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[实用新型]一种检测装置-CN202121258769.5有效
发明人：周广梅;尚振华;朱强铭 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2021-06-07 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：所述检测装置包括：激光干涉仪、抛物面反射镜、调整架、标准小球、标准小球调整架、平面反射镜和透射平面标准镜；其中，先将抛物面反射镜安装在调整架上，从而通过调整标准小球的位置和抛物面相对激光干涉仪光轴的角度，得到抛物面反射镜的面型信息；接着，拆下抛物面反射镜并在同一安装基准面将平面反射镜安装在调整架上，从而基于平面反射镜反射回激光干涉仪的光点的位置，得到机械定位基准。本实用新型具有以下优点：通过先后安装抛物面反射镜和平面反射镜，使得检测装置能够一并得到抛物面反射镜的面型、机械定位基准和抛物镜光轴的角度等特征。
一种检测装置

[发明专利]一种抛物面反射镜光轴精密标定装置及标定方法-CN202310126718.4在审
发明人：刘伟光;张森;李阳;许航航;杜萌;惠刚阳;王智超;尹挺;赵红军;李月贵;朱志帆 -专利权人：西安应用光学研究所
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G02B27/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种抛物面反射镜光轴精密标定装置，其包括：干涉仪、高精度平面标准镜，高精度平面标准镜中心开孔；干涉仪、高精度平面标准镜、抛物面反射镜组件由前至后同轴进行架设，干涉仪发出球面波测试光束，入射到抛物面反射镜后再反射到高精度平面标准镜上本发明通过高精度自准直，实现测量基准高精度转换，通过调节使高精度平面标准镜反射面法线、抛物面反射镜光轴、高精度自准直仪光轴、光轴标定工装反射镜法线相互平行；采用干涉测量方案，通过测量抛物面反射镜最佳面型，建立抛物面反射镜光轴与高精度平面标准镜之间的位置关系，测量精度高，重复精度高。
一种抛物面反射光轴精密标定装置方法

[发明专利]一种潜望式集成光路的装调方法-CN202210186417.6有效
发明人：李星辰;武震;郭春华;王东海 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G02B27/62 文献下载
摘要：本申请提供了一种潜望式集成光路的装调方法，通过对中心偏差测量仪的载物台进行校准，以将中心偏差测量仪对应的第一光轴的方向调整至第一预设方向；放置标准反射镜在中心偏差测量仪的预设位置上，通过校准后的中心偏差测量仪调整标准反射镜，以使标准反射镜将第一预设方向的入射光线反射至与第一预设方向垂直的第二预设方向；放置平面反射镜在标准反射镜的一侧，调整平面反射镜，以使平面反射镜将标准反射镜沿第二预设方向反射出的光线，沿第一预设方向反射至中心偏差测量仪的载物台上
一种潜望式集成方法

[发明专利]一种九十度离轴抛物面反射镜的光纤耦合方法-CN202310437070.2在审
发明人：刘强;郭冰梅;刘安伟;黄庚华;何志平 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G02B6/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种九十度离轴抛物面反射镜的光纤耦合方法。本发明装调的方法为：首先利用标准球面镜来校准激光干涉仪与九十度离轴抛物面反射镜的位置关系，再将标准球面镜替换成光纤，确定Z轴的位置。在九十度离轴抛物面反射镜的工装上固定平面反射镜，使平面反射镜位于九十度离轴抛物面反射镜的后方，使激光干涉仪发射的平行光可以同时达到抛物面镜与平面反射镜，调整平面反射镜的角度使到达平面反射镜与抛物面镜的光束平行将激光干涉仪换成平行光管，通过调整光纤的XY位置使光纤的光斑位置与平面反射镜反射的光斑位置重合，便确认了光纤XY轴的位置。本方法具有操作简单，耦合效率高的特点。
一种九十度离轴抛物面反射光纤耦合方法

[发明专利]一种检测大口径抛物面镜K值系数的装置-CN200810119127.X无效
发明人：杨伟;章明;吴时彬;古斌;伍凡 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2008-08-27 - 公布日： 2009-01-07 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种检测大口径抛物面镜K值系数的装置，其特征在于：包括高精度测角仪、标准平面反射镜、校准平面反射镜、标准球面反射镜、平移台、二维旋转调节架；检测时，高精度测角仪发出平行光束，经标准平面反射镜和被测大口径抛物面镜反射后，到达标准球面反射镜，反射后沿原光路返回，再次经过被测大口径抛物面镜和标准平面反射镜后回到高精度测角仪，这样高精度测角仪就能测出发出平行光束和返回平行光束之间的角度差，根据不同位置采样检测得到的角度差值，可以拟合出被测大口径抛物面镜的K值系数；本发明采用采样检测和高精度角度测量使K值误差转换为角度误差的形式，为大口径抛物面面形加工提供准确的指导信息。
一种检测口径抛物面镜系数装置

