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[发明专利]一种扭转微镜的跟踪扫描系统-CN202010381395.X在审
发明人：秦毅;陈辉;姚智伟;王福杰;任斌;郭芳;戚远航 -专利权人：东莞理工学院
申请日： 2020-05-08 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种扭转微镜的跟踪扫描系统，包括扭转微镜跟踪扫描系统，所述扭转微镜跟踪扫描系统的输入端与电源模块的输出端电性连接，所述扭转微镜跟踪扫描系统的输出端与显示单元和摄像头的输入端电性连接，所述扭转微镜跟踪扫描系统与高速缓存模块实现双向连接，所述高速缓存模块与网络数据库实现双向连接，所述数据比较模块与高速缓存模块实现双向连接，本发明涉及扭转微镜技术领域。该扭转微镜的跟踪扫描系统，系统能够首先通过初步调节再通过辅助调节对扭转微镜的转动幅度进行精准调节，并且通过角度校准和跟随调节使得系统稳定，解决了传统的扭转微镜的跟踪扫描系统在使用时，扭转微镜角度调节精准度不高的问题
一种扭转跟踪扫描系统

[发明专利]一种扫描式结构光投影系统及其控制方法-CN201610497717.0有效
发明人：夏长锋;宋秀敏;乔大勇;游桥明 -专利权人：西安励德微系统科技有限公司
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明提供了一种扫描式结构光投影系统及其控制方法，包括：激光光源、微扭转镜、反馈模块，以及控制模块，其中，激光线沿平行于微扭转镜转轴方向入射，该入射激光线被转动的微扭转镜反射后，形成二维结构光投影；反馈模块与微扭转镜连接用以采集微扭转镜的振动频率和位置，控制模块的输入端与反馈模块的输出端连接，用以接收反馈模块的信号，控制模块的输出端与激光光源和微扭转镜连接，用以控制微扭转镜的运动和激光光源的光功率，保证微扭转镜在相同扭转角的情况下，激光光源输出相同的光功率
一种扫描结构投影系统及其控制方法

[实用新型]一种扫描式结构光投影系统-CN201620668363.7有效
发明人：夏长锋;宋秀敏;乔大勇;游桥明 -专利权人：西安励德微系统科技有限公司
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种扫描式结构光投影系统，包括：激光光源、微扭转镜、反馈模块，以及控制模块，其中，激光线沿平行于微扭转镜转轴方向入射，该入射激光线被转动的微扭转镜反射后，形成二维结构光投影；反馈模块与微扭转镜连接用以采集微扭转镜的振动频率和位置，控制模块的输入端与反馈模块的输出端连接，用以接收反馈模块的信号，控制模块的输出端与激光光源和微扭转镜连接，用以控制微扭转镜的运动和激光光源的光功率，保证微扭转镜在相同扭转角的情况下，激光光源输出相同的光功率
一种扫描结构投影系统

[实用新型]一种电磁驱动微扭转镜组件-CN201621078824.1有效
发明人：乔大勇;苑伟政 -专利权人：南通芯识电子技术有限公司
申请日： 2016-09-23 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种电磁驱动微扭转镜组件，包括微扭转镜，该微扭转镜的一个面上固定有永磁铁，微扭转镜的两侧固定有串联在一起的驱动线圈，微扭转镜的下方设置有感应磁场的磁传感器。本实用新型采用可动磁铁固定线圈的驱动形式，微扭转镜上无需设置电连接，可简化微扭转镜制作工艺；利用磁传感器感测微扭转镜转动过程中磁场强度的变化，实时监测并反馈其具体转角，通过控制驱动线圈电流和频率实现微扭转镜稳定可靠工作
一种电磁驱动扭转组件

[发明专利]微扭转镜光电检测系统及方法-CN201610221201.3有效
发明人：夏长锋;宋秀敏;乔大勇;苑伟政 -专利权人：西安励德微系统科技有限公司
申请日： 2016-04-11 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微扭转镜光电检测系统及方法，包括固定框，该固定框内设置有微扭转镜和激光器，该微扭转镜和激光器的相对位置固定，在固定框上设置有第一光电探测器，该第一光电探测器设置在微扭转镜的扫描路径内，当激光器出射的激光光线经微扭转镜反射后，扫描经过第一光电探测器时，第一光电探测器捕捉到微扭转镜的位置信号，并借此计算微扭转镜振动的幅值和相位，本发明将光电探测器安装在微扭转镜的正面，且仅设置一个光电探测器，即可同时计算微扭转镜振动的幅值和相位
扭转光电检测系统方法

