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[实用新型]气体安全均匀混合装置-CN202121499141.4有效
发明人：杨晓东;田忠斌;任斗金 -专利权人：山西省煤炭地质物探测绘院;四川伟博震源科技有限公司
申请日： 2021-07-03 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： B01F23/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体安全均匀混合装置，其中混合瓶的底部设有出气口，下层设有混合层，上层伸入第一注气管和第二注气管，伸入部分的第一注气管和第二注气管均匀设置有小孔；氧气压力调节部、第一气压表和第一电磁阀依次沿着靠近混合瓶的方向设置在第一注气管上，易燃易爆气体压力调节部、第二气压表和第二电磁阀依次沿着靠近混合瓶的方向设置在第二注气管上；第一电磁阀、第一气压表、氧气压力调节部、第二电磁阀、第二气压表和易燃易爆气体压力调节部均分别与控制单元电连接。本实用新型实现氧气和易燃易爆气体混合均匀、安全且高效。
气体安全均匀混合装置

[实用新型]三种气体均匀混合装置-CN201320494401.8有效
发明人：仲剑明;宋松林;周旭波;王明明;白守江;祁世申 -专利权人：新密港华燃气有限公司
申请日： 2013-08-14 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： B01F5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了三种气体均匀混合装置，包括内部具有空腔的壳体，壳体内设有第一孔板、第二孔板和第三孔板，第一孔板和第二孔板平行设置，第三孔板位于第一孔板和第二孔板之间，三个孔板上分别均匀设有三个以上的气孔；三个孔板将壳体内的空腔分隔为第一进气室、第二进气室、第三进气室和混合气室；壳体外设有与第一进气室连通的第一进气管、与第二进气室连通的第二进气管、与第三进气室连通第三进气管以及与混合气室连通的混合气出气管，三个进气管上分别设有一个气体流量调节阀。本实用新型设计合理，结构简单，安全可靠，专门适用于三种不同气体的均匀混合，易于操作，混合效果好，实用性强，易于推广应用。
气体均匀混合装置

[实用新型]四种气体均匀混合装置-CN201320494386.7有效
发明人：仲剑明;宋松林;周旭波;王明明;白守江;祁世申 -专利权人：新密港华燃气有限公司
申请日： 2013-08-14 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： B01F5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了四种气体均匀混合装置，包括内部具有空腔的壳体，壳体内设有第一孔板、第二孔板、第三孔板和第四孔板，第一孔板和第二孔板平行设置，第三孔板和第四孔板平行设在第一孔板和第二孔板之间，四个孔板上分别均匀设有三个以上的气孔；四个孔板将壳体内的空腔分隔为第一进气室、第二进气室、第三进气室、第四进气室和混合气室；壳体外设有第一进气管、第二进气管、第三进气管、第四进气管以及混合气出气管，四个进气管上分别设有一个气体流量调节阀。本实用新型设计合理，结构简单，安全可靠，专门适用于三种不同气体的均匀混合，易于操作，混合效果好，实用性强，易于推广应用。
气体均匀混合装置

[发明专利]一种适用于不稳定及爆炸性气体的气体混合装置-CN201410037872.5有效
发明人：郭澎湃;叶泉;张德波;田勇;曾祥秋 -专利权人：中昊晨光化工研究院有限公司
申请日： 2014-01-26 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： B01F3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种适用于不稳定及爆炸性气体的气体混合装置，包括气体均匀混合器、第一气体输入管、第二气体输入管和气体输出管；所述气体均匀混合器底部设有第一气体输入管和第二气体输入管，该混合器顶部设有气体输出管；所述第一气体输入管在气体均匀混合器内的一端设有气体均匀分布器；所述第二气体输入管在与气体均匀混合器底部连通时均匀分布多个管口；所述气体均匀混合器的顶部为斜坡式设计，斜度为30°～75°。该装置具有混合均匀，物料不容易滞留，温度可控等优点。
一种适用于不稳定爆炸性气体混合装置

[实用新型]一种混合气体均匀混合装置-CN201720093027.9有效
发明人：傅铸红;陈平;禹金龙;吴杰 -专利权人：江西省华东特种气体有限公司;江西华特电子化学品有限公司
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2017-08-18 - 主分类号： B65G7/02 文献下载
摘要：一种混合气体均匀混合装置，包括机架、气瓶上下翻转部、气瓶进出部、气瓶滚动部和驱动部；气瓶上下翻转部包括支撑架和底板，支撑架铰接于机架的一侧，底板设于支撑架的底部，且底板的顶端与支撑架的底端之间形成夹角A本实用新型根据上述内容提出一种混合气体均匀混合装置，其操作便捷，能够将混合气体混合得更加均匀，提升混合气体的质量。
一种混合气体均匀混合装置

