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[实用新型]一种氦质谱检漏仪吸枪装置-CN201920814437.7有效
发明人：朱迎青 -专利权人：安徽歌博科技有限公司
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种氦质谱检漏仪吸枪装置，包括氦质谱检漏仪本体，所述氦质谱检漏仪本体的顶部固定安装有接收器，所述氦质谱检漏仪本体的底部开设有方形放置槽，所述方形放置槽的内部设置有吸附装置，所述吸附装置的左右两侧与方形放置槽左右两侧的内壁固定连接，所述吸附装置的顶部设置有加固装置，所述吸附装置右侧的顶部设置有排气管，所述排气管的左侧与吸附装置右侧的顶部固定连接，所述排气管的右端贯穿氦质谱检漏仪本体并延伸至右侧。本方案提供的一种氦质谱检漏仪吸枪装置，可以快速固定和方便观看。
氦质谱检漏仪吸附装置放置槽排气管顶部设置左右两侧吸枪本实用新型加固装置快速固定内部设置接收器内壁贯穿延伸观看

[实用新型]一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统-CN202021459182.6有效
发明人：朱操胜 -专利权人：安徽诺益科技有限公司
申请日： 2020-07-22 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统，包括辅助抽空通路、氦质谱检漏通路、破空通路、清扫通路与公共管路，所述辅助抽空通路、所述氦质谱检漏通路、所述清扫通路、所述破空通路与所述公共管路并联，本实用新型通过增加了辅助抽空通路、破空通路，大大提高了氦质谱检漏系统的抽空和破空能力，提升了单次检测的工作效率，弥补了氦质谱检漏仪自身抽空能力的不足；通过增加清扫通路，提高了氦质谱检漏系统的抗干扰能力，
一种具有辅助抽空功能氦质谱检漏系统

[外观设计]氦质谱检漏仪外壳-CN202230867547.7有效
发明人：刘勇 -专利权人：安徽博为光电科技有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： 10-07 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：氦质谱检漏仪外壳。2.本外观设计产品的用途：与氦质谱检漏仪的内部元器件以及按钮等进行组装，最终形成氦质谱检漏仪，氦质谱检漏仪外壳是氦质谱检漏仪的承载件、外包装件。
氦质谱检漏外壳

[实用新型]一种氦质谱检漏仪检漏截流装置-CN201120422353.2有效
发明人：张志 -专利权人：安徽皖仪科技股份有限公司
申请日： 2011-10-31 - 公布日： 2012-08-08 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪检漏截流装置，包括一个空心接头，所述接头包括进气口、出气口，所述接头的中心位置嵌入一个氦气分离器。本实用新型的氦气分离器只对氦气具有良好的渗透率，可以良好阻断其他气体通过。当工件在低真空1000Pa以上至1个大气压下喷氦检漏时，只要氦气进入工件，便可以通过氦气分离器进入氦质谱检漏仪中，从而被检测出来，实现对工件的检漏。本实用新型结构简单，使用方便，解决了目前氦质谱检漏仪在低真空1000Pa以上至1个大气压下喷氦检漏问题，具有良好的应用前景。
一种氦质谱检漏截流装置

[发明专利]一种航天复合材料贮箱的渗漏性测试方法-CN201910381996.8在审
发明人：湛利华;关成龙;戴光明;杨晓波;吴欣桐;常腾飞;贺佳阳 -专利权人：中南大学
申请日： 2019-05-09 - 公布日： 2019-07-30 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种航天复合材料贮箱的渗漏性测试方法，将真空泵和氦质谱检漏仪接入真空管路，以排除空气中的氦气成分对测试结果的影响，并保证测试过程中氦质谱检漏仪可采集到渗漏气体；真空泵对测试罐和复合材料贮箱之间的空间抽真空直至氦质谱检漏仪示数为零，由氦气瓶向贮箱内注入氦气；当从压力表得知贮箱内压力达到一定值时，关闭氦气瓶的阀门，观察并记录氦质谱检漏仪上渗漏率的数值。
氦质谱检漏仪渗漏复合材料贮箱航天复合材料氦气瓶真空泵测试氦气贮箱压力表空间抽真空测试过程排除空气箱内压力真空管路测试罐高品质渗漏率检测阀门示数采集观察记录制造保证

[实用新型]一种带有调节机构的氦质谱检漏仪-CN202220309089.X有效
发明人：冉振为 -专利权人：深圳华尔升智控技术有限公司
申请日： 2022-02-16 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有调节机构的氦质谱检漏仪，包括氦质谱检漏仪本体，所述氦质谱检漏仪本体的底部设置有固定板，所述固定板底部的四角均固定连接有万向轮，所述氦质谱检漏仪本体底部的四角均固定连接有定位杆，所述固定板顶部的四角均开设有与定位杆配合使用的定位槽本实用新型通过设置氦质谱检漏仪本体、固定板、万向轮、定位杆、定位槽、滑槽、电机、螺杆、螺套、传动块和支撑块的配合使用，解决了现有的氦质谱检漏仪不具备便于调节高度的效果，由于使用者的身高不同，导致使用者使用氦质谱检漏仪中需要弯腰进行操作
一种带有调节机构氦质谱检漏

