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[发明专利]磁隧道结的刻蚀掩模方法-CN202111134007.9在审
发明人：张丛;刘宏喜;陈文静;曹凯华;王戈飞 -专利权人：北京超弦存储器研究院
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H10N35/01 文献下载
摘要：本发明提供了一种磁隧道结的刻蚀掩模方法，包括对介质层进行分步刻蚀，并在完成介质层的最后一步刻蚀前采用灰化工艺去除光刻胶及残留的有机物。在介质层前刻蚀需要以光刻胶图形化隧道结图案到介质层，而在刻蚀过程中，光刻胶会形成有机物残留，该有机物残留若接触到介质层下的金属膜层，会形成金属聚合物附着在金属膜层，增加了去除难度，本发明在介质层的最后一步刻蚀前进行灰化工艺处理，由于介质层仍存在一定剩余厚度，将光刻胶形成的有机物残留与金属膜层隔离，从而降低了去胶的难度，也降低了MRAM电路开路的风险，本发明工艺简单，简化了工艺步骤，排除了光刻胶在工艺中形成的有机物残留与金属膜层接触，从而避免金属聚合物的形成。
隧道刻蚀方法

[发明专利]一种针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备和去除方法-CN202210062254.0在审
发明人：徐杨;王盛凯 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-01-19 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本申请公开一种针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备和去除方法，涉及半导体技术领域。本申请提供一种针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备，该去除设备包括可开闭的处理腔室、承载台、加热组件、降温组件和总控器；处理腔室具有出气口、第一进气口和第二进气口，或，处理腔室具有出气口和第一进气口，第一进气口用于向处理腔室内部通入保护气体
一种针对纳米表面残留有机物去除设备方法

[发明专利]一种高浓度有机废水的处理方法-CN201610265933.2有效
发明人：李晓伟;吕伏建;陈磊;张静 -专利权人：浙江奇彩环境科技股份有限公司
申请日： 2016-04-26 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： C02F9/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种高浓度有机废水的处理方法：高浓度有机废水首先通过催化湿式氧化，将大部分有机物氧化分解，得到的处理液1中残留有醋酸盐，再通过脱气膜处理进一步将醋酸根脱除，膜处理后的废水经絮凝过滤和树脂吸附得到处理液
一种浓度有机废水处理方法

[实用新型]一种纳米绝热毡有机物残留的在线检测设备-CN201922356453.9有效
发明人：王振宇;张成贺;刘超;任大贵 -专利权人：山东鲁阳浩特高技术纤维有限公司
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： G01N25/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种纳米绝热毡有机物残留的在线检测设备，包括：用以供纳米绝热毡加热的加热装置；内部设有烟雾报警器的密闭室；其中，所述密闭室用以收集纳米绝热毡经加热产生的烟气，当所述密闭室中的烟气浓度达到预设值时上述纳米绝热毡有机物残留的在线检测设备通过加热装置使纳米绝热毡产生受热并产生烟气，并且烟气均被收集至密闭室中，进而通过烟雾报警器在线检测实时得到产品的有机物残留情况，这样即可及时调整产品的煅烧温度及煅烧时间，从而可以严格控制产品中有机物残留量，以提高产品的耐高温性能。
一种纳米绝热有机物残留在线检测设备

[发明专利]一种高盐环氧废水处理方法-CN201510241166.7有效
发明人：陈金思 -专利权人：合肥徽锐工程科技有限公司
申请日： 2015-05-13 - 公布日： 2017-01-25 - 主分类号： C02F9/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种高盐环氧废水处理方法，首先按序批方式废水依次经过水解‑酸化‑兼氧‑高氧‑低氧工序，不溶性污染物在水解池③溶解，大分子、难降解污染物在酸化池④转化为小分子，兼氧池⑤的B/C进一步提高，水质生化性进一步改善；高氧池⑦将大量的可降解有机物降解无机小分子，低氧池⑧进一步分解残留有机物，稳定出水水质。本发明有益效果为废水中性质不同的污染物按照序批方式逐步分解，单元处理效率高，有机污染物削减率高。
一种高盐环氧废水处理方法

