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[发明专利]具有局部区域速率控制的抛光系统-CN201480057444.7有效
发明人：陈志宏;P·D·巴特菲尔德;张寿松 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-09-30 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：一种抛光模块，所述抛光模块包含：卡盘，所述卡盘具有基板接收表面和周界；以及一个或更多个抛光垫，所述一个或更多个抛光垫绕所述卡盘的所述周界定位，其中所述一个或更多个抛光垫的每一个邻近所述卡盘的所述基板接收表面、以挥扫图案是可以动的，并且所述抛光垫在径向移动上被限制为约小于从所述卡盘的所述周界测量的所述卡盘的半径的二分之一。
具有局部区域速率控制抛光系统

[实用新型]一种大米生产线系统-CN201320194740.4有效
发明人：于文斌;苏达生;郑先灵;于化月;李友明 -专利权人：天津市津沽粮食工业有限公司
申请日： 2013-04-17 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： B02B5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大米生产线系统，属于大米加工设备技术领域，包括通过提升机依次串接的清理模块、砻谷模块、碾米模块、抛光模块、色选模块、以及包装模块；其中：清理模块包括毛谷仓、清理筛、去石机仓、去石机、以及提升机；砻谷模块由净谷单元和糙米单元组成，所述净谷单元和糙米单元之间通过提升机连接，碾米模块由净糙单元和配米单元组成，抛光模块由白米单元和抛光单元组成，白米单元和抛光单元之间通过提升机连接，色选模块包括相互之间并联的色选A单元和色选B单元；包装模块包括白米筛、磁选器、成品白米仓、以及包装机；本实用新型具有工作效率高、结构简单、控制方便、操作灵活的特点。
一种大米生产线系统

[发明专利]一种光流变-光化学-空化协同作用的抛光系统-CN202211061942.1在审
发明人：葛江勤;林宇恒;任以勒 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光流变‑光化学‑空化协同作用的抛光系统，包括机械臂、集成化抛光工具、混合溶液、加工池模块、降粘模块、溶液循环管路、补料装置、水泵和控制系统。集成化抛光工具根据加工工件的面形，控制环形凝胶驱动阵列，调节柔性曲面的面形变化；柔性曲面表面设有环形凸台结构，在抛光头旋转时增加对流体的剪切力；集成化抛光工具内设有环形紫外光灯模块，在面对复杂曲面时，可调节其照射角度；在抛光过程中流体因受到紫外光的照射，引发光流变效应，提高流体粘度，同时，还引起光化学反应，弱化加工工件表层；抛光头在超声振子的激励下，产生空化效应；在光流变、光化学、空化三场合一的作用下，增强对加工工件的抛光效果
一种流变光化学协同作用抛光系统

[实用新型]一种用于圆柱体工件的外圆抛光装置-CN201620012429.7有效
发明人：张正亚;李峰平;冮建华;孙存轩;唐俊峰;施陈威;杨耀;姜耀华;朱亚东 -专利权人：温州大学
申请日： 2016-01-07 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： B24B21/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于圆柱体工件的外圆抛光装置，包括机架，以及安装在机架上的两组抛光机构、旋转机构和进给机构；所述抛光机构包括砂带、砂带支架、两根导杆、气缸和气缸固定板；所述旋转机构包括气缸夹紧模块、连接件、法兰、轴承、大带轮、传送带、小带轮、步进电机支撑架、步进电机和滑动底板；所述进给机构包括伺服电机、直线导轨模块和丝杠；直线导轨模块的滑块与滑动底板通过螺纹连接，丝杠通过联轴器与伺服电机的输出轴连接本实用新型的抛光砂带对待抛光工件的压力可通过控制旋转夹紧气缸的气体流量来调节，充分考虑了抛光过程中的各个因素对抛光质量的影响，实现了更加稳定的抛光过程。
一种用于圆柱体工件抛光装置

[发明专利]一种抛光轮的补偿测量方法及装置-CN200910041001.X有效
发明人：霍彩红;王建业 -专利权人：梁志强
申请日： 2009-07-10 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： B24B49/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种抛光轮的补偿测量方法及装置，利用测速电机通过与抛光轮接触并同步转动的接触轮测量抛光轮的磨损状况，包括与抛光机的抛光轮相互接触的接触轮，以及与接触轮同轴连接的测速电机，用于检测抛光轮的磨损量；所述测速电机的信号输出端经输入电压转换器与无线电发射模块连接，用于将上述检测的磨损量转换为电压信号，并通过无线电发射模块向控制主机发送；所述控制主机的信号输入端经输出电压转换器与无线电接收模块连接，用于接收上述射频信号和计算获得补偿量，通过控制程序对抛光轮进行补偿。本发明通过对抛光轮磨损后实际大小的实时监测，为控制主机提供准确的补偿信息并对抛光轮进行精确的补偿控制，以达到更佳的工艺要求。
一种抛光轮补偿测量方法装置