[实用新型]一种氦质谱检漏工作台-CN201820464581.8有效
发明人：朱操胜 -专利权人：安徽诺益科技有限公司
申请日： 2018-04-03 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氦质谱检漏工作台，包括三层结构的安装台架、氦质谱检漏仪、自动检漏控制系统和声光显示报警装置；所述安装台架的底层放置氦质谱检漏仪的动力件，所述安装台架的中层放置氦质谱检漏仪的主机以及自动检漏控制系统，所述安装台架的顶层为水平结构的操作平台，所述操作平台上开设有通孔，所述氦质谱检漏仪的检漏口沿所述通孔延伸至操作平台上，所述声光显示报警装置设置在操作平台上。本实用新型结构简单，使用方便，将氦质谱检漏仪的检漏工作按用户的工艺流程整合到生产流程中，提高了工作效率，同时节约了场地空间。
氦质谱检漏安装台架操作平台检漏声光显示报警装置控制系统通孔氦质谱检漏仪本实用新型场地空间工作效率三层结构生产流程水平结构工艺流程动力件工作台检漏口顶层整合主机中层节约延伸

[实用新型]一种可调式氦质谱检漏仪用工作台-CN202122031758.X有效
发明人：李洋 -专利权人：上海艾石新能源科技有限公司
申请日： 2021-08-26 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： A47B37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可调式氦质谱检漏仪用工作台，属于氦质谱检漏仪技术领域，其包括支撑台，所述支撑台内壁的背面与电机的背面固定连接，所述电机的输出轴与槽面轴的背面固定连接，所述槽面轴内设置有两个连接块。该可调式氦质谱检漏仪用工作台，通过设置安装架、电机、槽面轴、连接块、环形套、活动套、连接柱、伸缩架和顶板，则本装置通过安装架可以保证氦质谱检漏仪的牢固性，避免其掉落损坏，同时通过调节氦质谱检漏仪的位置，可以达到对其收纳的目的，有效减少了空间占用，而且可以对其进行防尘的工作，同时本装置采用收纳式操作，避免搬动氦质谱检漏仪造成费力的问题，从而具有良好的使用工作。
一种调式氦质谱检漏用工

[实用新型]一种半导体器件封装气密性检漏测试装置-CN202221472845.7有效
发明人：刘志双;曾广锋;高涛;方正君 -专利权人：东莞先导先进科技有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体器件封装气密性检漏测试装置，包括氦气源、测试腔体、氦质谱检漏仪、第一阀门、第二阀门和第三阀门；测试腔体用于装入被测工件；第一阀门的一端用于与氦气源的出气口连接，另一端与测试腔体的进气口连接；第二阀门的一端与测试腔体的出气口连接，另一端用于与抽真空机构的进气口连接；第三阀门的一端用于与装入于测试腔体内的被测工件的排气口连接，另一端与氦质谱检漏仪的进气口连接。本方案通过将被测工件的排气口与氦质谱检漏仪的进气口连接的设计，以在抽真空工序和充入氦气工序后，可直接对被测工件进行检测漏率，简化检漏测试工艺流程，提高检漏测试效率，更加适用于红外热成像传感器金属封装气密性的检漏测试
一种半导体器件封装气密性检漏测试装置

[实用新型]氦质谱检漏仪-CN201720844628.9有效
发明人：刘勇 -专利权人：安徽博为光电科技有限公司
申请日： 2017-07-12 - 公布日： 2018-05-01 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开一种氦质谱检漏仪；解决的技术问题针对背景技术中提及的现有氦质谱检漏仪存在的问题。采用的技术方案一种氦质谱检漏仪，包括质谱室、复合分子泵、粗抽泵和细抽泵。
氦质谱检漏

[发明专利]低充氦浓度氦质谱检漏方法-CN201110026335.7无效
发明人：胡茂中;廖旭东;白国云;陈涛 -专利权人：中国人民解放军63653部队
申请日： 2011-01-25 - 公布日： 2012-02-08 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本发明提供的低充氦浓度氦质谱检漏方法，装置由容器、通道型漏孔、纯氦气源、检漏仪构成；其中布设隔离阀分别控制氦气，纯氦气，真空泵的使用；步骤一关闭纯氦气、真空泵的隔离阀，打开检测仪的隔离阀，测量其系统本底；步骤二关闭氦气的隔离阀，打开纯氦气隔离阀，测量漏孔入口处，纯氦气的下漏率；步骤三关闭纯氦气隔离阀，打开真空泵的隔离阀，抽除漏孔入口端的氦气，再打开氦气隔离阀测量其系统本底；步骤四通过容器进气口分步注入纯氦气，使容器内的氦气理论浓度分别为0.5‰、1‰、3‰、5‰，对应每一浓度测量氦气通过漏孔的漏率。本方法的氦气是配置的气体，纯氦气为100%氦浓度的气体；利用1‰氦浓度可使其检漏灵敏度为1.5×10-8Pa·m3/s。
低充氦浓度氦质谱检漏方法

