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[发明专利]一种质谱计线性段测试方法-CN201410465219.9无效
发明人：魏万印;成永军;李得天;马亚芳;刘珈彤;管保国;李莉 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2014-09-12 - 公布日： 2015-01-14 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种质谱计线性段测试方法。使用本发明能够有效确认质谱计的线性段，避免了其他各种因素对质谱计线性段测量的影响，降低了质谱计线性测量的不确定。本发明采用质谱计先后测量真空标准漏孔漏率对应的离子流和气体微流量计标准流量对应的离子流，由于真空标准漏孔漏率和气体微流量计标准流量已知，进而可以获得流量与离子流的比值，利用质谱计线性段流量与离子流的比值一定的关系，将测量获得的两个流量与离子流的比值进行对比，获得真空标准漏孔漏率与气体微流量计标准流量之间偏离线性的偏差，进而根据该偏差确定这两个流量是否在质谱计的线性范围内。
种质线性测试方法

[发明专利]氦气检漏装置-CN95111434.4无效
发明人：张果;李树 -专利权人：成都东方仪器厂
申请日： 1995-07-17 - 公布日： 2000-02-02 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本发明由真空箱检漏装置，充氦回收装置，氦质谱检漏仪组成。真空箱检漏装置由抽空装置７，真空箱２组成，充氦回收装置由抽空装置３，充氦装置４，回收装置５，贮存装置６组成。被检件位于真空箱２内，与抽空装置３连接，充氦装置４与真空被检件１连接，另一路通过回收位置５与被检件１连接，真空箱２与抽空装置７连接，并与氦质谱检漏仪９连接。
氦气检漏装置

[实用新型]一种冷水机组水室铜管的检漏及处理工具-CN201921965019.4有效
发明人：李文越;毛海谊;史佳俊;忻勇;韩光辉;杨彭城;王乐生;张鲁豫;孙钧 -专利权人：中核核电运行管理有限公司;核电秦山联营有限公司
申请日： 2019-11-14 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： G01M3/22 文献下载
摘要：本实用新型中，检漏装置包括氦质谱检漏仪，氦气进口；处理装置包括胀管器，注胶，衬套；在正压累积法中，薄膜位于水室管板外侧面，氦质谱检漏仪和吸枪相连，利用吸枪检测薄膜内部氦气累积浓度判断是否存在泄漏；在正压吸枪法中在传统的胀管工艺基础上增加补强衬套，处理漏点后同时加强铜管接口强度，且不影响换热效率。
一种冷水机组铜管检漏处理工具

[发明专利]一种氦氮混合气体抽空充注回收机-CN202011345284.X在审
发明人：王绪和;张剑良;姚川;王麦原;周佳依 -专利权人：绍兴西爱西尔数控科技有限公司
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： F17C5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种氦氮混合气体抽空充注回收机，包括抽空系统、充氮系统、充氦系统、检漏系统、回收系统和电器控制系统，进行高压氮气预检作业进行检大漏，在没有检测到大漏的情况下，对产品进行抽真空，并进行氦气的充注，采用氦质谱检漏仪对产品进行检漏，检漏完成后进行回收作业。氦氮混合气体可以进行回收再使用，浓度不足时自动补充氦气到设定的浓度，设备包含各种过滤器、具有净化功能，除去回收气体中的各种杂质。电器控制PLC系统多功能一键操作，自动完成所有步骤。全自动补充氦氮混合气体到指定的浓度。所有工序在一个接头上完成，提高了效率。负压回收机制，回收效率高。
一种混合气体抽空回收

[实用新型]一种氦氮混合气体抽空充注回收机-CN202022772615.X有效
发明人：王绪和;张剑良;姚川;王麦原;周佳依 -专利权人：绍兴西爱西尔数控科技有限公司
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： F17C5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氦氮混合气体抽空充注回收机，包括抽空系统、充氮系统、充氦系统、检漏系统、回收系统和电器控制系统，进行高压氮气预检作业进行检大漏，在没有检测到大漏的情况下，对产品进行抽真空，并进行氦气的充注，采用氦质谱检漏仪对产品进行检漏，检漏完成后进行回收作业。氦氮混合气体可以进行回收再使用，浓度不足时自动补充氦气到设定的浓度，设备包含各种过滤器、具有净化功能，除去回收气体中的各种杂质。电器控制PLC系统多功能一键操作，自动完成所有步骤。全自动补充氦氮混合气体到指定的浓度。所有工序在一个接头上完成，提高了效率。负压回收机制，回收效率高。
一种混合气体抽空回收