[发明专利]一种防止镜面动态变形的扭转微振镜芯片及其制备工艺-CN202310949282.9在审
发明人：许煜;白民宇;孟庆阳;彭磊;马力;姜军委;张妮妮 -专利权人：西安知象光电科技有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种防止镜面动态变形的扭转微振镜芯片及其制备工艺，芯片包括键合玻璃上制备的扭转微振镜镜面，扭转微振镜镜面外周设有扭转微振镜镜面外框，镜面外框两侧分别与微振镜转轴的一端相连接，微振镜转轴的另一端与芯片外框相连接，微振镜转轴的两侧对称布置有扭转微振镜阵列梳齿，扭转微振镜阵列梳齿外侧分别设有梳齿驱动阵列，梳齿驱动阵列及芯片外框上分别布置有金属焊盘；制备工艺包括刻蚀SOI晶圆器件层、静电键合、去除底硅层和埋氧层、溅射SOI晶圆器件层背面和刻蚀SOI晶圆器件层背面；本发明通过在扭转微振镜镜面正面采用外框支撑，扭转微振镜镜面背面采用加强筋结构，从而减少镜面动态变形，具有高可靠性、高一致性、高重复性和低成本等优点。
一种防止动态变形扭转微振镜芯片及其制备工艺

[发明专利]一种微机械空间光调制器-CN201010500828.5有效
发明人：李晓莹;靳倩;孙瑞康;乔大勇;燕斌 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2010-09-30 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：该光调制器包括一个周期可调光栅和一个微扭转镜，所述的周期可调光栅从上到下依次包括光栅器件层6和光栅绝缘层5；所述的微扭转镜从上到下依次包括微扭转镜器件层3、微扭转镜绝缘层2和微扭转镜基底层1；周期可调光栅与微扭转镜通过光栅绝缘层5和微扭转镜器件层3键合为一体；本发明的有益效果是：将微扭转镜和周期可调光栅集成于一体，可以同时实现光开关和光衰减器的作用；利用微扭转镜的扭转来实现对多个光通道的选择，从而减少了光路切换的元件数量，提高了光路稳定性和响应速度
一种微机空间调制器

[发明专利]一种提升微振镜扭转控制精度的控制系统及控制方法-CN202210733074.0在审
发明人：刘俊池;周奂斌;李宁;王超;李爽;郭梦凡;雷雯雯;陈炳坤 -专利权人：湖北三江航天万峰科技发展有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种提升微振镜扭转控制精度的控制系统，包括FPGA控制器、数模转换器、驱动电流放大器和角度位置传感器。该控制系统由FPGA控制器实现对扭转角度指令的解码，得到微振镜驱动数字波形，然后基于数模转换器和驱动电流放大器的处理，得到放大的微振镜驱动电流，然后，微振镜在微振镜驱动电流的作用下实现扭转，并由角度位置传感器测量并向FPGA控制器反馈实际扭转角度，FPGA控制器基于实际扭转角度更新扭转角度指令，输出更准确的微振镜扭转控制信号。如此反馈闭环式的控制可大幅度提升微振镜扭转的控制精度和响应速度。
一种提升微振镜扭转控制精度控制系统方法

[发明专利]带侧面电极的2D静电驱动MEMS扭转微镜一阶滑模和Twisting控制-CN202010217152.2在审
发明人：秦毅;王福杰;郭芳;李裕荣;姚智伟 -专利权人：东莞理工学院
申请日： 2020-03-25 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种带侧面电极的2D静电驱动MEMS扭转微镜一阶滑模和Twisting控制，通过定MEMS扭转微镜的转动角度误差，从而确定MEMS扭转微镜的转动角度误差e＝θ‑θref,从而形成闭环控制系统，针对带侧面电极的2D静电驱动MEM扭转微镜这一新型微机电器件设计和应用一阶滑模控制和Twisting控制算法，采用反馈控制算法改善微镜的暂态性能和定位性能。从而使微镜能够快速并精确的扭转到期望角度。
侧面电极静电驱动 mems 扭转一阶 twisting 控制

[发明专利]一种线型微机械双向扭转镜阵列及其制作方法-CN201910867258.4有效
发明人：虞益挺;肖星辰;董雪;潘一宁;苑伟政 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2019-09-12 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种线型微机械双向扭转镜阵列及其制作方法，属于微光机电系统领域。该阵列的每组微镜单元主要包括一个镀有金属反射层8的微镜反射梁6和一个扭转支点3，两者形成为一体化结构，扭转支点3置于反射梁6下方的中线位置处，且贯穿整个微镜反射梁6的长度方向；微镜反射梁6通过其两端的微镜支撑结构9置于基底1上，且所述扭转支点3与基底1之间存在间隙。该扭转镜阵列可实现单一维度的偏转角度双向连续变化,具有高镜面填充率，工艺流程简单，其扭转支点与微镜反射梁一体化结构，提高了微镜单元偏转角度和偏转均匀性，保证了入射光线与法线所决定的平面与反射镜元阵列方向平行，改善了微镜在光学系统中的光场匹配特性。
一种线型微机双向扭转阵列及其制作方法

