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- [发明专利]气闸-CN201980047669.7有效
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托马斯·艾伯根
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元峻有限公司
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2019-07-01
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2023-07-25
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F27B9/04
- 本发明涉及一种带有壳体的气闸,该壳体具有前面的输入开口、后面的输出开口和在它们之间伸展的被输送装置穿过的闸井道,该输送装置与工件承载体连接,从而可把布置于其上的工件输送经过所述闸井道。为了提出一种气闸,其能够实现节省成本地且比较快速地把工件输送通过气闸,根据本发明提出,所述输送装置至少间接地与横向于输送方向布置的分隔壁连接,这些分隔壁分别向前和向后限定了工件腔,其中,所述闸井道具有至少一个第一气体输入开口和至少一个第一气体输出开口
- 气闸
- [实用新型]一种医院洁净室模块化消毒气闸室-CN202221826028.7有效
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朱楠
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杭州依科空气净化科技有限公司
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2022-07-14
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2023-01-10
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F24F7/003
- 本申请公开了气闸室技术领域的一种医院洁净室模块化消毒气闸室,包括气闸室,气闸室两侧分别连通有进气管和出气管,进气管和出气管内部均设置有风扇,气闸室顶端设置有喷洒机构,气闸室内腔底端设置有传动机构,传动机构包括电机和限位杆,电机设置在气闸室侧面,限位杆设置在气闸室内壁两侧之间,电机的输出端连接有往复螺杆,往复螺杆远离电机的一端和气闸室内壁转动设置,传动机构的输出端设置有移动板,移动板底端设置有抵接机构,抵接机构底端设置有清理板,气闸室底侧两端连通有收集机构,出气管内部插接有过滤板。本申请能够对气闸室内进行消毒,同时也能够对气闸室的内腔底侧消毒,加大了消毒的消毒,加大了气闸室的功能性。
- 一种医院洁净室模块化消毒气闸
- [实用新型]用于隔离异味气体的气闸装置-CN202220362666.1有效
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董大纲;吕东彦;邓有源
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中国恩菲工程技术有限公司
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2022-02-22
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2022-08-09
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F24F9/00
- 本实用新型的实施例提出一种用于隔离异味气体的气闸装置。其中,本实用新型的实施例的一种用于隔离异味气体的气闸装置,包括气闸室、引风机、引风通道和排风通道。所述气闸室用于连通生产车间与生产管理区,所述引风通道的进风口设置在所述气闸室外且与外界连通,引风通道的排风口与气闸室的内部连通,所述排风通道的进风口所述气闸室的内部连通,所述排风通道的排风口设置在所述气闸室的外部且与外界连通,所述引风机设置在所述引风通道上,以便通过引风机运行来维持所述气闸室的正气压状态。因此,据本实用新型的实施例的用于隔离异味气体的气闸装置具有降低气闸室及生产管理区内异味气体的浓度,提升工作人员的舒适度的优点。
- 用于隔离异味气体气闸装置
- [发明专利]气闸室平衡系统-CN201910905864.0在审
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不公告发明人
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长鑫存储技术有限公司
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2019-09-24
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2021-04-09
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H01L21/677
- 本发明涉及一种气闸室平衡系统,包括:逆止阀组件,用于控制连接气闸室与大气的平衡管道内气体向远离气闸室的方向单向流动;压力监测系统,用于监测气闸室内压力值的变化是否异常。通过逆止阀组件使得平衡管道内的气体均向远离气闸室的方向单向流动,因此当气闸室内压力检测失真导致平衡阀打开后,如果气闸室内的腔体压力值实际上小于外界压力值,通过平衡管道灌入气闸室的气流会被逆止阀组件阻断,从而减少气体回灌导致的微尘进入气闸室的情况,通过检测打开平衡阀后的气闸室的腔体压力值,能够及时发现压力检测失真从而进行维修调整,使得在新一轮工作中压力正常检测,通过上述技术方案,能够有效减少压力回灌现象
- 气闸平衡系统
