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- [实用新型]晶圆镀锅自动上下料装置-CN202222422904.6有效
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吴泽斌;林志阳;王世锐
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厦门特仪科技有限公司
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2022-09-13
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2023-03-14
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H01L21/677
- 本实用新型公开了晶圆镀锅自动上下料装置，属于蒸镀设备技术领域，晶圆镀锅自动上下料装置，包括机台，机台上设置有卡塞定位组件、晶圆移栽模组、移料载台、第一视觉定位组件、机械手组件、以及镀锅定位旋转组件，卡塞定位组件位于晶圆移栽模组的一侧，移料载台位于晶圆移栽模组的另一侧，晶圆移栽模组能够将晶圆在卡塞定位组件和移料载台之间移栽，第一视觉定位组件设置于移料载台靠近晶圆移栽模组的一侧，机械手组件设置于移料载台的一侧，能够将晶圆在移料载台和镀锅定位旋转组件之间移栽本实用新型的晶圆镀锅自动上下料装置，实现对晶圆的自动上下料，生产效率高。
- 晶圆镀锅自动上下装置
- [发明专利]一种晶圆存取库-CN202211273273.4在审
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冯庆雄;王志峰;杨大鹏;薛联金
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厦门普诚科技有限公司
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2022-10-18
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2023-02-03
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H01L21/677
- 本发明公开了一种晶圆存取库，包括：存取库，所述存取库对即将入库的晶圆进行存放，所述存取库包括存取架和移载机，所述存取架对晶圆进行存放，所述移载机把位于存取架的晶圆进行存放和拿取；输送线，所述输送线对晶圆输送；存片机，所述存片机把晶圆转运至输送线；取片机，所述取片机把来自输送线上的晶圆进行取出。本发明的有益效果是：通过将装有晶圆的卡塞放置到存片机中，并通过将存片机中装有晶圆的卡塞输送至移载机的输入端，并通过移载机将装有晶圆的卡塞存放至存取架上，当进行使用时候，通过移载机将存取架上的装有晶圆的卡塞移送至输送线，再通过取片机将晶圆取出至下一工序。
- 一种存取
- [实用新型]一种晶圆存取库-CN202222744611.X有效
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冯庆雄;王志峰;杨大鹏;薛联金
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厦门普诚科技有限公司
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2022-10-18
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2023-04-14
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H01L21/677
- 本实用新型公开了一种晶圆存取库，包括：存取库，所述存取库对即将入库的晶圆进行存放，所述存取库包括存取架和移载机，所述存取架对晶圆进行存放，所述移载机把位于存取架的晶圆进行存放和拿取；输送线，所述输送线对晶圆输送；存片机，所述存片机把晶圆转运至输送线；取片机，所述取片机把来自输送线上的晶圆进行取出。本实用新型的有益效果是：通过将装有晶圆的卡塞放置到存片机中，并通过将存片机中装有晶圆的卡塞输送至移载机的输入端，并通过移载机将装有晶圆的卡塞存放至存取架上，当进行使用时候，通过移载机将存取架上的装有晶圆的卡塞移送至输送线，再通过取片机将晶圆取出至下一工序。
- 一种存取
- [发明专利]一种无接触式晶圆移载设备-CN202110976640.6在审
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赵学灵;彭梓洋
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苏州桓旭半导体科技有限公司
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2021-08-24
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2021-11-09
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H01L21/683
- 本发明公开了一种无接触式晶圆移载设备，属于晶圆生产领域，一种无接触式晶圆移载设备，包括移载支架，所述移载支架一侧安装有吸取机构，所述吸取机构用于对晶圆无接触式吸取固定，所述吸取机构包括Y形手爪，所述Y形手爪安装在所述移载支架一侧，所述Y形手爪内部两侧开设有高压气腔，所述高压气腔顶部均匀开设有射流孔，所述射流孔内部设置有偏流挡柱，所述偏流挡柱顶部一侧安装有导流侧板；所述Y形手爪与所述移载支架之间设置有移载机构，它可以利用伯努利原理实现无接触式对晶圆的牢固抓取，解决了传统的人工搬运及普通的负压真空吸取搬运的方式均可能造成晶圆的扭曲变形或碎裂的问题。
- 一种接触式晶圆移载设备
- [实用新型]一种无接触式晶圆移载设备-CN202122002121.8有效
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赵学灵;彭梓洋
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苏州桓旭半导体科技有限公司
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2021-08-24
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2022-01-28
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H01L21/683
- 本实用新型公开了一种无接触式晶圆移载设备，属于晶圆生产领域，一种无接触式晶圆移载设备，包括移载支架，所述移载支架一侧安装有吸取机构，所述吸取机构用于对晶圆无接触式吸取固定，所述吸取机构包括Y形手爪，所述Y形手爪安装在所述移载支架一侧，所述Y形手爪内部两侧开设有高压气腔，所述高压气腔顶部均匀开设有射流孔，所述射流孔内部设置有偏流挡柱，所述偏流挡柱顶部一侧安装有导流侧板；所述Y形手爪与所述移载支架之间设置有移载机构，它可以利用伯努利原理实现无接触式对晶圆的牢固抓取，解决了传统的人工搬运及普通的负压真空吸取搬运的方式均可能造成晶圆的扭曲变形或碎裂的问题。
