专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种抗高过载MEMS惯性模组及制备方法-CN202211322481.9在审
  • 蒋鹏;鞠莉娜;王子;徐彤 - 华东光电集成器件研究所
  • 2022-10-27 - 2023-02-03 - B81C1/00
  • 本发明公开了一种抗高过载MEMS惯性模组及制备方法,该MEMS惯性模组对ASIC芯片进行双面PAD工艺,将ASIC的两种互联信号进行上下面的分别引出,ASIC芯片顶面PAD设计为与MEMS敏感结构芯片互联信号接口本发明将MEMS敏感结构芯片放置于ASIC芯片上方,可在一定程度上减少高过载冲击带来的应力传递,提高MEMS惯性模组整体抗高过载能力。同时将ASIC芯片置于MEMS敏感结构下方,可直接通过植球焊接的方式将引出信号直接连接到封装管壳上,减少额外的信号互联形式,降低工艺组装复杂度,提升高过载环境下的可靠性。
  • 一种过载mems惯性模组制备方法
  • [发明专利]小型化组合单轴冷原子惯性传感器及其测量方法-CN201410655035.9在审
  • 雷兴;李攀;李俊;刘元正;王继良 - 中国航空工业第六一八研究所
  • 2014-11-17 - 2016-06-15 - G01C19/58
  • 本发明属于转速、加速度测量和惯性导航技术领域,涉及一种小型化组合单轴冷原子惯性传感器。本发明小型化组合单轴冷原子惯性传感器包括二维晶玻璃真空腔体、三维晶玻璃真空腔体、差分泵浦管道、碱金属源、所述二维晶玻璃真空腔体通过差分泵浦管道连接在三维晶玻璃真空腔体上,且分别连接有碱金属源,另外,所述差分泵浦管道为与两个腔体材质一致的晶玻璃制成,且所述三维晶玻璃真空腔体内具有作为原子陀螺、原子加速度计和原子重力梯度仪工作介质的冷原子团。本发明结合低温键合技术形成晶玻璃真空腔,能够在一套装置内实现转速、加速度和重力梯度测量,其集成度高,结构紧凑,且通光面积大,具有较大的工程应用价值。
  • 小型化组合单轴冷原子惯性传感器及其测量方法

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