[发明专利]一种超大角度电磁驱动微镜-CN202110388029.1有效
发明人：程进;徐乃涛;孙其梁;李宋泽;隋明达 -专利权人：无锡微视传感科技有限公司
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种超大角度电磁驱动微镜，涉及微机电系统技术领域，包括微镜以及设于微镜两侧的新型磁体结构、驱动线圈和锚点，微镜通过两个对称的扭转梁分别连接锚点的一侧，锚点的另一侧通过扭转梁连接微镜的硅基板，锚点用于固定微镜；驱动线圈设置在微镜两侧的硅基板上，每侧的新型磁体结构围绕驱动线圈设置，用于产生与驱动线圈运动轨迹相切的辐射状磁场；驱动线圈外接电源时，使作用于硅基板上的扭转力矩方向相同，微镜通过硅基板传递的扭转力矩以扭转梁为轴发生偏转该结构能够在小电流下得到更大的偏转角度，减低了功率；且偏转时磁场强度不变，驱动线圈的电磁力只沿扭转力矩方向，并与驱动电流呈线性关系，可控性高。
一种超大角度电磁驱动

[发明专利]基于交错垂直梳齿驱动阵列的微振镜结构及其制备工艺-CN202310948051.6在审
发明人：许煜;白民宇;孟庆阳;胡泽喜;马力;吴建凰;张妮妮 -专利权人：西安知象光电科技有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：基于交错垂直梳齿驱动阵列的微振镜结构及其制备工艺，结构包括键合玻璃上制备的扭转微振镜镜面，镜面两侧分别与扭转微振镜转轴的一端连接；转轴另一端与芯片外框连接，转轴两侧对称布置扭转微振镜梳齿阵列，扭转微振镜梳齿阵列外侧设有交错垂直梳齿驱动阵列，交错垂直梳齿驱动阵列与键合玻璃静电键合；制备工艺包括刻蚀SOI晶圆器件层、静电键合、去除底硅层和埋氧层、溅射SOI晶圆器件层背面和刻蚀SOI晶圆器件层背面；本发明能够准确控制扭转微振镜梳齿阵列与交错垂直梳齿驱动阵列之间的高度差，以便于为扭转微振镜提供可靠稳定的扭矩，具有高可靠性、高一致性、高重复性和低成本的优点。
基于交错垂直梳齿驱动阵列微振镜结构及其制备工艺

[发明专利]一种二维矢量扫描微镜-CN201810831509.9有效
发明人：沈文江;余晖俊;崔亚春;李帆雅 -专利权人：中科融合感知智能研究院（苏州工业园区）有限公司
申请日： 2018-07-26 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种二维矢量扫描微镜，包括外围框架、设于外围框架内的内框架、连接外围框架和内框架的第一扭转梁、设于内框架内的微反射镜及连接内框架和微反射镜的第二扭转梁，其中，内框架可绕第一扭转梁旋转，微反射镜可绕第二扭转梁旋转本发明的二维矢量扫描微镜采用双轴解耦驱动设计，即以第一扭转梁为对称轴，在内框架背面电镀线圈，当线圈中通过电流时，在磁场的作用下，为内框架的偏转提供驱动力；同时，以第二扭转梁为对称轴，在微反射镜背面电镀线圈，为第二扭转梁的偏转提供驱动力，从而实现二维方向的准静态驱动，实现二维空间的矢量扫描。
一种二维矢量扫描

[发明专利]具有杂散光消除功能的MEMS微镜、激光扫描设备和微镜的制作方法-CN202111398312.9在审
发明人：宋旭东;宋秀敏;夏长锋;游桥明 -专利权人：西安知微传感技术有限公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种具有杂散光消除功能的MEMS微镜、激光扫描设备和微镜的制作方法。具有杂散光消除功能的MEMS微镜，其特征在于，包括：框架结构，框架结构的表面设置有消光层，框架结构具有孔结构；扭转结构，扭转结构设置在孔结构处，且扭转结构与孔结构的孔壁连接；反射镜，扭转结构支撑反射镜。本发明解决了现有技术中MEMS微镜存在杂散光的问题。
具有散光消除功能 mems 微镜激光扫描设备制作方法

[实用新型]扫描微镜-CN202020591279.6有效
发明人：李帆雅;沈文江 -专利权人：苏州希景微机电科技有限公司
申请日： 2020-04-20 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描微镜，包括框架、反射镜以及连接在所述框架与反射镜之间的扭转梁，所述框架将所述反射镜包围于其中并与所述反射镜间隔设置；所述反射镜包括自其边缘朝径向凹陷形成的缺口部，所述扭转梁的第一端连接所述框架，所述扭转梁的第二端延伸至所述缺口部内并与所述反射镜连接，所述扭转梁的第二端的宽度大于所述扭转梁的第一端的宽度。本实用新型将扭转梁的根部设置在反射镜内部，削弱了扭转梁对于微镜内镜面填充率的影响，同等尺寸微镜内的镜面填充率得以提高，有效地增大了反射镜镜面的口径，同时也避免微镜出现不必要的跳动，降低了扭转梁对扫描镜的频率
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