[实用新型]一种线位移标准装置的运动平台结构-CN202021774643.9有效
发明人：李太景;赵新丽;刘佳;张子辰 -专利权人：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本实用新型通过一种线位移标准装置的运动平台结构，所述线位移标准装置的运动平台结构包括测量平台、待测位移传感器、激光干涉仪、激光干涉仪镜组和被测目标物，所述激光干涉仪镜组包括干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜，所述干涉镜组靠近激光干涉仪，所述干涉镜组与第一平面反射镜保持同步位移，所述第二平面反射镜与待测位移传感器保持同步位移，所述激光干涉仪的激光镜头、干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜处于同一直线上，本实用新型公开的一种线位移标准装置的运动平台结构能够实现检测高精度位移传感器的效果。
一种位移标准装置运动平台结构

[发明专利]一种测量膜基反射镜三维面形的方法-CN201110226010.3有效
发明人：谢佩;唐敏学 -专利权人：苏州大学
申请日： 2011-08-08 - 公布日： 2012-04-11 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量膜基反射镜三维面形的方法。测量系统包括液晶显示器、标准平面反射镜、CCD、图像采集卡和计算机等。液晶显示器显示由计算机输入的正交正弦条纹，CCD采集被标准平面反射镜和膜基反射镜反射后的复合条纹，系统利用傅立叶变换轮廓术提取正交两方向上的相位，计算膜基反射镜引起的正交两方向的相位变化，根据梯度和相位变化之间的关系计算膜基反射镜的梯度分布本发明采用正交正弦条纹反射技术，只需分别采集标准平面反射镜和膜基反射镜反射的条纹图各一幅，即可实现膜基反射镜面形的测量。本发明测量装置简单、成本低、实时性好，能有效解决膜基反射镜三维面形测量难的问题。
一种测量反射三维方法

[发明专利]二维平台正交度检测装置及其检测方法-CN202010875349.5有效
发明人：牛文达;王晓明;高庆嘉;刘震宇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种二维平台正交度检测装置及其检测方法，其中的装置包括两台自准直仪、两块标准平面反射镜和数据处理系统，两块标准平面反射镜分别通过标准平面反射镜固定座垂直固定在二维平台的表面，两块标准平面反射镜分别与二维平台的上层平台和下层平台的运动轴线垂直，两台自准直仪各自对准一块标准平面反射镜的中心；在对两台自准直仪、两块标准平面反射镜进行校准后，通过移动下层平台采用两台自准直仪分别记录下层平台直线度叠加二维平台正交度的误差与下层平台的直线度误差，数据处理系统对两台自准直仪记录的误差进行线性运算
二维平台正交检测装置及其方法

[发明专利]一种平面反射镜胶合过程中垂直度误差监控方法-CN202310715836.9在审
发明人：徐敏;焦思程;王军华 -专利权人：复旦大学
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明属于光学对准技术领域，具体为平面反射镜胶合过程中垂直度误差监控方法。本发明采用由两组自准直仪以及一个标准立方体棱镜所组成的光学系统，实现待胶合反射镜间垂直度误差的监测与控制；光学系统包括两个自准直仪、用于放置两个待胶合平面反射镜的机架、标准立方体棱镜、多维调整台、光学平台及数据分析系统；数据分析系统根据两个自准直仪的测量数据，分析立方体棱镜四个工作面间的平行度误差，用于平面反射镜垂直度测量的补偿，分析胶合过程中两个长条平面反射镜之间的垂直度误差实时数据，并及时进行胶合工艺过程的调整。本发明可实现胶合过程中平面反射镜间垂直度误差的高精度监测，提高平面反射镜胶合质量。
一种平面反射胶合过程垂直误差监控方法

[实用新型]大口径平面镜面形检测装置-CN201120520376.7有效
发明人：段亚轩;陈永权;赵建科;李坤;龙江波 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2011-12-09 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种大口径平面镜面形检测装置，包括激光器、吸收体、分光镜、标准球面反射镜、探测单元以及控制与采集计算机；分光镜设置于激光器的出射光路上，分光镜将入射至分光镜的入射光分为透射光以及反射光；吸收体设置在经分光镜后的反射光路上；标准球面反射镜设置在经分光镜后的透射光路上，标准球面反射镜将入射至标准球面反射镜的入射光反射至分光镜并由分光镜反射至探测单元；控制与采集计算机与探测单元相连。本实用新型提出了一种利用光纤激光器与哈特曼波前传感器来对大口径平面镜面形检测的装置，解决了大口径平面镜面形的测试问题，能够有效的测试大口径平面镜的面形，并很好的保证了测试精度。
口径平面镜检测装置

