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- [实用新型]捕蝇器-CN98244246.7无效
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任艺明
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任艺明
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1998-09-23
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1999-10-20
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A01M1/02
- 本实用新型为一种捕蝇器,包括带支脚的底座、顶部开设光孔的内罩、外罩,底座上开设一通孔,内罩、外罩相应地卡合于底座顶端面上。内罩上布有许多空隙,空隙大小小于苍蝇通常个体大小。外罩是一透明体,底座是下方为开放式的中空腔体。底座下方设有一底盘。底盘、底座、内罩、外罩为分体成型。底座与内罩形成的一个暗洞,通过内罩顶部开设的光孔,利用苍蝇惯于往上、向光飞的特性,苍蝇飞进的内罩与外罩形成的空间内,有效地发挥了“光留黑阻”的作用,最终能广泛地消灭苍蝇。采用的分体结构清洗起来更方便。
- 捕蝇器
- [发明专利]减少微影制程旁瓣的方法-CN01109524.5无效
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王立铭;蔡高财
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华邦电子股份有限公司
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2001-03-30
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2002-11-13
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H01L21/027
- 一种改善微影制程旁瓣产生的方法,其包括下列步骤于半导体基底上形成光阻层;以相移式光罩对此光阻层进行曝光,将光罩上的图形转移至光阻上;之后,对曝光后的光阻层进行后曝光烘烤步骤;最后再进行显影,完成光阻层的图案化本发明特点可减少旁瓣的产生;仅以调整制程参数即可增加光阻层的对比,不须额外制作光罩,或是增加额外制程,与现有的制程兼容;应用范围广泛,不受光阻种类限制。可应用于ArF,KrF,I-line或G-line或DUV的光阻材质。
- 减少微影制程旁瓣方法
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