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[实用新型]一种原子力显微镜与电化学工作站联用的原位表征装置-CN201920028165.8有效
发明人：曾宪祥;陈慧;吴雄伟;史梦钰;谭彬 -专利权人：湖南农业大学
申请日： 2019-01-08 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： G01N27/416 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种原子力显微镜与电化学工作站联用的原位表征装置，所述原位表征装置为常规电池，特别是固态电池充放电过程中电极电解质界面的原位分析提供了一种多用的表征平台。此装置可用于固态电池界面过程的原位表征，对于固态电池电极电解质界面形貌、结构与模量等参数的原位监测提供了一种简便的平台，且可以单独作为表征或者测试平台进行原子力或者电化学测试，是一种多功能的装置。
固态电池原位表征电极电解质电化学工作站原子力显微镜本实用新型充放电过程电化学测试表征平台测试平台常规电池界面过程界面形貌原位分析原位监测装置可用原子力联用

[发明专利]对准方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质-CN202211397566.3在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：该对准方法，包括：采集待检测区域的扫描电子显微镜图像；提取扫描电子显微镜图像的扫描电子显微镜图像轮廓；将扫描电子显微镜图像轮廓转化为与设计版图格式相同的扫描电子显微镜图像轮廓；将转化后的扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准
对准方法装置电子设备计算机可读存储介质

[发明专利]一种纳米微区阻抗原位测量技术-CN201610695354.1在审
发明人：杨海燕;陈骁;高峻;法芸;包艳 -专利权人：中国科学院青岛生物能源与过程研究所
申请日： 2016-08-19 - 公布日： 2017-01-25 - 主分类号： G01N27/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米微区阻抗原位测量技术，包括上位计算机PC、数据I/O通道、交流阻抗仪、原子力显微镜和机械耦合模块，所述上位计算机PC与数据I/O通道连接，且数据I/O通道分别与交流阻抗仪和原子力显微镜连接，所述交流阻抗仪和原子力显微镜通过机械耦合模块进行机械耦合，且交流阻抗仪包括微欧计、锁相放大器和阻抗电路，所述微欧计和锁相放大器均与数据I/O通道连接，且微欧计和锁相放大器均与阻抗电路连接，所述微欧计与锁相放大器连接本发明可在观察样品表面形貌和结构变化的同时，在微纳米尺度上进行精确定位的电化学检测，实现材料结构、电子和离子输运特性的实时原位测量。
一种纳米阻抗原位测量技术

[实用新型]基于微透镜修饰探针的光学超分辨率动态成像系统-CN201520083440.8有效
发明人：刘连庆;王飞飞;于鹏;李文荣;刘柱;王越超 -专利权人：中国科学院沈阳自动化研究所
申请日： 2015-02-05 - 公布日： 2015-06-10 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及基于微透镜修饰扫描探针的光学动态成像系统，包括扫描探针显微镜和微透镜；所述扫描探针显微镜的探针上设有微透镜，扫描探针显微镜的纳米定位机构上设有样品台，扫描探针显微镜的光学显微镜位于探针以及样品台上方本实用新型能够实现光学超分辨率动态观测成像，并且有效解决扫描探针类显微镜在扫描成像初期对纳米物体进行视觉观测定位问题，以及纳米操作时的实时视觉反馈问题，从而提高纳米观测和纳米操作的效率。
基于透镜修饰探针光学分辨率动态成像系统

[发明专利]使用扫描电子显微镜的检查系统-CN201310205662.8有效
发明人：朴英吉;白原奉;吴基元 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2013-05-29 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： G01N23/22 文献下载
摘要：一种使用扫描电子显微镜的检查系统包括扫描电子显微镜室，该扫描电子显微镜室通过使用电子束检查待检查物体并维持真空条件；位于所述扫描电子显微镜室下方以与所述扫描电子显微镜室分离并安装有待检查物体的台架；以及用于在所述台架上方传送所述扫描电子显微镜室的横向导向部在所述扫描电子显微镜室与待检查物体之间维持大气条件。相应地，待检查物体，尤其是大尺寸的待检查物体可被检查，而不会损坏待检查物体，从而可实现费用的减少和产量的提高。
使用扫描电子显微镜检查系统

