专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]3D NAND存储器及其形成方法-CN201910574344.6有效
  • 王香凝;耿静静;王攀;张慧;刘新鑫;吴佳佳;肖梦 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2019-06-28 - 2020-04-10 - H01L27/11551
  • 一种3D NAND存储器及其形成方法,所述形成方法通过使伪沟道通孔调节区中伪沟道通孔的密度大于伪沟道通孔调节区外的台阶区中的伪沟道通孔密度,相应的伪沟道通孔调节区中伪沟道通孔中伪沟道结构的密度大于伪沟道通孔调节区外的台阶区中的伪沟道通孔中伪沟道结构的密度,使伪沟道通孔调节区中伪沟道通孔中伪沟道结构的密度与所述沟道通孔调节区中沟道通孔中存储结构的密度之间的差异减小,从而使台阶区和核心区的交界两侧或附近的堆叠结构中薄膜的应力的差异会减小,因而在刻蚀台阶区和核心区的交界的堆叠结构形成栅极隔槽时,使得交界的栅极隔槽的侧壁不会产生倾斜或者倾斜度大幅减小,从而防止栅极隔槽与沟道通孔短路。
  • nand存储器及其形成方法
  • [发明专利]3D NAND存储器及其形成方法-CN201910574374.7有效
  • 王香凝;耿静静;王攀;张慧;刘新鑫;吴佳佳;肖梦 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2019-06-28 - 2021-06-08 - H01L27/11575
  • 一种3D NAND存储器及其形成方法,所述形成方法通过使所述沟道通孔调节区中形成的沟道通孔的密度小于沟道通孔调节区外的核心区中形成的沟道通孔密度,从而使得所述伪沟道通孔调节区中形成伪沟道通孔的密度与所述沟道通孔调节区中形成沟道通孔的密度之间的差异减小,相应所述沟道通孔调节区中沟道通孔中存储结构的密度小于沟道通孔调节区外的核心区中的沟道通孔中存储结构的密度,从而使得台阶区和核心区的交界两侧或附近的堆叠结构中薄膜的应力的差异会减小,因而在刻蚀台阶区和核心区的交界的堆叠结构形成栅极隔槽时,使得刻蚀台阶区和核心区的交界的栅极隔槽的侧壁不会产生倾斜或者倾斜度大幅减小,从而防止栅极隔槽与沟道通孔短路。
  • nand存储器及其形成方法
  • [发明专利]3D NAND存储器及其形成方法-CN202110538662.4有效
  • 王香凝;耿静静;王攀;张慧;刘新鑫;吴佳佳;肖梦 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2019-06-28 - 2022-08-09 - H01L27/11575
  • 一种3D NAND存储器及其形成方法,所述形成方法通过使所述沟道通孔调节区中形成的沟道通孔的密度小于沟道通孔调节区外的核心区中形成的沟道通孔密度,从而使得所述伪沟道通孔调节区中形成伪沟道通孔的密度与所述沟道通孔调节区中形成沟道通孔的密度之间的差异减小,相应所述沟道通孔调节区中沟道通孔中存储结构的密度小于沟道通孔调节区外的核心区中的沟道通孔中存储结构的密度,从而使得台阶区和核心区的交界两侧或附近的堆叠结构中薄膜的应力的差异会减小,因而在刻蚀台阶区和核心区的交界的堆叠结构形成栅极隔槽时,使得刻蚀台阶区和核心区的交界的栅极隔槽的侧壁不会产生倾斜或者倾斜度大幅减小,从而防止栅极隔槽与沟道通孔短路。
  • nand存储器及其形成方法
  • [发明专利]一种层叠可调发光区域的大面积光源结构-CN202111059657.1在审
  • 陈恩果;谢建龙;肖世杰;叶芸;徐胜;郭太良 - 福州大学
  • 2021-09-10 - 2022-01-28 - G02F1/13357
  • 本发明提出一种层叠可调发光区域的大面积光源结构,包括多个顺序地置于背板顶面的沟道形成光源阵列的发光单元;沟道的一端为减光侧,另一端为增光侧;发光单元为可在沟道滑移的板状物;光源阵列的光输出端包括各发光单元顶部的发光面;发光单元一侧为置于沟道滑移的滑行端;在沟道的增光侧方向上,发光单元的底面滑置于下一发光单元顶面形成遮光面;各发光单元滑行端均朝向沟道的减光侧;当光源阵列各发光单元向沟道减光侧滑移时,各发光单元之间的遮光面增大以减少发光量,各发光单元向沟道增光侧滑移时,各发光单元之间的遮光面减小以增大发光量;本发明能解决现有平板显示技术下,侧入式背光不能进行区域动态调光和角度可调的问题。
  • 一种层叠可调发光区域大面积光源结构
  • [实用新型]一种双锁口满球角接触球轴承-CN201720729688.6有效
  • 段素爽;赵盛 - 国机智能技术研究院有限公司
  • 2017-06-21 - 2018-04-10 - F16C33/58
  • 本实用新型涉及一种双锁口满球角接触球轴承,一种双锁口满球角接触球轴承,包括外圈、钢球和内圈,外圈的内壁具有外圈沟道、外圈锁口和外圈斜挡边,内圈的外壁具有内圈沟道和内圈锁口,钢球布满外圈沟道和内圈沟道合套后形成的滚道内,钢球分别与外圈沟道和内圈沟道点接触滚动连接;外圈锁口的两端分别连接外圈沟道的一端和外圈斜挡边,外圈斜挡边为其边缘直径大于其与外圈锁口连接直径的斜直边,外圈锁口为凹陷的弧面;内圈锁口与外圈沟道的另一端上或下对应的内圈沟道的一端连接,内圈锁口为其边缘直径小于其与内圈沟道连接直径的斜直边。