[发明专利]一种可自动添加磨料的光催化复合加工平台及加工方法-CN201810826646.3有效
发明人：曾晰;郗枫飞;郑倩倩;何兴 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：一种可自动添加磨料的光催化复合加工平台及加工方法，包括机器人模块，包括六自由度串联机器人和柔性气动抛光装置，柔性抛光装置安装在六自由度串联机器人的活动端；磨料添加装置，用于去除工件表面材料；抛光工作台、抛光液补充单元，设置于抛光工作台旁，并且其加液口位于抛光工作台的抛光池正上方；以及控制柜，与机器人模块、磨料添加装置、抛光工作台以及抛光液补充单元的控制端电连接或信号连接；所述加工方法通过在机器人模块上设置磨料添加装置
一种自动添加磨料光催化复合加工平台方法

[实用新型]一种可自动添加磨料的光催化复合加工平台-CN201821184280.6有效
发明人：曾晰;郗枫飞;郑倩倩;何兴 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：一种可自动添加磨料的光催化复合加工平台，包括机器人模块，包括六自由度串联机器人和柔性气动抛光装置，柔性抛光装置安装在六自由度串联机器人的活动端；磨料添加装置，用于去除工件表面材料；抛光工作台、抛光液补充单元，设置于抛光工作台旁，并且其加液口位于抛光工作台的抛光池正上方；以及控制柜，与机器人模块、磨料添加装置、抛光工作台以及抛光液补充单元的控制端电连接或信号连接；所述加工方法通过在机器人模块上设置磨料添加装置
磨料抛光工作台机器人模块添加装置光催化去除工件表面材料补充单元复合加工六自由度自动添加抛光液气动抛光装置本实用新型串联机器人气压调节阀复杂零件控制材料喷射软管柔性抛光添加位置信号连接压缩空气装置安装电连接活动端加液口控制端控制柜抛光池串联加工

[实用新型]一种新型防腐木板抛光机-CN202220665930.9有效
发明人：毛青芳;包振贵 -专利权人：浙江符氏木业有限公司
申请日： 2022-03-24 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型防腐木板抛光机，旨在解决木板抛光机在作业时需要多次拆装磨盘才能完成多道抛光工序作业的问题。其技术方案要点是：一种新型防腐木板抛光机，包括工作台、抛光模块，工作台包括有底座和操作台，底座上设有支撑座，支撑座上设有主动滑座和用于带动主动滑座移动的驱动模块，抛光模块包括有与支撑杆滑动连接的固定架以及与固定架转动连接的旋转架本实用新型通过旋转旋转架可实现在抛光作业中需求更换磨盘，解决了木板抛光机在作业时需要多次拆装磨盘才能完成多道抛光工序作业的问题。
一种新型防腐木板抛光机

[实用新型]一种抛光轮的补偿测量装置-CN200920060194.9无效
发明人：霍彩红;王建业 -专利权人：梁志强
申请日： 2009-07-10 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： B24B49/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抛光轮的补偿测量装置，利用测速电机通过与抛光轮接触并同步转动的接触轮测量抛光轮的磨损状况，包括与抛光机的抛光轮相互接触的接触轮，以及与接触轮同轴连接的测速电机，用于检测抛光轮的磨损量；所述测速电机的信号输出端经输入电压转换器与无线电发射模块连接，用于将上述检测的磨损量转换为电压信号，并通过无线电发射模块向控制主机发送；所述控制主机的信号输入端经输出电压转换器与无线电接收模块连接，用于接收上述射频信号和计算获得补偿量，通过控制程序对抛光轮进行补偿。本实用新型通过对抛光轮磨损后实际大小的实时监测，为控制主机提供准确的补偿信息并对抛光轮进行精确的补偿控制，以达到更佳的工艺要求。
一种抛光轮补偿测量装置

[发明专利]化学机械抛光的温度控制-CN201980006568.5在审
发明人： H·桑达拉拉贾恩;S-S·常;H·吴;J·唐;吴政勋;R·巴贾杰;A·锡尔迪亚 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-06-21 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种化学机械抛光设备包括压板、载体、分配器和温度控制系统，压板保持抛光垫，载体在抛光工艺期间保持基板抵靠抛光垫的抛光表面，分配器向抛光表面供应抛光液，温度控制系统包含主体，所述主体经配置以接触抛光表面或抛光表面上的抛光液主体支撑定位在抛光垫上的热控制模块。
化学机械抛光温度控制