[实用新型]模块化扫描探针显微镜-CN200620042852.8无效
发明人：赵虹霞;徐文东 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2006-06-19 - 公布日： 2007-06-27 - 主分类号： G02B21/36 文献下载
摘要：一种与倒置荧光显微镜结合的模块化扫描探针显微镜，它由五个模块组成：第一模块为倒置荧光显微镜；第二模块是三爪逼近装置；第三模块是扫描头；第四模块包括透明样品台和X、Y、Z三维扫描器；第五模块是激光显微扩展模块本实用新型模块化结构，利用各部分模块又很容易搭建不同结构的扫描探针显微镜，大大降低了购买各项仪器的成本；三维扫描器的共用除了实现荧光倒置显微镜的原有功能外，结合所有模块还可实现显微镜物镜照射和收集的特殊扫描近场光学显微镜功能、确定区域和确定目标的观察、激光共焦显微镜检测以及其他一些以探针为主或以显微镜为主的操作和加工工作。
模块化扫描探针显微镜

[发明专利]可对金属空气电池进行电化学条件下原位光学测试的装置-CN201910077101.1有效
发明人：邹健莉;曹鲁杰 -专利权人：南杰智汇（深圳）科技有限公司
申请日： 2019-01-27 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01N21/25 文献下载
摘要：本发明专利公布了一种可对金属空气电池进行电化学条件下原位光学测试的装置，属于电池测试设备及研究领域，本装置可以对扣式金属空气电池在电化学过程中进行原位光学显微镜及共聚焦拉曼光谱测试，在可密闭的测试箱中连有气体交换通道，提供一个所需气体测试环境，并通过装置上部的可替换视窗在扣式金属空气电池进行电化学测试的过程中对电极材料进行原位光学测试，通过扣式电池座的设计来减小电极材料与视窗之间的距离以提供最佳的观测距离，本装置可以用于监测电极材料在电化学过程中物质形貌
金属空气电池进行电化学条件下原位光学测试装置

[实用新型]一种扫描式共聚焦光谱显微镜-CN202123099108.5有效
发明人：姜伟 -专利权人：沈阳启正科学仪器检测有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种扫描式共聚焦光谱显微镜，涉及共聚焦光谱显微镜技术领域。所述扫描式共聚焦光谱显微镜包括显微镜镜头，还包括：环形座所述显微镜镜头外壁连接有环形座；防护盖，所述防护盖通过固定卡块与环形座连接，所述防护盖用于将显微镜镜头与外界环境隔离。本实用新型提供的扫描式共聚焦光谱显微镜具有在显微镜镜头上设置环形座以及可与环形座相卡接的防护盖，可以通过防护盖将显微镜镜头与外界环境进行隔离，起到一定的防尘效果，从而能够防止显微镜镜头外部堆积灰尘，不会影响工作人员的查看的视线的优点
一种扫描聚焦光谱显微镜

[发明专利]一种添加单质硫原位微生物合成硫铁矿用于石油烃污染土壤修复的方法-CN202310524417.7在审
发明人：王鑫;赵倩;刘滢;李楠 -专利权人：南开大学
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B09C1/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种土壤微生物电化学系统中添加单质硫原位合成硫铁矿用于石油烃污染土壤修复的方法，该方法主要针对土壤的电导性较差、传质较难导致有效修复范围受到限制等问题，通过简单地向石油原土中均匀的混入廉价的升华单质硫粉，采用单室两电极体系构建土壤微生物电化学体系，在微生物的作用下，利用土壤中固有的含量丰富的含铁化合物形成硫铁矿物导电网络，60天总石油烃去除率为62%，硫铁矿的鉴定通过场发射电子扫描显微镜以及能量色散X该方法显著强化了石油烃污染土壤的修复，促进了生物地球化学循环，是一种绿色、安全、低成本、有前景的有机污染土壤生物修复技术。
一种添加单质原位微生物合成硫铁矿用于石油污染土壤修复方法

[发明专利]可控纳米导线的物理化学制备方法-CN01110206.3无效
发明人：李壮;吴爱国;汪尔康 -专利权人：中国科学院长春应用化学研究所
申请日： 2001-04-02 - 公布日： 2004-03-03 - 主分类号： H01B13/00 文献下载
摘要：本发明属于直径和长度可控纳米导线的物理化学制备方法。该方法将扫描探针显微镜基底吸附硫醇化合物，然后用扫描探针显微镜针尖蘸取金属或金属合金纳米粒子的溶液，进行线条刻划，由于毛细作用针尖上的金属或金属合金纳米粒子流向基底且与硫醇形成金-硫化学键，形成纳米导线
可控纳米导线物理化学制备方法

