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[发明专利]微驱动器-CN200510067674.4无效
发明人：黑塚章;虫鹿由浩;梶野修 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2005-04-25 - 公布日： 2005-11-02 - 主分类号： G02B26/02 文献下载
摘要：一种微驱动器，在可动部的刚性和重量之间、以及可动部的刚性和静电力之间的双方综合调整。该微驱动器(100)，具备基台(1)、由基台(1)支撑着的第1梳型电极(2)、具有与第1梳型电极(2)相对的第2梳型电极(8)和向基台(1)的方向突出的至少1个加强筋(9)的可动部(6)、以及以能够进行可动部
驱动器

[发明专利]一种微驱动器的闭环控制系统及方法-CN202110770946.6在审
发明人：于映;张启维;李若舟;严静;方玉明 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2021-07-08 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： B25J13/00 文献下载
摘要：一种微驱动器的闭环控制系统，包括结构光投影装置、图像采集装置、主控计算机、微驱动器控制芯片和微驱动器；主控计算机的控制端通过微驱动器控制芯片通讯连接微驱动器的受控端；结构光投影装置由主控计算机控制产生第一结构光信号S1传输至微驱动器；图像采集装置采集微驱动器上的第二结构光信号S2，并传输至主控计算机；主控计算机对采集得到的第二结构光信号计算，获取微驱动器的三维形貌及控制信号S3，并将控制信号S3发送到微驱动器控制芯片控制微驱动器本发明能够获取基于微驱动器三维形貌的微驱动器控制反馈信号，通过一次或者多次的闭环循环控制，实现微驱动器的精准控制。
一种驱动器闭环控制系统方法

[发明专利]微驱动器、减振器、磁头折片组合及其磁盘驱动单元-CN200410082329.3无效
发明人：姚明高;白石一雅 -专利权人：新科实业有限公司
申请日： 2004-12-30 - 公布日： 2006-07-05 - 主分类号： G11B5/596 文献下载
摘要：一种用于磁盘驱动单元的磁头折片组合，包括：微驱动器、磁头及用于支撑所述磁头和微驱动器的悬臂件(suspension)。所述微驱动器包括一个减振器，该减振器可抵消由于微驱动器被激发进行磁头位置调整而产生的内在应力。所述减振器具有压电元件，可在微驱动器底板产生对抗力而消除因微驱动器内在应力产生的振动，从而为磁盘驱动单元提供良好的共振性能。
驱动器减振器磁头组合及其磁盘驱动单元

[发明专利]用于镜筒定位的微机电系统装置-CN201780014709.9有效
发明人：张玉文;林成义;陈振宇;刘义强;朱传贵 -专利权人：宁波舜宇光电信息有限公司;南洋理工大学
申请日： 2017-03-03 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： G02B27/64 文献下载
摘要：一种微机电系统（MEMS），其利用热微驱动器（31）将镜筒（20）定位于智能设备，例如手机的摄像模组。该微驱动器相对一镜筒放射状延伸，其中每一微驱动器都可以受热弯曲。控制单元（32）包括可运行地连接于该微驱动器的加热电路（321），以将热能可控制地应用于每一微驱动器，其中每一微驱动器相应弯曲，以相对一基座（10）移动该镜筒，从而控制该镜筒的三轴定位。该微驱动器的操作不受环境温度变化的影响。
用于定位微机系统装置

[发明专利]磁头和微驱动器组合及其制造方法、磁头折片组合以及磁盘驱动单元-CN200910134112.5无效
发明人：姚明高;解贻如;郭林 -专利权人：新科实业有限公司
申请日： 2009-04-07 - 公布日： 2010-10-13 - 主分类号： G11B5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁头和微驱动器组合。所述磁头和微驱动器组合包括具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底；形成于所述基底的尾边的读/写头；以及形成于所述基底的前边的压电微驱动器，所述压电微驱动器通过两个间隔的隔离层与所述基底的前边连接以在所述压电微驱动器与所述基底的前边之间形成空隙，其中，当所述压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时，具有所述读/写头的基底绕所述基底的中心旋转。所述磁头和微驱动器组合的结构避免了读/写头在压电微驱动器被驱动时受损同时能取得较好的工作性能。本发明也公开了磁头和微驱动器组合的制造方法、磁头折片组合以及磁盘驱动单元。
磁头驱动器组合及其制造方法以及磁盘驱动单元