[实用新型]一种混合均匀的气体混合器-CN201920873611.5有效
发明人：陈夫前 -专利权人：新沂新南资源综合利用技术研究院有限公司
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： B01F7/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种混合均匀的气体混合器，包括混合罐，所述混合罐右侧的顶部连通有第一进气管，混合罐右侧的底部连通有第二进气管，混合罐内部的右侧竖向固定连接有分流板，混合罐顶部的左侧固定连接有电机箱，电机箱内壁底部的左侧设置有电机本实用新型通过设置混合罐、第一进气管、第二进气管、分流板、电机箱、电机、第一斜齿轮、轴承、转轴、第二斜齿轮、混合片和出气管的配合使用，解决了现有的气体混合器大多采用分流板达到气体混合的目的，气体混合器不具有均匀混合气体功能的问题，该混合均匀的气体混合器，具备混合均匀的优点，提高了气体混合器的混合效率，缩短了气体混合的加工周期。
一种混合均匀气体混合器

[发明专利]一种动态气体均匀混合箱-CN202010829530.2在审
发明人：姜涛;高捷;李强;郭亮;杨超 -专利权人：青岛众瑞智能仪器有限公司
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： B01F13/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种动态气体均匀混合箱，涉及气体混合箱技术领域。所述动态气体均匀混合箱，包括筒体，所述筒体上设有进气口和出气口，所述筒体由柔性材料制成。本发明，通过选用柔性材料制作筒体，在使用的时候，气体将筒体撑开，被撑开的筒体具有恢复初始状态的回弹属性，使筒体内部呈微正压状态，从而给筒体内部的气体一个较长时间的稳定气体混合状态，实现气体动态均匀混合；
一种动态气体均匀混合

[实用新型]一种动态气体均匀混合箱-CN202021719102.6有效
发明人：姜涛;高捷;李强;郭亮;杨超 -专利权人：青岛众瑞智能仪器股份有限公司
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： B01F13/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种动态气体均匀混合箱，涉及气体混合箱技术领域。所述动态气体均匀混合箱，包括筒体，所述筒体上设有进气口和出气口，所述筒体由柔性材料制成。本实用新型，通过选用柔性材料制作筒体，在使用的时候，气体将筒体撑开，被撑开的筒体具有恢复初始状态的回弹属性，使筒体内部呈微正压状态，从而给筒体内部的气体一个较长时间的稳定气体混合状态，实现气体动态均匀混合
一种动态气体均匀混合

[发明专利]用于均匀化气体的混合的设备-CN201880019412.6在审
发明人： T.D.杜布;J.戈特沙尔德;E.沃巴赫;M.温特 -专利权人：艾默生过程管理两合公司
申请日： 2018-02-09 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： G01N21/76 文献下载
摘要：特别地，本公开涉及一种与化学发光检测器(CLD)一起使用的设备，其用于均匀化气体的混合，该设备包括外导管(102)；穿过所述外导管(102)的内导管(104)；第一通道(104)，其穿过所述内导管(102反应区(106)限定在所述第一出口(104B)和所述底端(102B)之间的凹进部中，用于从所述第一通道(104A)和所述第二通道(102A)引入所述两种流体以均匀化。本发明的均匀化设备的技术进步在于，它有利于气体的均匀混合，并允许混合物在CLD探测器的中心行进，以避免由于不当的混合、气体短路流动和CLD中的光淬灭而引起的光子损失。
内导管外导管流体底端均匀化导通化学发光检测器穿过机械工程领域均匀化设备第二流体光子损失技术进步混合物凹进部凹进的反应区短路探测器淬灭内壁外壁出口行进引入流动

[实用新型]一种气体混合器及化学气相沉积装置-CN202222043699.2有效
发明人：姜勇;王弦歌;陶珩 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体混合器，包括：混合器本体，其内部设有混合腔；接入部，由所述混合器本体的顶部伸入所述混合腔的内部设置；中间通道，设置在所述接入部的内部；所述接入部伸入所述混合腔的内部的侧壁上开设有若干通孔，使所述中间通道与所述混合腔连通，用于输送第一气体至所述混合腔；第一旁侧通道，设置于所述混合器本体上，且与所述混合腔连通，用于输送第二气体至所述混合腔，使第一气体和第二气体在所述混合腔内均匀混合。其优点是：该气体混合器的接入部上开设有多个通孔，增加了第一气体与第二气体的接触面积，使反应体混合更加均匀，从而提供混合均匀的气体，保证了薄膜沉积的均匀性。
一种气体混合器化学沉积装置

