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- [实用新型]一种取晶固晶装置-CN201721069351.3有效
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向军
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江苏新智达新能源设备有限公司
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2017-08-24
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2018-03-02
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H01L21/67
- 本实用新型提供了一种取晶固晶装置，包括固晶板、固晶置料台和蘸针板，待操作的料片放置在固晶置料台上，还包括固晶纵向丝杆、固晶纵向滑块、固晶纵向电机、固晶竖向丝杆、固晶竖向滑块和固晶竖向电机，固晶纵向丝杆沿纵向水平固定设置在固晶板的上方，固晶纵向滑块安装在固晶纵向丝杆上，固晶纵向丝杆在固晶纵向电机的驱动下转动并带动固晶纵向滑块沿纵向移动，通过蘸针板在固晶板和固晶置料台之间自动化操作，实现了取晶和固晶的工作，不需要人工额外操作，减轻了操作人员的劳动强度，大大提高了取晶固晶的效率。
- 一种取晶固晶装置
- [实用新型]承载装置及晶圆检测设备-CN202320675420.4有效
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陈思乡;雷传;吴灿;杜振东;孟恒
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长川科技（苏州）有限公司
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2023-03-30
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2023-08-22
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H01L21/683
- 本实用新型涉及一种承载装置及晶圆检测设备，承载装置包括底座、载片台及顶升机构。将晶圆转移至载片台时，驱动组件先驱动多个顶杆伸出于承载面，再由搬运机器人将晶圆放置于顶杆的顶端，故晶圆将由多个顶杆共同支撑并保持与承载面平行。接着，多个顶杆在驱动组件的驱动下回缩至承载面的下方，将晶圆便转移至承载面并由承载面吸附。待晶圆检测完后，承载面切换至正压，驱动组件再次驱动多个顶杆伸出于承载面以将晶圆顶起，从而方便搬运机器人将晶圆取走。在晶圆由多个顶杆支撑时，每个顶杆的顶端可通过形成负压而吸附住晶圆。如此，在顶升机构带动晶圆升降的过程中晶圆在不易相对于顶杆滑动，从而提升晶圆接送的稳定性。
- 承载装置检测设备
- [实用新型]一种SMT晶圆固定装置-CN202021048860.X有效
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涂益霖
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弘前电子科技无锡有限公司
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2020-06-09
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2020-11-06
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种SMT晶圆固定装置，包括晶圆盒，所述晶圆盒的内壁滑动连接有限位箱，所述晶圆盒的正面和背面均固定安装有固定块，所述固定块的右侧面固定安装有固定杆，所述固定杆的右端转动连接有转杆，所述转杆的右端开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内壁螺纹连接有限位杆，所述限位杆的右端固定安装有衔接杆，所述衔接杆的侧面与限位箱的右侧面固定连接。该SMT晶圆固定装置，通过设置晶圆盒、限位箱、横向固定框、竖向固定框、固定块、固定杆、转杆、限位杆和衔接杆，当晶圆存放在晶圆盒中的竖向固定框和横向固定框内时，转动转杆，限位箱向左移动，从而使限位箱内壁的竖向固定框将晶圆夹紧固定，保证了晶圆在搬运过程中的稳定性。
- 一种smt固定装置
- [发明专利]晶圆处理装置及晶圆取送方法-CN202111324567.0在审
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邸太平
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长鑫存储技术有限公司
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2021-11-10
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2022-02-22
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H01L21/687
- 本公开提供一种晶圆处理装置及晶圆取送方法。本公开提供的晶圆处理装置，包括：底座，所述底座上具有通孔；顶杆，所述顶杆设置在所述通孔内；机械手臂，所述机械手臂用于晶圆的取送；感应器，所述感应器设置于所述顶杆的移动路径上，通过电磁感应的方法感应所述顶杆的位置本公开提供的晶圆取送方法，采用任意一种上述的晶圆处理装置，包括：顶杆移动到预定位置，感应器发出指令并放入晶圆；顶杆移动到非预定位置，感应器发出指令禁止放入晶圆。本公开提供的晶圆处理装置及晶圆取送方法，通过将顶杆固定在顶杆基座上以及设置感应器，降低了晶圆生产过程中的取送误差，减少了因晶圆撞击顶杆引起的设备及产品的损坏。
- 处理装置晶圆取送方法
- [实用新型]晶圆压紧装置-CN202122235727.6有效
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王海东;李娜;郭颂;张怀东;刘海洋;李晓磊;胡冬冬;许开东
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北京鲁汶半导体科技有限公司
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2021-09-15
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2022-07-15
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H01L21/687
- 本实用新型公开了一种晶圆压紧装置，晶圆承载在电极上，晶圆和电极均位于真空腔室内，晶圆压紧装置弹性可调地将晶圆压紧在电极上，晶圆压紧装置包括：压环，压环的内环边缘可压住晶圆的外边缘以将晶圆固定在电极上；多个压杆组件，每个压杆组件均连接在压环和驱动装置之间，每个压杆组件均包括：第一压杆，第一压杆的一端与压环的外周固定相连；第二压杆，第二压杆和第一压杆一一对应相连，且第二压杆连接在第一压杆的另一端和驱动装置之间；弹性件，弹性件连接在第一压杆和第二压杆之间。根据本实用新型的晶圆压紧装置，可以实现压杆组件在运动方向上的弹性可调，保证对晶圆的压紧固定作用，同时可以使得晶圆的受力均匀。
- 压紧装置
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