[发明专利]用于微驱动器和微LED的底板结构和方法-CN201780011825.5有效
发明人：胡馨华;崔在仁;J·E·佩德;I·比塔;唐海榕;许锦纬;S·查拉萨尼;陈之磊;康盛球;小野晋也;黃戎岩;蔡纶 -专利权人：苹果公司
申请日： 2017-02-10 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01L25/075 文献下载
摘要：描述了微LED和微驱动器芯片集成方案。在一个实施方案中，微驱动器芯片包括形成在所述微驱动器芯片的底表面中的多个沟槽，其中每个沟槽围绕在所述微驱动器芯片主体的底表面下方延伸的导电立柱。另外，描述了用于提供与导电端子触点和微LED的电连接的集成方案，所述导电端子触点和所述微LED键合到显示器衬底且与微驱动器芯片相邻。
用于驱动器 led 底板结构方法

[发明专利]一种带限位锁止功能的静电微驱动器-CN201110100488.1无效
发明人：苑伟政;张峰;常洪龙;姜澄宇;焦文龙;谢建兵;何洋 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2011-04-21 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： H02N1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种带限位锁止功能的静电微驱动器，属于微机电系统领域。该微驱动器在驱动组件两侧分布有四个限位锁止组件，驱动组件通过弹性支撑梁与锚点连接，限位锁止组件通过弹性支撑梁与锚点连接，限位锁止棘齿通过与驱动组件两侧的驱动棘齿咬合实现静电微驱动器的限位锁止功能。这种带限位锁止功能的静电微驱动器克服了现有技术中静电微驱动器存在不带限位锁止功能、不能停电离线工作等缺点，使得静电微驱动器在达到预设的输出位移时，能进行限位锁止，如此以来，静电微驱动器可以停电离线工作，
一种限位功能静电驱动器

[发明专利]基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法-CN201310008735.4有效
发明人：张冬仙;史斌;章海军;伊福廷;王波 -专利权人：浙江大学
申请日： 2013-01-10 - 公布日： 2013-04-10 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法。利用LIGA技术加工出具有高深宽比的金属微驱动器，利用脉冲激光照射微驱动器使微驱动器迅速升温，微驱动器局部微结构内的液体受热发生气化相变，气泡将液体向外排产生反作用力驱动微驱动器转动。通过调整激光的功率和占空比来控制局部微结构中的气泡产生速率和大小变化，从而产生脉冲式的驱动力实现微驱动器的步进运动。
基于相变作用力金属驱动器驱动装置及其方法

[发明专利]一种红外辐射场景转换系统和方法-CN201811301250.3在审
发明人：赵宏鸣;杜渐;张兴;杜惠杰;高阳;虞红;张盈 -专利权人：北京仿真中心
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：该系统包括：黑体辐射源、能量调制微镜阵列、能量调制微镜阵列驱动器、成像微镜阵列、成像微镜阵列驱动器、视频解码电路；黑体辐射源，提供红外辐射能量；能量调制微镜阵列，在能量调制微镜阵列驱动器的驱动下，对来自黑体辐射源的红外辐射能量进行调制，将调制后的能量反射至成像微镜阵列；视频解码电路，向成像微镜阵列驱动器提供视频信号；成像微镜阵列驱动器，根据视频信号驱动成像微镜阵列；成像微镜阵列，在成像微镜阵列驱动器的驱动下，对来自能量调制微镜阵列的调制后能量进行调制
微镜阵列成像微镜阵列驱动器能量调制调制黑体辐射源红外辐射红外辐射能量视频解码电路场景转换红外图像模拟视频信号驱动驱动高灰度级能量反射视频信号场景申请

[发明专利]处理压电元件的方法、压电微驱动器及其磁头折片组合和磁盘驱动单元-CN200510075745.5无效
发明人：姚明高 -专利权人：新科实业有限公司
申请日： 2005-06-02 - 公布日： 2006-12-06 - 主分类号： G11B5/596 文献下载
摘要：一种制造含有压电微驱动器的磁头折片组合的方法，包括如下步骤：提供一个压电元件，将该压电元件安装到微驱动器上形成压电微驱动器，将磁头安装到该压电微驱动器上形成磁头与压电微驱动器的组合，将该组合安装到磁头折片组合上
处理压电元件方法驱动器及其磁头组合磁盘驱动单元

