专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种压差式检测过滤器堵塞情况的传感系统-CN03268359.6无效
  • 伍华本 - 伍华本
  • 2003-08-04 - 2004-11-10 - G01L13/00
  • 本实用新型公开了一种压差式检测过滤器堵塞情况的传感系统;本实用新型的传感系统包括过滤器,在过滤器的进、出水端安装有压差传感器,压差传感器与过滤器堵塞判别逻辑单元连接,压差传感器受水压的作用发生应力变化,过滤器堵塞判别逻辑单元通过压差传感器发出的应力信号变化判别过滤器是否堵塞,并输出相应的信息到控制系统或控制单元,本设计能自动准确地提示用户更换过滤器,从而不存在水源水质、通水量或使用时间等因素影响用户判断
  • 一种压差式检测过滤器堵塞情况传感系统
  • [发明专利]一种具有应力加强筋的压力传感器及其制备方法-CN202110144177.9有效
  • 李维平;李晓波;兰之康 - 南京高华科技股份有限公司
  • 2021-02-03 - 2021-06-04 - H01L41/113
  • 本发明提供一种具有应力加强筋的压力传感器及其制备方法,方法包括:分别提供SOI晶圆、硅晶圆和衬底;在SOI晶圆正面形成压敏单元;图形化SOI晶圆背面以获得第一通孔,第一通孔与压敏单元相连接;将硅晶圆背面与晶圆正面键合;图形化衬底正面以获得第二通孔和空腔,第二通孔与第一通孔相对应;将图形化后的衬底正面与SOI晶圆背面键合,以使第二通孔与第一通孔连通;金属化第一通孔和第二通孔以获得导电通道,导电通道与压敏单元电连接;在硅晶圆正面形成应力加强筋,应力加强筋与压敏单元相对应,得到压力传感器。本发明以应力加强筋作为应力集中区,应力集中优势明显,制作简单,可靠性高,大大提高器件的线性度和灵敏度。
  • 一种具有应力加强压力传感器及其制备方法
  • [发明专利]一种可控预应力的智能材料基触觉传感器及制造方法-CN202310325819.4在审
  • 汪延成;毛宸浩;梅德庆;金杰 - 浙江大学
  • 2023-03-30 - 2023-07-07 - G01L1/18
  • 本发明公开了一种可控预应力的智能材料基触觉传感器及制造方法。传感器主要由圆形凸台层、封装层、智能聚合物结构层、敏感层、上电极层、基底层和下电极层自上而下依次叠层而成,基底层中设有若干个过孔,上电极层和下电极层之间通过过孔连接,上电极层外接电路,圆形凸台、智能单元和敏感单元的数量和排布位置分布相同且对齐,方法包括制作智能聚合物结构层、制作导电电阻网络、制作封装传感器,利用光或热刺激智能单元,智能单元发生形变后对敏感单元施加预应力。本发明利用结构化的形状记忆材料对传感单元施加局部可控的预压缩,有效减少死区范围,极大提高了柔性传感器阵列在非结构化场景中对低压力信号的检测能力。
  • 一种可控预应力智能材料触觉传感器制造方法
  • [发明专利]一种基于布里渊散射分布式光纤温度和应力传感-CN201310697646.5在审
  • 熊思亚东;张振荣 - 广西大学
  • 2013-12-18 - 2015-06-24 - G01K11/32
  • 本发明设计一种基于布里渊散射分布式光纤温度和应力传感器,包括窄线宽光源,脉冲调制器,掺铒光纤放大器,3*3耦合器,传感光纤1、传感光纤2及传感光纤3,检测单元。其中,窄线宽光源发出的激光经过脉冲调制和功率放大之后作为入射光,入射光经过耦合器分束之后分别入射至传感光纤1、传感光纤2和传感光纤3.三路铺设在一起的传感光纤中的背向布里渊散射光在耦合器处合束,并经过光电转换生成拍频布里渊信号通过探测具有多峰特性的拍频布里渊信号频移,我们可以探测传感光纤所处环境的温度与应力信息。本发明在不引入本振光移频器件的前提下,通过多路传感光纤的拍频,降低了检测单元中所需要的光电探测带宽,降低了成本和系统复杂度。同时,利用多峰信号的温度与应力系数不一致,可以分辨温度和应力的作用。
  • 一种基于布里渊散射分布式光纤温度应力传感器
  • [发明专利]适于透明晶圆的薄膜应力检测系统及方法-CN202310231713.8在审
  • 陈剑;俞胜武;刘明东;戴丹蕾 - 无锡卓海科技股份有限公司
  • 2023-03-10 - 2023-06-02 - G01L1/24
  • 本发明涉及一种适于透明晶圆的薄膜应力检测系统及方法。其包括光路单元,光路单元包括:激光器;入射光束调控部,包括用于压缩入射激光束束腰半径的光束束腰控制机构,其中,入射激光束的束腰半径经所述光束束腰控制机构压缩后适配所述待薄膜应力检测晶圆的最大允许束腰半径;反射光束调控部,包括用于反射光聚焦的聚焦透镜组,其中,反射形成的反光激光束经聚焦透镜组聚焦到二维位置传感器上,以基于反射激光束在二维位置传感器上的位置点对晶圆的薄膜应力检测。本发明能有效实现对晶圆的薄膜应力检测,尤其可适应于透明晶圆的薄膜应力检测,提高薄膜应力检测的范围、稳定性以及可靠性。
  • 适于透明薄膜应力检测系统方法

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