- [实用新型]气闸室平衡系统-CN201921594961.4有效
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不公告发明人
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长鑫存储技术有限公司
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2019-09-24
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2020-04-21
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H01L21/677
- 本实用新型涉及一种气闸室平衡系统,包括:逆止阀组件,用于控制连接气闸室与大气的平衡管道内气体向远离气闸室的方向单向流动;压力监测系统,用于监测气闸室内压力值的变化是否异常。通过逆止阀组件使得平衡管道内的气体均向远离气闸室的方向单向流动,因此当气闸室内压力检测失真导致平衡阀打开后,如果气闸室内的腔体压力值实际上小于外界压力值,通过平衡管道灌入气闸室的气流会被逆止阀组件阻断,从而减少气体回灌导致的微尘进入气闸室的情况,通过检测打开平衡阀后的气闸室的腔体压力值,能够及时发现压力检测失真从而进行维修调整,使得在新一轮工作中压力正常检测,通过上述技术方案,能够有效减少压力回灌现象
- 气闸平衡系统
- [实用新型]炉门升降机构气路系统-CN201220205325.X有效
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贺江波;马海杰
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新兴铸管股份有限公司
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2012-05-09
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2013-01-16
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F27D1/18
- 本实用新型公开了一种炉门升降机构气路系统,包括气缸、进气闸阀、排气闸阀,气缸的有杆腔通过进气管路与气源连通,进气管路上安装进气闸阀,进气管路上在进气闸阀与气缸有杆腔进气口之间连接旁通管路,旁通管路上安装排气闸阀本实用新型炉门升降机构气路系统,当需要开启出料炉门时,关闭排气闸阀,打开进气闸阀,气体进入气缸有杆腔,推动活塞及活塞杆向下移动,通过链条将出料炉门提起,达到开启出料炉门的目的,当需要关闭出料炉门时,将进气闸阀关闭,打开排气闸阀,气缸活塞杆在出料炉门重力作用下,将气缸有杆腔内的气体通过排气闸阀排出,出料炉门关闭。
- 炉门升降机构系统
- [发明专利]模块化数字智能消毒气闸室-CN201410050031.8无效
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崔静涛
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四川川净洁净技术股份有限公司
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2014-02-13
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2014-05-21
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E04H1/12
- 本发明公开了一种模块化数字智能消毒气闸室,包括气闸室本体,所述气闸室本体由墙板、顶板和底板拼接成一密闭空间,气闸室本体包括智能控制系统、送风控制模块、静压箱模块、回风控制模块、工作区域和压差控制系统,气闸室本体顶面设有新风进入口、排气口和循环回风口,新风进入口、排气口和循环回风口上均设有手动阀和电动阀,气闸室本体正面设有显示屏和DOP检漏装置检测口,气闸室本体正面对应工作区域的位置设有气密门。本发明占地面积较小,可移动性强,安装拆卸便装,能短时间达到洁净度要求;既可以作缓冲室,也作数字智能消毒气闸室,非工作状态也可作为一般洁净室,一室多用,使用范围广,适合推广使用。
- 模块化数字智能消毒气闸
- [实用新型]一种扫描电镜-CN201520988177.7有效
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崔耀晨;张玉祥
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昆山国显光电有限公司
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2015-12-02
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2016-05-04
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G01N23/225
- 本实用新型公开了一种扫描电镜,包括:系统舱,与所述系统舱密封连接的气闸,所述气闸内设有用于承载测试样品的载台,所述气闸内设有溅射靶,所述溅射靶朝向所述载台,所述溅射靶与所述载台之间不贴合。正是由于本实用新型中的扫描电镜在其气闸内设有溅射靶,由于扫描电镜和离子溅射仪均工作在真空环境,那么,只需在扫描电镜的气闸内进行抽真空,从而达到溅射靶可工作的真空环境,完成离子溅射过程,并在此基础上,调整气闸的真空度,使得真空度达到扫描电镜的真空环境,可见,通过该溅射靶,可直接在气闸内完成离子溅射的过程,并且,可以在扫描电镜的气闸内完成抽真空操作,有效提升了测试的便捷性及效率。
- 一种扫描电镜
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