[发明专利]一种用于氦质谱检漏仪的气体过滤机构-CN202111301539.7在审
发明人：冉振为;洪荣丰;曹大阳;郭炳汉;汪浩;杨效 -专利权人：深圳华尔升智控技术有限公司
申请日： 2021-11-04 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于氦质谱检漏仪的气体过滤机构，涉及氦质谱检漏仪设备技术领域。该用于氦质谱检漏仪的气体过滤机构，包括机体和检漏管，所述机体顶部输入端安装有检漏管，所述检漏管顶部插接有过滤组件，所述过滤组件用于过滤流入至机体的气体，防止污物损坏机体内部精密零件，所述过滤组件底部表面设有支撑组件，并且支撑组件底部表面与机体顶部表面相连，所述支撑组件用于对过滤组件支撑托起，本发明可对流入至机体的气体进行过滤处理，从而能够防止气体中的污物损坏氦质谱检漏仪内部精密零件，并且又能对吸入的气体进行增压处理
一种用于氦质谱检漏气体过滤机构

[实用新型]一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置-CN202023271635.5有效
发明人：罗劢;刘亚;张艳丰 -专利权人：天津航天长征火箭制造有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置，包括底座其上方的密封室、固定机构、氦质谱检测仪、抽空机构、抽水机构和氦气瓶，所述密封室内部固设固定机构，密封室一侧固定连通至抽空机构，密封室顶部固定连通至抽水机构的抽水泵，且抽水泵与抽空机构互相平行设置，密封室另一侧分别固定连接至氦质谱检测仪、氦气瓶。本实用新型所述的一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置结构简单，设计合理，通过抽水泵将外界的水输送到喷淋头上，在从喷淋头喷出，来对密封室的内壁清洗，且通过一号电动伸缩杆的伸缩作用可以来对喷淋头的高度进行调整，
一种低压工件氦质谱泄漏检测装置

[实用新型]氦质谱检漏仪装置-CN201520727047.8有效
发明人：朱长平 -专利权人：安徽皖仪科技股份有限公司
申请日： 2015-09-18 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪装置，包括有分为上、下两层的小推车，氦质谱检漏仪的仪器主机置于小推车上层，机械泵置于小推车下层。本实用新型机械泵与仪器主机分开设置，可减少机械泵对质谱室的影响。
氦质谱检漏装置

[实用新型]一种刻蚀机托盘的真空测漏装置-CN201520658306.6有效
发明人：游利 -专利权人：靖江先锋半导体科技有限公司
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种刻蚀机托盘的真空测漏装置，包括配重块、真空室，所述的真空室内设置有装配好的托盘，托盘外圈上面设置有配重块，真空室与托盘之间设置有第一密封圈，真空室顶部通过螺钉固定有真空腔盖，真空室与真空腔盖之间设置有第二密封圈；真空室侧面连接有氦质谱检漏仪；所述的真空室底面中心设置有氦气接入口，侧面设置有抽气口。本实用新型结构简单，操作方便，制造成本低，有效判断托盘的漏率情况，提高了生产效率。
一种刻蚀托盘真空装置

[实用新型]一种用于航天低温复合材料贮箱的渗漏性测试装置-CN201920653519.8有效
发明人：湛利华;关成龙;戴光明;杨晓波;胡健;熊锐;郑航 -专利权人：中南大学
申请日： 2019-05-09 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于航天低温复合材料贮箱的渗漏性测试装置，包括液氦瓶、真空泵、氦质谱检漏仪、液位计和测试罐，测试罐的顶盖上设有氦注入口A和排气口A，液氦瓶与氦注入口A相连，真空泵通过真空管路和氦质谱检漏仪与测试罐相连，测试罐的氦注入口A和排气口A分别与复合材料贮箱的氦注入口B和排气口B相连，液位计设置在复合材料贮箱上。本实用新型的渗漏性测试装置能够高度还原航天低温复合材料贮箱服役时所处低温环境，实现对复合材料贮箱进行低温渗漏性检测；通过引入真空泵和氦质谱检漏仪，可排除环境、材料中气体和水蒸气对压差法测试结果的影响，为复合材料贮箱的高品质制造提供了必要的检测装置
复合材料贮箱测试罐注入口低温复合材料氦质谱检漏仪渗漏测试装置排气口真空泵贮箱本实用新型液氦瓶液位计航天水蒸气低温环境检测装置真空管路顶盖高品质压差法还原检测引入制造