[发明专利]光学元件大曲率半径的比较法测量方法及其测量装置-CN201810091657.1在审
发明人：李建宏;王世武 -专利权人：青岛海泰光电技术有限公司
申请日： 2018-01-30 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提出了一种光学元件大曲率半径的比较法测量方法及其测量装置，测量装置包括平面激光束发射器、分束镜、透镜、平面反射镜、成像系统和已知标准曲面曲率半径的标准镜，分束镜位于激光束发射器发射的平行激光光路中，分束镜法线方向与激光束成45°角；平面反射镜位于分束镜反射光路中，平面反射镜法线方向与分束镜反射光传播方向逆向平行；透镜位于分束镜的透射光路中，透镜光轴与激光束平行；成像系统位于平面反射镜相对于分束镜中心点的对侧；标准镜位于透镜形成的球面波激光束光路中，其曲面球心可调至与透镜焦点重合。
分束镜平面反射镜测量装置光学元件激光束透镜比较法测量成像系统法线方向标准镜光路平行激光束发射器球心平面激光束发射器标准曲面传播方向反射光路平行激光透镜光轴透镜焦点透镜形成透射光路有效测量准确度大曲率反射光球面波中心点重合可调发射

[发明专利]一种光学系统多角度像质检测装置及方法-CN201810711671.7有效
发明人：李响;柳鸣;李小明;张家齐;白杨杨;孟立新;张立中 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2018-07-03 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明属于光学检测领域，具体涉及一种光学系统多角度像质检测装置及方法，装置包括干涉仪、干涉仪二维调整基座、干涉仪运动导轨、第一折转镜三维调整基座、第一光路折转反射镜、折转镜移动导轨、第二光路折转反射镜、第二折转镜三维调整基座、被检光学系统、被检设备三维调整基座、被检设备移动导轨、标准镜移动导轨、标准平面反射镜、标准镜三维调整基座以及检测装置支撑架，该装置及方法能够通过改变光路折转反射镜、被检光学系统以及标准平面反射镜的位置与角度
一种光学系统角度质检装置方法

[实用新型]光学元件大曲率半径的比较法测量装置-CN201820156793.X有效
发明人：李建宏;王世武 -专利权人：青岛海泰光电技术有限公司
申请日： 2018-01-30 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种光学元件大曲率半径的比较法测量装置，测量用光学元件包括平面激光束发射器、分束镜、透镜、平面反射镜、成像系统和已知标准曲面曲率半径的标准镜，分束镜位于激光束发射器发射的平行激光光路中，分束镜法线方向与激光束成45°角；平面反射镜位于分束镜反射光路中，平面反射镜法线方向与分束镜反射光传播方向逆向平行；透镜位于分束镜的透射光路中，透镜光轴与激光束平行；成像系统位于平面反射镜相对于分束镜中心点的对侧；标准镜位于透镜形成的球面波激光束光路中，其曲面球心可调至与透镜焦点重合。
分束镜平面反射镜光学元件激光束透镜本实用新型比较法测量成像系统法线方向标准镜光路平行测量激光束发射器球心平面激光束发射器标准曲面传播方向反射光路平行激光透镜光轴透镜焦点透镜形成透射光路准确度大曲率反射光球面波中心点重合可调发射

[发明专利]轴锥镜面形的测量装置和测量方法-CN201210431104.9有效
发明人：袁乔;曾爱军;张善华;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2012-11-01 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种轴锥镜面形的测量装置和测量方法，该装置由移相干涉仪、平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜组成，其位置关系是：沿所述的移相干涉仪出射光束前进方向依次是所述的平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜，在所述的平面标准镜和聚焦透镜之间设置待测轴锥镜的插口
轴锥镜面形测量装置测量方法

[发明专利]一种检测装置-CN201911057300.2在审
发明人：吴加富;缪磊;马伟;冯小平;杜高峰;贺永宏 -专利权人：苏州富强科技有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明提供一种检测装置，包括载具、第一平面反射镜、第二平面反射镜和视觉检测系统，第一平面反射镜和第二平面反射镜呈劣角设置在载具上，第一平面反射镜与第二平面反射镜的反射面之间围成检测区域，视觉检测系统的相机模块和镜头朝向检测区域设置，相机模块与第一平面反射镜和第二平面反射镜的反射面之间分别形成第一成像通道和第二成像通道。待检测部件的待检测部分伸入检测区域内，相机模块可以选择性地通过第一成像通道和/或第二成像通道拍摄形成一个视角或两个视角的检测图像，并与图库中对应角度的标准图像进行比对，采用一个视觉检测系统实现待检测部件两个不同角度的图像的同时采集比对
平面反射镜成像通道视觉检测系统相机模块待检测部件检测区域反射面比对载具检测标准图像朝向检测检测图像区域设置视角角设置种检测伸入图库采集图像镜头拍摄保证

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