
申请日： 2021-02-07 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： B24C1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于消防的风动式切割设备，包括气瓶、调压阀、气动切割机、气源车，所述气瓶上设有气管A，气瓶由消防员背负或固定在气源车上，气动切割机通过调压阀与气管A连接，所述气源车上设有气瓶固定支架，气瓶的下部和上部与气瓶固定支架连接，气源车上设有固定连接头，多个气瓶的气管A通过固定连接头并联，气源车上设有滚筒，滚筒通过转轴安装在气源车上，滚筒上卷绕有气管B，滚筒一侧设有转动接头。本实用新型通过使用呼吸气瓶为气源，在启动切割机提供动力，以便于气动切割机切割期间，且气瓶可以由消防员背负或者安装在气源车上进行供气，方便消防员根据现场的不同情况进行灵活的选择，提高了救助的效率。
一种用于消防风动切割设备

[发明专利]一种半导体设备反应源控制方法和一种半导体工艺设备-CN202210820955.6在审
发明人：胡云龙 -专利权人：西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种半导体设备反应源控制方法和半导体工艺设备，半导体设备包括源瓶、第一管路、第二管路、工艺腔室，第一管路的一端为进气端，另一端插入源瓶的源液中；第二管路的一端插入源瓶的非原液中，另一端与工艺腔室连通，且在从源瓶到工艺腔室的方向上，依次设置有第一压力规、位置阀，该方法包括：在工艺过程中，获取实时监测的源瓶压力值和工艺腔室压力值；获取开阀角度值与源瓶压力值和工艺腔室压力值的拟合曲线；根据拟合曲线，确定与源瓶压力值、工艺腔室压力值对应的开阀角度值；根据开阀角度值，控制位置阀调整开阀角度的大小，从而保证进入工艺腔室的反应源的量一致，保证工艺的重复精度，提高反应源的利用率。
一种半导体设备反应控制方法半导体工艺设备

[发明专利]一种反向连接提高固态源使用效率的方法-CN201110260529.3无效
发明人：刘波波;白俊春;李培咸;王旭明;王晓波;孟锡俊;郭迟 -专利权人：西安中为光电科技有限公司
申请日： 2011-09-05 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：一种反向连接提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤：步骤1：当源瓶内的固态源剩余量小于50％时，将源瓶放入温度为20～35℃的水浴槽中，当源瓶内压力为750～850torr、源蒸汽流量为300～400sccm的情况下，将源瓶的载气进口、出口上手阀关掉；步骤2：将源瓶的载气进口、出口反向对接，即将源瓶的出口与载气出口相连通，将源瓶的载气进口作为出口与管道相连通，即将正常的低进高出换成高进低出；利用底部载气管所在局部范围内饱和蒸汽压稳定；该方法具有操作简单、不影响外延层的性能、适用范围广和固态源使用率高的特点。
一种反向连接提高固态使用效率方法

[实用新型]一种用于装载扩散磷源的源瓶-CN201120133492.3无效
发明人：沈法松 -专利权人：苏州凯西石英电子有限公司
申请日： 2011-04-29 - 公布日： 2011-11-09 - 主分类号： F17C1/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于装载扩散磷源的源瓶，其包括瓶体、设置在瓶体上的进气管和出气管，所述源瓶还包括设置在所述瓶体内的热电偶保护管。本实用新型具有设置在瓶体内的热电偶保护管，在需要测量瓶体内温度时，无需取出瓶源，只需将热电偶保护管与温度变送器，调节器及显示仪表等配套连接，即可获得温度数据，温度测量既方便又安全。
一种用于装载扩散

[实用新型]一种用于装载扩散液态源的源瓶-CN201220055523.2有效
发明人：刘元来;欧阳辉;王虎;陆波;姚琪 -专利权人：浙江贝盛光伏股份有限公司
申请日： 2012-02-21 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： H01L21/228 文献下载
摘要：一种用于装载扩散液态源的源瓶，包括瓶体，该瓶体设置有出口位于所述瓶体底部的进气管和入口位于所述瓶体上部的出气管，其特征在于：所述瓶体的底部设置有集源槽，所述进气管下端的进气孔设置于所述集源槽内；所述瓶体底部设置有加厚部，所述加厚部与所述集源槽位于所述瓶体底部的不同位置。
一种用于装载扩散液态