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- [实用新型]一种多晶硅还原炉内衬涂层-CN201120064775.7有效
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胡倾宇
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胡倾宇
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2011-03-14
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2012-05-16
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C01B33/035
- 本实用新型涉及一种应用于多晶硅还原炉的内侧炉壁涂层(简称内衬涂层)以及该涂层的制造方法,具体的是改良西门子法多晶硅还原炉内衬防腐蚀红外反射涂层。所述涂层系金属陶瓷材料,在改良西门子法多晶硅还原炉内侧炉壁上直接涂敷。采用的涂敷方法为物理气相沉积法或者化学气相沉积法。所述多晶硅还原炉内衬涂层的厚度为1-10微米,制造成本低,对炉壁的附着力强。该涂层耐高温,耐强酸强碱腐蚀,耐机械冲击和刮削,红外反射效率高,使用寿命长,可以有效降低改良西门子法多晶硅还原炉内热能向炉外传递的损失。该涂层取代纯金红外反射涂层,因而大大降低了涂层材料的费用,从而可以大幅降低改良西门子法制造多晶硅产品的成本。
- 一种多晶还原内衬涂层
- [发明专利]一种多晶硅还原炉内衬涂层的制备方法-CN201110060199.3有效
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胡倾宇
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胡倾宇
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2011-03-14
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2018-12-11
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C03B33/03
- 本发明涉及一种应用于多晶硅还原炉炉体内侧炉壁涂层(简称内衬涂层)的制备方法,具体的是改良西门子法多晶硅还原炉内衬防腐蚀红外反射涂层的制备方法。所述涂层系金属陶瓷材料,在改良西门子法多晶硅还原炉炉体内侧炉壁上直接涂敷。采用的涂敷方法为物理气相沉积法或者化学气相沉积法。所述多晶硅还原炉内衬涂层的厚度为1‑10微米,制造成本低,对炉壁的附着力强。该涂层耐高温,耐强酸强碱腐蚀,耐机械冲击和刮削,红外反射效率高,使用寿命长,可以有效降低改良西门子法多晶硅还原炉内热能向炉外传递的损失。该涂层取代纯金红外反射涂层,因而大大降低了涂层材料的费用,从而可以大幅降低改良西门子法制造多晶硅产品的成本。
- 一种多晶还原内衬涂层及其制造方法
- [发明专利]一种超滑减阻涂层及制备方法-CN202210613679.6在审
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邵亚薇;赵振波;王艳秋;王俊一
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哈尔滨工程大学
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2022-05-31
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2022-09-02
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C09D183/08
- 本发明提供一种超滑减阻涂层及其制备方法,(1)氟硅树脂混合液的制备;(2)取固化剂0.6‑1.9份,流平助剂0.1‑2.1份,分散剂0.2‑1份混合均匀得到混合液备用;(3)取步骤(1)中制备的95‑99份氟硅树脂混合液,加入步骤(2)中制备的1‑5份混合液;(4)将步骤(3)中的混合液采用环绕式喷涂法先从左到右,再从右到左“S”型喷涂,得到超疏水氟硅树脂涂层;(5)浸入到盛有全氟聚醚润滑油中,拿出后得到具有减阻功能的超滑氟硅树脂涂层本发明方法分别有一步喷涂沉积法和浸泡法,区别于其他涂层的两步喷涂法、多部喷涂法和模板法等等,一步喷涂法制备的涂层具有适用性广、制备简便,可以大量生产等优点。
- 一种超滑减阻涂层制备方法
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