[发明专利]一种化学机械研磨方法-CN201110211074.6有效
发明人：邓武锋 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2011-07-26 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： H01L21/3105 文献下载
摘要：本发明提供了一种化学机械研磨方法，包括如下步骤：提供形成有介质层的半导体衬底；对介质层进行第一次研磨，所述第一次研磨后在介质层表面产生有机物残留；用碱性试剂对介质层进行第二次研磨，去除介质层表面的有机物残留本发明通过在现有化学机械研磨过程中，在完成对晶圆的主研磨工艺后以及后续工艺对所述晶圆进行清洗之前，通过使用碱性试剂来去除介质层表面上残留的有机物残渣，与现有技术相比，所述去除有机物残渣的效果更显著，从而提高最终产品的质量和性能
一种化学机械研磨方法

[发明专利]吸水树脂在农药残留、兽药残留或血液中的有机物检测样品的前处理中的应用及前处理方法-CN202210860256.4在审
发明人：张凤艳 -专利权人：天津三好科技有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01N30/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种吸水树脂在农药残留、兽药残留或血液中的有机物检测样品的前处理中的应用及前处理方法。本发明将吸水树脂应用到农药残留、兽药残留或血液中的有机物检测样品的前处理中，能够显著提高检测结果的准确性；同时能够简化操作步骤，具有广泛的应用前景。
吸水树脂农药残留兽药血液中的有机物检测样品处理应用方法

[发明专利]一种生物有机硒的生产方法-CN201910632760.7在审
发明人：宋志祥;税小虎 -专利权人：乐山合亩农业生物科技有限公司
申请日： 2019-07-14 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： A23L33/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种能够提取效率较高且残留的有机溶剂较少的生物有机硒的生产方法。该生物有机硒的生产方法通过对富硒植物进行脱脂处理，进而依次进行水提取、醇提取、酸提取、碱提取、盐提取可以将富硒植物中含有的硒有机物充分提取出来，提高其提取效率，而且整个生产过程中，用到的溶剂有水、盐酸、氢氧化钠、乙醇，其中水和乙醇通过最后的烘干步骤可以去除，盐酸和氢氧化钠在初次使用完毕后二者混合可以得到氯化钠盐溶液作为盐提取的溶剂，充分利用了原料，降低了成本，同时氯化钠溶液最后可以通过半透膜将其与含硒有机物分离，最终得到固体有机硒中基本不会残留有机溶剂，大大提高了固体有机硒的食用安全性。
生物有机硒富硒植物氢氧化钠提取效率盐提取有机硒溶剂乙醇盐酸残留有机溶剂氯化钠盐溶液生物技术领域氯化钠溶液食用安全性有机物分离生产过程脱脂处理有机溶剂有机物半透膜醇提取碱提取水提取酸提取烘干去除生产残留

[发明专利]CMP研磨方法、CMP研磨装置和半导体器件的制造方法-CN200580046833.0有效
发明人：高田省三;松尾尚典;石川彰 -专利权人：株式会社尼康;独立行政法人产业技术综合研究所;株式会社荏原制作所
申请日： 2005-12-21 - 公布日： 2008-01-16 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明提供一种CMP研磨方法，可对采用疏水化了的多孔质物质作为在基板上形成的半导体集成电路的层间绝缘膜材料的东西，在用含有界面活性剂的清洗液清洗去除残留在基板表面上的料浆和研磨残留物后，有效地去除渗入到层间绝缘膜中的有机物质如果用含有界面活性剂的清洗液清洗，来去除残留的料浆和研磨残留物，含有界面活性剂的清洗液中的有机物就会渗入到层间绝缘膜(3)中。因此，之后用有机溶剂或含有有机溶剂的溶液清洗基板，进行渗入到层间绝缘膜(3)中的有机物的清洗去除。层间绝缘膜(3)虽然进行了疏水化处理，但是因为是有机溶剂，所以不受它的影响，可渗入到层间绝缘膜(3)中，将有机物溶解、清洗去除。
cmp 研磨方法装置半导体器件制造

[发明专利]一种利用有机还原剂去除盐酸中游离氯的方法-CN201910045782.3在审
发明人：吕志平;吕世轩;刘茜;薛建伟;李福祥 -专利权人：太原理工大学
申请日： 2019-01-17 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： C01B7/07 文献下载
摘要：一种利用有机还原剂去除盐酸中游离氯的方法，所述方法是将含有微量氯气的HCl气体经降膜吸收器吸收，达到饱和的盐酸用空气或氮气吹脱除去部分游离氯，并进行还原剂处理，后用活性炭吸附残留有机物实现分离。
游离氯盐酸去除有机还原剂残留有机物还原剂处理活性炭吸附降膜吸收器氯气后续处理微量氯气氮气吹还原剂饱和无毒吸收安全