[发明专利]一种基于无液氦室温孔超导磁体的强磁场扫描探针显微镜-CN201610042953.3有效
发明人：吴施伟;孙泽元;张帅;黄迪;周盛予;殷立峰;高春雷;沈健 -专利权人：复旦大学
申请日： 2016-01-22 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明属于扫描探针显微镜技术领域，具体是一种基于无液氦消耗室温孔超导磁体的强磁场扫描探针显微镜。本发明包括无液氦消耗的室温孔超导磁体、扫描探针显微镜和计算机控制系统；所述室温孔超导磁体包括无液氦消耗的闭循环制冷机、超导磁体和具备室温孔的腔室；所述扫描探针显微镜包括扫描头、真空腔室、隔振平台。本发明采用由制冷机制冷的室温孔超导磁体，摆脱了强磁场运行对液氦的依赖；与制冷机相连的超导磁体和扫描探针显微镜之间无物理接触，制冷机的机械振动不会直接传到扫描探针显微镜上，可以实现扫描探针显微镜的原子级分辨能力；扫描探针显微镜的温度不受制于超导磁体工作运行时要求的低温条件；扫描探针显微镜及其真空腔体可以独立于超导磁体进行高温烘烤，满足实现超高真空的条件。
扫描探针显微镜超导磁体室温孔制冷机无液强磁场消耗计算机控制系统超高真空低温条件分辨能力高温烘烤隔振平台工作运行机械振动物理接触真空腔室真空腔体闭循环扫描头原子级腔室液氦制冷

[发明专利]基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷检测方法、装置-CN202211060150.2在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。该方法包括：获取待检测位置的第一扫描电子显微镜图像，以及除待检测位置之外的其他位置的第二扫描电子显微镜图像；基于第一扫描电子显微镜图像和第二扫描电子显微镜图像，分别与待检测位置的设计版图进行对准，得到对准结果；基于对准结果，分别将第一扫描电子显微镜图像和第二扫描电子显微镜图像，与待检测位置的设计版图进行比较，得到差异信息；根据差异信息和配方文件，判断第一扫描电子显微镜图像与设计版图之间的第一差异是否为缺陷。
基于设计版图扫描电子显微镜图像缺陷检测方法装置

[发明专利]一种检测源极多晶硅经化学机械研磨后表面异常的方法-CN201310266284.4在审
发明人：杨兴 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2013-06-28 - 公布日： 2014-12-31 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种检测源极多晶硅经化学机械研磨后表面异常的方法，采用KT电子扫描显微镜对源极多晶硅经化学机械研磨后的表面进行检测，KT电子扫描显微镜持续发射原生入射电子对源极多晶硅表面进行扫描，源极多晶硅表面的价电子被激发，形成二次电子，然后KT电子扫描显微镜侦测源极多晶硅表面被激发出的二次电子并成像，异常表面的成像亮度大于正常表面的成像亮度。
一种检测极多晶硅经化学机械研磨表面异常方法

[实用新型]现场电化学扫描隧道显微镜电解池-CN96221723.9无效
发明人：池其金;张柏林;张敬东;汪尔康 -专利权人：中国科学院长春应用化学研究所
申请日： 1996-08-30 - 公布日： 1999-09-01 - 主分类号： G01N27/26 文献下载
摘要：本实用新型属于现场电化学扫描隧道显微镜电解池的结构设计，其工作电解槽形状依工作电极材料形状而定，槽内放置工作电极并配有O形垫圈，对极一端紧贴在电解槽壁上，另一端接对极、工作电极、参比电极的接线孔，参比电极室位于电解槽和接线孔之间
现场电化学扫描隧道显微镜电解池

[发明专利]基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法-CN202010451028.2在审
发明人：吴俊杰;傅云霞;李源;蔡潇雨;魏佳斯;周勇;孙恺欣 -专利权人：上海市计量测试技术研究院
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法，原子力显微镜扫描头固定设置，在测量过程中静止不动，原子力显微镜扫描头扫描测量被测物体表面的轮廓面参数并生成检测信号，原子力显微镜信号调理装置将检测信号调理之后传递给平台控制器，平台控制器根据检测信号控制定位平台相对原子力显微镜扫描头运动而使原子力显微镜扫描头沿着被测物体表面扫描检测，计算机对检测信号进行处理而得出被测物体表面轮廓的参数。由此可见，本发明的一种基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法，能够方便地进行测量，测量过程中，原子力显微镜扫描头保持静止，避免了振动导致的测量误差，提高了测量准确性。
基于原子显微镜测量装置台阶测量方法

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