[发明专利]一种电子器件的检漏方法-CN201310532543.3无效
发明人：周泰武;李文礼;彭应光;万文华 -专利权人：桂林机床电器有限公司
申请日： 2013-10-31 - 公布日： 2014-02-05 - 主分类号： G01M3/06 文献下载
摘要：包括如下步骤：将被检电子器件放入加压容器，待容器抽成真空后，用纯度为99.999%高压的示踪气体氦对器件加压；待加压处理完毕后，将电子器件直接浸入到轻氟油中，通过观察器件是否冒泡来进行判断；将经过冒泡合格的被检电子器件放入真空容器，采用氦质谱抽真空检漏法进行漏率测试和判断。
一种电子器件检漏方法

[实用新型]一种多功能包装容器氦质谱检漏装置-CN202021826450.3有效
发明人：倪荣国 -专利权人：新沂市中明包装有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多功能包装容器氦质谱检漏装置，包括：储液箱，所述储液箱的右侧设有计量泵且计量泵的右侧设有雾化处理箱，所述计量泵、雾化处理箱和储液箱之间设有连接管并通过连接管相互连通，所述雾化处理箱的上部设有固定架且固定架的上部设有电机本实用新型在密封箱的两侧设置连接法兰且连接法兰侧面设置连接管，连接管分别接入抽真空泵和氦质谱检测仪，通过抽真空泵对密封箱进行抽真空，压力表显示内部压力情况，同时打开控制阀使氦质谱检测仪进行气体检测，检测到氦气则包装容器存在泄漏，检测不到氦气则包装容器不存在泄漏，此种设置大大缩短了检测时间，其检测方法简单易操作，同时检测精度高，容错率低。
一种多功能包装容器氦质谱检漏装置

[实用新型]一种反向低漏率单向阀-CN201420774295.3有效
发明人：何彬;殷德文;王淑红;徐轩;李晶晶;魏春梅 -专利权人：西安航空动力控制科技有限公司
申请日： 2014-12-10 - 公布日： 2016-02-24 - 主分类号： F16K15/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种反向低漏率单向阀，包括管接头(1)、弹簧座(2)、阀体(3)、弹簧(4)、阀心(5)，所述阀心(5)的端面(501)上硫化一层0.2mm～1mm橡胶。本实用新型单向阀在0.1MPa压差下采用正压氦质谱检漏，反向漏率可低于1.0×10-5Pa·m3/s，除可代替传统结构的单向阀用于一般的液压系统和气动系统外，还可应用于反向有较高的密封性要求的场合。
一种反向低漏率单向阀

[实用新型]一种高效真空快抽及检测装置-CN202221817971.1有效
发明人：俞斌 -专利权人：无锡特莱姆气体设备有限公司
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G01M3/22 文献下载
摘要：本申请涉及真空储液罐的技术领域，尤其是公开了一种高效真空快抽及检测装置，包括氦罩，所述氦罩密封罩设在储液罐上；自动充氦机构，与所述氦罩密封连通，以输送氦气至所述氦罩内；检测机构，包括抽气机组和氦质谱检测仪，所述抽气机组与所述储液罐的隔层相连通，所述氦质谱检测仪设置于所述抽气机组上。本申请通过自动充氦机构向氦罩内输送氮气，检测机构在抽取储液罐内气体的同时，检测所抽取气体内氦气的含量，如果氦气含量超过阈值，则说明储液罐内的抽真空管路存在虚焊。
一种高效真空检测装置

[发明专利]采用分子泵和低温泵并行抽气的航天器漏率测试系统-CN201410720736.6在审
发明人：邵容平;孟冬辉;孙立臣;闫荣鑫;赵月帅;王健;喻新发;张海峰;李晓阳;齐飞飞 -专利权人：北京卫星环境工程研究所
申请日： 2014-12-02 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用分子泵和低温泵并行抽气的航天器漏率测试系统，包括用于容纳待检航天器的检漏容器、低温泵、涡轮分子泵、复合分子泵、干泵及配套管路阀门，检漏容器通过阀门连接有低温泵，还分别设置有涡轮分子泵组和复合分子泵组涡轮分子泵组由并联设置的多个相互串联的涡轮分子泵和阀门组成，复合分子泵组由并联设置的多个相互串联的复合分子泵和阀门组成，复合分子泵组和涡轮分子泵组再分别串联有作为前级泵的干泵，其中，复合分子泵组与其串联的干泵之间设置有氦质谱检漏仪本系统的检漏系统，通过低温泵、涡轮分子泵、复合分子泵、干泵的相互配合，使得航天器泄漏出的氦气的绝大部分被氦质谱检漏仪检测，因此有效提高了检漏灵敏度。
采用分子低温泵并行航天器测试系统

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