[实用新型]大型容器氢氦质谱检漏系统-CN201821785844.1有效
发明人：陈加宝 -专利权人：苏州科联盈自动化系统有限公司
申请日： 2018-10-31 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G01M3/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大型容器氢氦质谱检漏系统，包括固定放置地面上具有真空泵组的抽注机构，抽注机构一侧集成设置有具有电箱和控制器的电控柜，抽注机构的外部设置有可移动的、具有散热风扇的冷水机和检漏装置，抽注机构上具有氢气供入单元、氦罩供气单元、抽真空单元和喷氦供气单元；检漏装置内具有氢质谱检漏仪、氦质谱检漏仪，所述氢质谱检漏仪的检漏端经管道依次经过串联的第四电磁阀、第一止回阀与吸枪相连，所述氦质谱检漏仪的检漏端经管道依次经过串联的第五电磁阀能够处理氢气质谱检测和氦气质谱检测，可以用来处理氢氦混合气体的质谱检测，具有广泛的应用场景，且其抽真空的效果佳。
检漏氢氦大型容器供气单元检漏系统检漏装置质谱检测氢气电磁阀止回阀氢质吸枪质谱串联氦质谱检漏仪本实用新型抽真空单元氦质谱检漏固定放置混合气体集成设置散热风扇外部设置应用场景真空泵组控制器抽真空电控柜检漏仪可移动冷水机气质谱电箱氦罩检测

[发明专利]一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法-CN201611100669.3在审
发明人：黄文平;陈然 -专利权人：安徽皖仪科技股份有限公司
申请日： 2016-12-05 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法，由氦质谱检漏仪专用吸枪和氦质谱检漏仪组成。通过控制吸枪的流量，连接到氦质谱检漏仪分子泵的中检口，利用空气中稳定的氦气浓度替代正压漏孔，对吸枪进行定标，从而实现没有正压漏孔的情况下进行定标，避免利用正压漏孔定标时的误差，准确方便，节省检漏仪使用维护成本
一种利用空气进行氦质谱检漏仪吸枪定标方法

[发明专利]一种阀门低温检漏系统及检漏方法-CN201910343563.3在审
发明人：吕秉坤;徐冬;李来风;刘辉明;黄荣进;沈福至;李旭;贾朋 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2019-04-26 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： G01M3/22 文献下载
摘要：本发明涉及阀门低温检漏测试技术领域，尤其涉及一种阀门低温检漏系统及检漏方法，包括：供配气装置、制冷装置、第一氦质谱检漏仪、第二氦质谱检漏仪、多条进气管路、多条出气管路以及真空检测平台，供配气装置通过进气管路与真空检测平台连通，第一氦质谱检漏仪与真空检测平台连通，第二氦质谱检漏仪通过出气管路与真空检测平台连通，每一对进气管路与出气管路分别连接在对应待测阀门的两端，在第一氦质谱检漏仪、第二氦质谱检漏仪、进气管路以及出气管路分别设有阀
氦质谱检漏仪阀门出气管路进气管路真空检测检漏连通检漏系统配气装置制冷装置测试技术领域测试费用测试周期人力成本试验可控冷源检测

[实用新型]一种阀门低温检漏系统-CN201920584767.1有效
发明人：吕秉坤;徐冬;李来风;刘辉明;黄荣进;沈福至;李旭;贾朋 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2019-04-26 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： G01M3/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及阀门低温检漏测试技术领域，尤其涉及一种阀门低温检漏系统，包括：供配气装置、制冷装置、第一氦质谱检漏仪、第二氦质谱检漏仪、多条进气管路、多条出气管路以及真空检测平台，供配气装置通过进气管路与真空检测平台连通，第一氦质谱检漏仪与真空检测平台连通，第二氦质谱检漏仪通过出气管路与真空检测平台连通，每一对进气管路与出气管路分别连接在对应待测阀门的两端，在第一氦质谱检漏仪、第二氦质谱检漏仪、进气管路以及出气管路分别设有阀
氦质谱检漏仪出气管路进气管路真空检测阀门连通本实用新型配气装置制冷装置测试技术领域测试费用测试周期检漏系统人力成本试验检漏可控冷源检测