[发明专利]一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器-CN201910519746.6在审
发明人：阮诗伦;樊利芳;李朝阳;张留新;王新宇 -专利权人：郑州大工高新科技有限公司;大连理工大学重大装备设计与制造郑州研究院
申请日： 2019-06-17 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器，包括：多通管、螺旋状气体混合管、导流装置、气体均匀分布板、反应装置，多通管、螺旋状气体混合管、导流装置、反应装置依次连接，在反应装置后部也连接有一个螺旋状气体混合管，气体均匀分布板设置在反应装置的前部，导流装置位于气体均匀分布板的正前方，导流装置由导流罩和导流块组成，导流块为锥形结构，导流块的尖端位于螺旋状气体混合管的出气口处，气体均匀分布板上设有大小不一且规则排列的进气孔其有益效果是：区别于传统的通气方式，气体由直管直接进入反应炉，本装置首先使多种气体在螺旋状管道内进行螺旋流动混合；在进入反应室前通过导流装置，改变气流原有流动方向，使混合气体均匀的向四周分散，最后经过气体均匀分布板，进一步使气体更加均匀的进入反应室内。
均匀分布板导流装置气体混合管反应装置螺旋状导流块气体均匀混合气相沉积装置多通管分布器螺旋状管道出气口处大小不一规则排列混合气体螺旋流动通气方式依次连接锥形结构正前方传统的导流罩反应炉反应室进气孔前部直管室内流动

[发明专利]用于防止气体混合的大面积沉积装置-CN201180025477.X无效
发明人：李庆镐 -专利权人：泰拉半导体株式会社
申请日： 2011-05-26 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：公开了一种用于防止气体混合的大面积沉积装置。本发明涉及的用于防止气体混合的大面积沉积装置使用了多重管结构的喷嘴，将每种气体供给到不同的喷嘴，因此气体从腔室喷出时，均匀混合之后，向腔室内部均匀喷出。即，能够利用简单结构来防止气体在流入腔室内部之前混合，而且使气体均匀混合之后向腔室内部均匀喷射，从而具有降低成本的效果。此外，喷嘴左右振动的同时喷射气体，因此气体更加均匀地混合之后向腔室内部的基板更加均匀地喷出，从而提高在基板上沉积的膜的品质。而且，可以分别拆卸各喷嘴进行维修或清洗，从而具有易于进行维护作业的效果。
用于防止气体混合大面积沉积装置

[实用新型]一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器-CN201920903440.6有效
发明人：阮诗伦;樊利芳;李朝阳;张留新;王新宇 -专利权人：郑州大工高新科技有限公司
申请日： 2019-06-17 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器，包括：多通管、螺旋状气体混合管、导流装置、气体均匀分布板、反应装置，多通管、螺旋状气体混合管、导流装置、反应装置依次连接，在反应装置后部也连接有一个螺旋状气体混合管，气体均匀分布板设置在反应装置的前部，导流装置位于气体均匀分布板的正前方，导流装置由导流罩和导流块组成，导流块为锥形结构。其有益效果是：区别于传统的通气方式，气体由直管直接进入反应炉，本装置首先使多种气体在螺旋状管道内进行螺旋流动混合；在进入反应室前通过导流装置，改变气流原有流动方向，使混合气体均匀的向四周分散，最后经过气体均匀分布板，进一步使气体更加均匀的进入反应室内。
一种用于沉积装置气体均匀混合分布

[实用新型]一种适用多工况气体均匀混合的装置-CN202221425376.3有效
发明人：吕英杰;马洪玺;张文军 -专利权人：上海蓝科石化环保科技股份有限公司
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B01F25/30 文献下载
摘要：本实用新型属于气体混合技术领域，具体涉及一种适用多工况气体均匀混合的装置。装置包括：混合器本体，具有沿气流方向依序设置的错流混合区和静态混合区，所述错流混合区连通有多根气体进管，所述静态混合区连通有混合气出管；所述多根气体进管包括轴向连通所述混合器本体的第一气体进管，及环绕所述第一气体进管布设的第2～n气体进管，所述第2～n气体进管的出口端分别连通有1根或多根气体分布管，所述气体分布管的侧壁上设有用于第2～n气体与第一气体错流混合的喷射孔。本实用新型的目的在于提供一种适用多工况气体均匀混合的装置，实现多种气体及两种气量相当气体的快速均匀混合。
一种适用工况气体均匀混合装置

[实用新型]一种气体混合装置-CN201420475003.6有效
发明人：张立光;马淑贞 -专利权人：佛山市中豹科技发展有限公司
申请日： 2014-08-21 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： B01F5/06 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种气体混合装置，包括进气口、气体混合室以及出气口，所述进气口包括第一进气口和第二气进气口，所述气体混合室内设有孔板。经过本实用新型的气体混合装置得到的均匀混合的混合气体，孔结构的设置使混合气流以涡旋状态进入气体混合室且以涡旋状态输出气体混合室，避免了气体混合流动死角，且获得更加充分均匀的混合气体。
一种气体混合装置

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