- 一种接触式晶圆移载设备
- [实用新型]一种视觉数片装置-CN202222139738.9有效
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左国军;成旭;付正超;王千熙
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常州捷佳创精密机械有限公司
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2022-08-15
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2022-11-15
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G06M1/272
- 本实用新型属于自动清洗设备技术领域，具体涉及一种视觉数片装置，本视觉数片装置包括：料台、图像采集机构和移载补光机构；移载补光机构移动至第一支撑工位的下方对晶圆盒进行补光，图像采集机构移动至各拍摄工位分别采集第一支撑工位上晶圆盒的图像信息；移载补光机构将第一支撑工位上晶圆盒顶起，以带动该晶圆盒移至下一支撑工位；本实用新型通过图像采集机构在不同拍摄工位采集晶圆盒的图像信息，克服靠近晶圆盒侧壁的晶圆在成像时会让机器产生偏差、数片时将晶圆盒侧壁当成晶圆导致数片数量偏差的问题，能够保证成像不存在盲区，并且通过移载补光机构在有限的空间中完成晶圆盒的移载和满足相机的补光，提高图像的清晰度，以提高检测精度。
- 一种视觉装置
- [实用新型]自动放片机-CN202022594475.1有效
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戴言培
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麒安科技有限公司
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2020-11-11
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2021-05-07
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H01L33/48
- 一种自动放片机，包括晶圆平边对位单元、第一晶圆移动模块、第二晶圆移动模块、模具平边对位单元及移载机构，晶圆平边对位单元包括可转动的晶圆承载座及第一摄影模块，第一晶圆移动模块包括第一放置区及平移机构，第一放置区供第一晶圆片放置，平移机构将第一晶圆片由第一放置区移载至晶圆承载座上；第二晶圆移动模块包括第二放置区及翻面机构，第二放置区供第二晶圆片放置，翻面机构自第二放置区吸取第二晶圆片且翻转后放置于晶圆承载座上；模具平边对位单元包括可转动的模具承载座及第二摄影模块；移载机构依序将放置晶圆承载座的第一晶圆片、第二晶圆片移载至模具承载座上的模具上，以此将第一晶圆片及第二晶圆片特定表面对合且堆栈于模具上。
- 自动放片机
- [发明专利]一种晶圆盒移载控制方法-CN202210205601.0有效
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成龙;缪峰
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弥费实业（上海）有限公司
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2022-03-04
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2022-12-09
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G05B19/19
- 本发明提供一种晶圆盒移载控制方法，应用于存储系统的移载机构。其中，精准移载控制方法包括：当接收到移载指令时，确定移载指令对应的第一目标位置和第二目标位置；确定第一路程和第一最大速度；根据第一最大速度和第一速度分段控制策略，确定在第一移载运动方向上的第一移载速度；根据第一移载速度输出速度控制指令，以将待取放晶圆盒从第一目标位置移载到第二目标位置。通过对移载过程采用距离分段控制结合速度分阶控制，可实现晶圆盒移载过程在较短时间内完成，提高了移载效率，保障了存储系统具有较高吞吐量，而且可以实现移载运行速度的平稳控制，避免加减速变化对晶圆盒造成不必要的振动
- 一种晶圆盒移载控制方法
- [实用新型]具有晶圆冷却的输送机台-CN202320662780.0有效
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吴新建;吴贞霓;吴沛勲
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瀚钧国际有限公司
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2023-03-30
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2023-07-18
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H01L21/677
- 本实用新型是一种具有晶圆冷却的输送机台，设置有一置料区及一待料区，是供输送多个晶圆从置料区移动到至少一制成处理装置以进行晶圆制成作业，其中输送机台包括一移戴装置、至少一汲取装置及一冷却装置，移戴装置是对应置料区及待料区，并供晶圆在置料区及待料区之间移载；汲取装置是对应移戴装置设置，并供汲取移戴装置承接移载的晶圆至制成处理装置，以及汲取已进行制成作业的晶圆并移戴至冷却装置；冷却装置是对应待料区的正上方设置，当汲取装置移戴已进行制成作业的晶圆至冷却区时，冷却装置供冷却晶圆至一预定温度。
- 具有冷却输送机台
- [发明专利]存储库-CN202210618022.9有效
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成龙;祝强强;缪峰
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弥费科技（上海）股份有限公司
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2022-06-02
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2023-07-25
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B65G1/04
- 本发明提供一种存储库，应用于半导体制造设备技术领域，包括：立库式的储库本体、地面对接口、洁净气体控制箱、空中对接口和移载机构，所述移载机构设置于所述储库本体的内部，所述移载机构用于对所述储库本体中的存储阁位进行晶圆盒取放操作通过将地面对接口、空中对接口、洁净气体控制箱和移载机构部署于立库式的储库本体上，非常便于部署应于存储库，以及通过移载机构直接在储库本体内部对存储阁位进行晶圆盒取放操作，形成新型的存储库，非常方便晶圆盒在存储库与地面对接口、空中对接口之间交换晶圆盒。
- 存储
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