[实用新型]基于相变作用力的金属微驱动器及驱动装置-CN201320012152.4有效
发明人：史斌;张冬仙;章海军;伊福廷;王波 -专利权人：浙江大学
申请日： 2013-01-10 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于相变作用力的金属微驱动器及驱动装置。利用LIGA技术加工出具有高深宽比的金属微驱动器，利用脉冲激光照射微驱动器使微驱动器迅速升温，微驱动器局部微结构内的液体受热发生气化相变，气泡将液体向外排产生反作用力驱动微驱动器转动。通过调整激光的功率和占空比来控制局部微结构中的气泡产生速率和大小变化，从而产生脉冲式的驱动力实现微驱动器的步进运动。
基于相变作用力金属驱动器驱动装置

[发明专利]微驱动器、磁头折片组合、磁盘驱动器及其制造方法-CN200410038981.5无效
发明人：姚明高;白石一雅 -专利权人：新科实业有限公司
申请日： 2004-05-11 - 公布日： 2005-11-16 - 主分类号： G11B21/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁头折片组合机构(HGA)，包括磁头、微驱动器及用以承载所述磁头与微驱动器的悬臂件。其中，所述微驱动器包括一个支撑底及一个用于对磁头同时进行位置行程调整及飞行高度调整的压电单元。本发明同时公开了该磁头折片组合及微驱动器的制造方法以及包含上述磁头折片组合及微驱动器的磁盘驱动器的结构。
驱动器磁头组合磁盘驱动器及其制造方法

[发明专利]基于API模型的微驱动器迟滞建模及前馈控制方法-CN201910942980.X有效
发明人：王文;王瑞金;王健;陈占锋;桑志谦;郭宗福;居冰峰 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本发明公开了基于API模型的微驱动器迟滞建模及前馈控制方法。传统PI模型在描述非对称迟滞曲线时误差大。本发明将CPI模型改进为API模型，并根据非对称Play算子与非对称Stop算子间存在互补关系，得到基于非对称Stop算子的API逆模型，设计出微驱动器前馈控制器；把各时刻微驱动器的期望输出位移输入到前馈控制器，将前馈控制器的输出作为微驱动器的输入电压，该电压作用于微驱动器便得到微驱动器各时刻对应的实际输出位移。本发明API模型从本质上解决了PI模型只能描述对称迟滞曲线的问题，模型精度显著提高，本发明微驱动器前馈控制器简单有效，降低了控制器的复杂程度。
基于 api 模型驱动器迟滞建模控制方法

[发明专利]直接光驱动扫描微镜-CN201210180066.4有效
发明人：徐英舜 -专利权人：凝辉(天津)科技有限责任公司
申请日： 2012-06-04 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：一种直接光驱动扫描微镜，它包括微驱动器、平面弹簧、可动镜片和微透镜。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连，微透镜的输出端与微驱动器的输入端相连；每个器件包括1个可动镜片、2个平面弹簧、2个微驱动器和1个微透镜，可动镜片与2个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连；本发明采用硅微加工技术制成，可由入射激光中的特定波长驱动激光直接驱动镜片完成扫描，从而免除传统的电气连接相关的引线键合工序，结构简单，成本低廉。
直接驱动扫描

[实用新型]直接光驱动扫描微镜-CN201220258458.3有效
发明人：徐英舜 -专利权人：凝辉(天津)科技有限责任公司
申请日： 2012-06-04 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：一种直接光驱动扫描微镜，它包括微驱动器、平面弹簧、可动镜片和微透镜。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连，微透镜的输出端与微驱动器的输入端相连；每个器件包括1个可动镜片、2个平面弹簧、2个微驱动器和1个微透镜，可动镜片与2个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连；本实用新型采用硅微加工技术制成，可由入射激光中的特定波长驱动激光直接驱动镜片完成扫描，从而免除传统的电气连接相关的引线键合工序，结构简单，成本低廉。
直接驱动扫描

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