  • 一种双锁口满球角接触球轴承
  • [发明专利]一种内圈沟道分离式满球轴承-CN202110848869.1有效
  • 王春建 - 江苏万达特种轴承股份有限公司
  • 2021-07-27 - 2023-06-23 - F16C19/02
  • 本发明涉及一种内圈沟道分离式满球轴承,它包括外圈、内圈、钢球、半沟道挡圈,外圈内侧中间设计有外沟道,外沟道是截面呈圆弧状的环形外沟道,所述内圈是半沟道台阶内圈,内圈外侧设计成环形的半沟道,内圈外侧还设计有环形台阶,半沟道挡圈的外侧设计成环形的半沟道,半沟道挡圈的内侧是内孔,半沟道挡圈的内孔卡在内圈的环形台阶上,半沟道挡圈上的半沟道与内圈上的半沟道对接形成一个截面呈圆弧状的环形内沟道,钢球安装再外沟道与内沟道之间优点是结构简单、组装方便,且无需内外套圈开填球口或破裂套圈从而破坏内外沟道面,因此避免了钢球于填球口的卡球或裂纹的跳动异响问题的发生,而且相对于双半内圈满装球轴承更加不易散架。
  • 一种内圈沟道分离球轴承
  • [发明专利]竖直晶体管-CN202111029910.9在审
  • 李宜芳;刘鸿威;陆宁;A·A·卡恩德卡尔;J·B·赫尔;S·博尔萨里 - 美光科技公司
  • 2021-09-03 - 2022-06-14 - H01L29/78
  • 一种竖直晶体管包括顶部源极/漏极区、底部源极/漏极区、竖直位于所述顶部与底部源极/漏极区之间的沟道区及可操作地横向邻近所述沟道区的栅极。所述顶部源极/漏极区与所述沟道区具有顶部界面,且所述底部源极/漏极区与所述沟道区具有底部界面。所述沟道区是结晶的,且其晶粒具有小于20纳米的平均晶粒度。所述顶部界面或所述底部界面的所述沟道区具有比竖直位于所述顶部及底部界面的所述晶粒之间的所述沟道区中的所述晶粒的体积大的水平织构。公开其它实施例及方面。
  • 竖直晶体管
  • [发明专利]3D NAND存储器的形成方法-CN201910114036.5有效
  • 霍宗亮;薛家倩 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2019-02-14 - 2021-03-30 - H01L27/11578
  • 一种3D NAND存储器的形成方法,包括:半导体衬底,半导体衬底上形成有包括若干交替层叠的牺牲层和隔离层的堆叠结构,堆叠结构中具有连通第一沟道孔和第二沟道孔,且第二沟道孔相对于第一沟道孔存在对准偏移,在第一沟道孔和第二沟道孔的交界形成台阶,第一沟道孔中填充满牺牲材料层;在第二沟道孔的侧壁形成侧墙;去除部分所述牺牲材料层;刻蚀第一沟道孔使得第一沟道孔的宽度变宽,使得台阶的宽度变小;在第一沟道孔和第二沟道孔侧壁和底部上形成电荷存储层;在电荷存储层上形成沟道孔牺牲层;依次刻蚀第一沟道孔底部上的沟道孔牺牲层和电荷存储层,形成开口。本发明的方法防止台阶的电荷存储层被刻断或损伤,从而防止存储器失效。
  • nand存储器形成方法
  • [发明专利]3D NAND存储器的形成方法-CN201910114038.4有效
  • 霍宗亮;薛家倩 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2019-02-14 - 2021-04-13 - H01L27/1157
  • 一种3D NAND存储器的形成方法,包括:半导体衬底,半导体衬底上形成有所述堆叠结构包括若干交替层叠的牺牲层和隔离层,堆叠结构中具有连通第一沟道孔和第二沟道孔,且所述第二沟道孔相对于第一沟道孔存在对准偏移,在所述第一沟道孔和第二沟道孔的交界形成台阶,所述的第一沟道孔中填充满牺牲材料层;在所述第二沟道孔的侧壁形成侧墙;刻蚀所述第一沟道孔使得第一沟道孔的宽度变宽,使得台阶的宽度变小;在第一沟道孔和第二沟道孔侧壁和底部上形成电荷存储层;在电荷存储层上形成沟道孔牺牲层;依次刻蚀第一沟道孔底部上的沟道孔牺牲层和电荷存储层,形成开口。本发明的方法防止台阶的电荷存储层被刻断或损伤,从而防止存储器失效。
  • nand存储器形成方法
  • [发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202010214197.4在审
  • 王楠 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
  • 2020-03-24 - 2021-09-28 - H01L21/8234
  • 一种半导体结构及其形成方法,形成方法包括:提供基底,基底包括衬底和位于衬底上的多个沟道结构,衬底包括相邻接的器件区和隔离区,位于隔离区的沟道结构为伪沟道结构,位于器件区的沟道结构为器件沟道结构;形成横跨沟道结构的初始栅极结构;刻蚀隔离区和器件区交界沟道结构,以及与交界沟道结构相交的初始栅极结构,形成断开沟道结构和初始栅极结构的开口。本发明实施例中栅极结构的形成步骤通常包括:在基底上形成栅极材料层,刻蚀栅极结构材料层,形成初始栅极结构,隔离区和器件区的沟道结构的图形密度较为均一,使得沟道结构出现弯曲或倾斜问题的概率较低,有利于改善器件的性能以及性能均一性
  • 半导体结构及其形成方法

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