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- [发明专利]一种塑料管材溅镀系统-CN202111605543.2在审
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马续峰;赵坤
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马续峰
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2021-12-25
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2023-09-19
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C23C14/54
- 本发明属于镀膜技术领域,具体的说是一种塑料管材溅镀系统,包括溅镀箱,溅镀箱上设置有工件架;溅镀箱内设置有真空模块和靶材;溅镀箱外部设置有牵引机构;积渣模块用于对溅镀箱内壁的溅射粒子进行处理;在溅镀箱内壁位置的积渣模块中设置有回收板;回收板用于吸附溅射粒子;本发明解决了塑料管材溅镀设备在溅镀过程中一部分的溅射粒子会在溅镀箱内壁上沉积,由于溅射粒子与溅镀箱内壁的结合力较弱,当溅射粒子再次溅射到溅镀箱内壁时,容易使得之前沉积的粒子脱落形成碎渣,若这些碎渣掉落到靶材的表面会严重影响镀膜的质量的问题。
- 一种塑料管材系统
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