[发明专利]一种泡菜废水的处理方法-CN201310640520.4有效
发明人：唐义琰;钟伟 -专利权人：成都双地环境工程有限公司
申请日： 2013-12-04 - 公布日： 2014-03-05 - 主分类号： C02F9/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种泡菜废水的处理方法，包括（1）培育驯化专属的耐盐菌；（2）将泡菜废水通入格栅井进行固态悬浮物的初步去除；（3）将格栅井内的废水输送至调节池内，进行物理沉降，并搅拌使水质均衡；（4）将废水通入厌氧系统进行处理，降解和分解有机物；（5）将废水通入好氧生化系统进行二段兼氧好氧处理，利用兼氧耐盐菌和好氧耐盐菌分别对残留有机物进行进一步分解，并使水质均衡；（6）由二沉池进行固液分离，污泥沉降，再由碳滤池进行过滤处理本发明不仅布置紧凑，节省用地，而且使泡菜废水内的固体悬浮物、有机物等杂物依次去除，极大地提高了最终污水处理的效果，为企业节约了一大笔额外处理的开支。
一种泡菜废水处理方法

[发明专利]一种景观水综合治理系统及方法-CN201310378733.4有效
发明人：李新忠 -专利权人：吉林省松辽江河治理有限责任公司
申请日： 2013-08-27 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： C02F9/14 文献下载
摘要：其中，该景观水综合治理系统，包括河道，河道从上游到下游依次设置固体悬浮物拦污网、泥沉淀池、曝气池、河堤以及水生物区；还包括提水站和水生植物区，提水站设置在河堤朝向曝气池的一侧；水生物区中培养有能够去除残留有机物的水生微生物和水生动物；水生植物区中种植有能够降解有机物的水生植物，且水生植物区设置在水生物区的岸边。本发明提供的景观污水综合治理系统，通过合理的布置，利用其各部分的净化作用，不仅使水中的固体悬浮物、有机物等污染源逐步被去除，而且使景观水处于快速流动状态，最终在水中建立了生态平衡系统，实现了对景观水的彻底净化
一种景观综合治理系统方法

[发明专利]一种OLED有机蒸镀设备防着板清洗剂及应用-CN201910814344.9在审
发明人：张正伟 -专利权人：安徽富乐德科技发展有限公司
申请日： 2019-08-30 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： C11D7/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种OLED有机蒸镀设备防着板清洗剂及应用，介绍了配比、制作和应用，其目的在于克服现有清洗技术的不足，即导致清洗后的防着板存在很多肉眼不可见的残留有机物(通过显微镜紫外灯可见)，形成particle源的问题，本发明提供一种OLED有机蒸镀设备防着板清洗剂及应用，既能确保该类蒸镀防着板彻底清洗干净，无微观的有机残留，从而减少设备运行过程中出现particle的风险，又可以保证防着板材质清洗过程中不受损害
一种 oled 有机设备防着洗剂应用

[发明专利]晶圆上的校正符号的清洁方法以及化学机械研磨制程后续再清洁制程的方法-CN02146352.2无效
发明人：陈志容 -专利权人：矽统科技股份有限公司
申请日： 2002-10-24 - 公布日： 2004-04-28 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：上述的晶圆主要是指经过化学机械研磨处理后残留有机物质附着于校正符号的芯片，能够使得校正符号的位置更清楚且容易判断，使后续制程的对准不致发生错误，有效解决有机残留物覆盖住校正符号的问题，并降低黄光再加工的频率
晶圆上校正符号清洁方法以及化学机械研磨后续

[发明专利]一种香料废渣生产活性氧化镁的方法-CN202111509704.8在审
发明人：耿庆保;沈久东;李仁昌;石剑 -专利权人：安徽金禾实业股份有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： C01F5/06 文献下载
摘要：本申请公开了一种利用含有有机物的碱式氯化镁废渣生产活性氧化镁的方法，其特征在于包括以下步骤：步骤1：将主要成分为碱式氯化镁并含有有机物杂质的废渣，加入水搅拌，加热至沸腾，分离有机溶剂，获得含有氯化镁、氢氧化镁和部分杂质的浑浊液；步骤2：过滤步骤1获得的浑浊液，获得氢氧化镁滤饼和氯化镁母液；步骤3：向步骤3获得的氯化镁母液中加入氧化剂氧化残留有机物；步骤4：过滤步骤3产物，获得溶液；步骤5：往步骤4获得的溶液中加入碳酸氢铵和氨水
一种香料废渣生产活性氧化镁方法