[发明专利]一种生产半挂车用具有夹持结构的零部件抛光装置-CN202211715015.7在审
发明人：韩天宇;宋华军 -专利权人：蒙城财富汽车有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种生产半挂车用具有夹持结构的零部件抛光装置，包括抛光工作台，所述抛光工作台顶部固定连接有上抛光部件，所述抛光工作台顶部固定连接有仿形引导通道，所述仿形引导通道内部滑动连接有侧边抛光模块，所述抛光工作台上方设有五个位于所述仿形引导通道内侧的内夹持模块能够实现内夹板和外夹板的定位组合，通过气缸的工作可以改变内夹板和外夹板的位置，将内夹板和外夹板调节到适配鞍体顶盖板尺寸的位置处，达到了灵活改变内夹板和外夹板所处位置与相配合组成的形状的效果，五个内夹持模块和五个外夹持模块配合达到了从内外同时夹持固定鞍体顶盖板不同区域的效果
一种生产半挂车用具夹持结构零部件抛光装置

[实用新型]一种用于高精度光学镜片加工的精磨抛光机-CN202121958983.1有效
发明人：姜皓骏 -专利权人：姜皓骏
申请日： 2021-08-19 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及抛光机技术领域，且公开了一种用于高精度光学镜片加工的精磨抛光机，包括底座，所述底座的上端固定安装有支撑模块，所述支撑模块的上端设置有升降模块，所述升降模块的外侧固定安装有转动模块，所述转动模块的底端设置有打磨模块，所述打磨模块的外侧设置有吹风模块。该用于高精度光学镜片加工的精磨抛光机，通过固定杆移动带动顶板上下移动，顶板通过连接杆带动托板上下移动，启动电机二带动驱动座转动，驱动座带动吹风模块转动，对吹风模块的角度进行调节，启动电机三转动带动打磨轮转动，打磨轮对目标进行打磨处理，通过吹气喷头对接风机，对目标处进行吹尘处理，实现了对物体的多方位吹尘处理，提高抛光的精度。
一种用于高精度光学镜片加工抛光机

[发明专利]模块化底板半导体抛光器结构-CN200980125897.8无效
发明人： A·伊尔玛兹 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2009-06-17 - 公布日： 2011-06-01 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明一般涉及抛光系统。具体来说，本发明涉及具有一个或多个模块化抛光站和可移动地连接到传送系统的数个抛光头的抛光装置。
模块化底板半导体抛光结构

[发明专利]一种内壁光学表面加工纹理去除的抛光装置及控制方法-CN202211123323.0有效
发明人：李泽骁;张效栋;张昊 -专利权人：天津大学
申请日： 2022-09-15 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种内壁光学表面加工纹理去除的抛光装置及控制方法，所述一种内壁光学表面加工纹理去除的抛光装置包括机械臂模块、控制模块、变频模块、供液模块与加工平台，所述机械臂模块设置于加工平台上方，所述控制模块与机械臂模块电连接，所述变频模块与供液模块相邻设置于加工平台的下方，所述机械臂模块包括机械臂底座、机械主体与抛光工具，解决内壁光学表面加工纹理去除中的空间小，位置灵活，且需要通过人工手抛进行纹理去除的费时费力，工艺不可控的难题
一种内壁光学表面加工纹理去除抛光装置控制方法

[实用新型]一种液晶显示模块抛光装置-CN202021975562.5有效
发明人：张春青 -专利权人：深圳市立鑫光电科技有限公司
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：一种液晶显示模块抛光装置，包括机架、夹持组件、回收组件和抛光组件；机架包括安装架和底座；安装架设置在底座上；夹持组件和回收组件设置在底座上；抛光组件设置在安装架上，且朝向夹持组件。本实用新型通过设置夹持组件，利用夹持板和夹持块，并且利用弹性件和铰链，提供夹持力，使夹持组件能够夹持不同规格的液晶显示模块，提高本实用新型的普遍适用性；通过设置回收组件，增加本实用新型的经济效益，减少抛光粉的浪费；通过设置抛光组件，通过螺纹杆和滑动套实现抛光件的移动，从而起到定向抛光的作用；利用气缸和抛光粉轨道，实现在抛光的同时定向添加抛光粉，提高抛光的工作效率，减少工人工作，提高抛光的自动化程度。
一种液晶显示模块抛光装置