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[实用新型]一种射频等离子手术系统-CN201820955752.7有效
发明人：刘向东 -专利权人：北京杰西慧中科技有限公司
申请日： 2018-06-20 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： A61B18/12 文献下载
摘要：本申请涉及一种射频等离子手术系统，属于等离子手术装置领域。本申请包括：射频等离子手术主机、射频等离子手术电极和引流器；射频等离子手术电极配置有引流通道，该引流通道接入引流器，通过射频等离子手术主机形成对射频等离子手术电极和引流器的操作控制，在应用于射频等离子手术操作时，可实现通过射频等离子手术主机对射频能量控制和生理盐水引流的协同控制操作。
射频等离子手术电极引流器主机手术系统引流通道等离子手术引流射频能量生理盐水手术操作协同控制装置领域申请配置应用

[发明专利]真空射频等离子装置及真空系统-CN202211404189.1在审
发明人：王艳会;叶雨城;赵子淳;鹿建;谢斌平 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2022-11-10 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本公开提供了一种真空射频等离子装置及真空系统，真空射频等离子装置包括：射频源，用于产生射频；离子发生腔，与射频源耦合，用于在射频的激励下产生等离子；以及能量耦合器，将射频源产生的射频耦合到离子发生腔，用于产生等离子
真空射频等离子装置系统

[实用新型]射频等离子船舶探照灯-CN202022976943.1有效
发明人：周琪;乔乾;何梁;潘虹 -专利权人：清华四川能源互联网研究院
申请日： 2020-12-07 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： F21S41/30 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种射频等离子船舶探照灯，涉及照明技术领域。射频等离子船舶探照灯包括底座、支架、灯头、直流驱动电源、射频源、射频等离子光源和反射镜，支架安装在底座上，灯头转动连接在支架上，直流驱动电源安装在灯头上，直流驱动电源用于接入电源，射频源安装在灯头上，射频源与直流驱动电源连接，射频等离子光源安装在灯头上，射频等离子光源与射频源通过同轴线连接，反射镜安装在灯头上，反射镜围绕射频等离子光源设置。射频等离子船舶探照灯能够满足对强光的需求、光束集中，还没有散热的问题、且体积较小。
射频等离子船舶探照灯

[发明专利]等离子体处理系统和设备,及用于输送射频功率至等离子体处理室的方法-CN00809597.3有效
发明人：安德瑞斯·费舍尔;巴巴科·卡德库达因;安德拉斯·库蒂 -专利权人：拉姆研究公司
申请日： 2000-06-15 - 公布日： 2002-07-10 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理设备与系统,及用以输送射频功率至等离子体处理室的方法。等离子体处理系统包括一个射频产生器、一个等离子体室、一个匹配网络盒、第一电缆、第二电缆,及用以电隔离匹配网络盒的装置。射频产生器产生射频功率以传送至等离子体室。等离子体室接收射频功率以处理晶片且在等离子体处理期间由内阻抗来作为特征。等离子体室有一面或多面墙壁可用以返回射频电流。匹配网络盒能够接收射频电流并产生阻抗使得等离子体室的内阻抗可以和射频产生器的阻抗相匹配。第一电缆连接射频产生器与匹配网络盒以在射频产生器与匹配网络盒之间传送射频功率。第二电缆连接匹配网络盒与等离子体室以在匹配网络盒与等离子体室之间传送射频功率。第二电缆为射频返回电流提供一个从等离子体室至匹配网络盒之间的返回路径。电隔离装置使匹配网络盒隔离防止其与等离子体室作电接触,使得仅有第二电缆可以提供射频返回电流从等离子体室至匹配网络盒的返回路径。
等离子体处理系统设备用于输送射频功率方法

[发明专利]一种磁约束射频感应耦合等离子体源-CN202111210118.3在审
发明人：聂军伟;陈庆川;黄琪;郑才国 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都理工大学工程技术学院
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明属于等离子体技术，具体涉及一种磁约束射频感应耦合等离子体源，包括射频放电腔、射频天线、高压绝缘气路，以及与射频天线连接的磁场电源和射频电源；射频天线的射频馈入端与射频电源连接，同时与磁场电源的一个输出端口连接；射频天线的接地端接地，同时与磁场电源的另一个输出端口连接；射频放电腔的下端开口，上端封闭。本装置产生射频感应耦合等离子体放电的电磁场，并且约束等离子体的静磁场，简化传统磁约束射频感应耦合等离子体源的分立式射频天线和磁场线圈结构，缩小了等离子体源的射频天线、磁场线圈与放电腔之间的距离，从而增强了射频天线产生的电磁场和约束静磁场对放电等离子体的作用效果
一种约束射频感应耦合等离子体

[发明专利]一种射频感应耦合等离子体中和器-CN201711446538.5在审
发明人：陈庆川;聂军伟;黄琪;石连天 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2017-12-27 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明属于低温等离子体技术领域，具体涉及一种射频感应耦合等离子体中和器。本发明包括用于容纳放电等离子体的等离子体放电腔、高压绝缘气路装置、射频耦合天线、用于收集离子和屏蔽射频容性耦合的阴极、屏蔽外壳和用于从等离子体放电腔中抽取电子束的阳极，该射频感应耦合等离子体中和器结构一方面可有效屏蔽射频耦合天线和放电等离子体间的容性耦合，降低射频容性耦合效应对等离子体放电腔内壁的溅射，减少放电等离子体中的杂质污染，同时也可有效减少射频感应耦合等离子体中和器陶瓷绝缘件上的污染，提高射频感应耦合等离子体中和器的寿命和稳定性，具有结构简单、
射频感应耦合等离子体中和器等离子体放电腔放电等离子体容性耦合电子束射频耦合射频天线低温等离子体技术阴极陶瓷绝缘件阳极高压绝缘工作稳定屏蔽外壳气路装置有效减少有效屏蔽杂质污染无电极屏蔽溅射内壁束流污染离子抽取洁净容纳

[实用新型]一种射频感应耦合等离子体中和器-CN201721863054.6有效
发明人：陈庆川;聂军伟;黄琪;石连天 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2017-12-27 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型属于低温等离子体技术领域，具体涉及一种射频感应耦合等离子体中和器。本实用新型包括用于容纳放电等离子体的等离子体放电腔、高压绝缘气路装置、射频耦合天线、用于收集离子和屏蔽射频容性耦合的阴极、屏蔽外壳和用于从等离子体放电腔中抽取电子束的阳极，该射频感应耦合等离子体中和器结构一方面可有效屏蔽射频耦合天线和放电等离子体间的容性耦合，降低射频容性耦合效应对等离子体放电腔内壁的溅射，减少放电等离子体中的杂质污染，同时也可有效减少射频感应耦合等离子体中和器陶瓷绝缘件上的污染，提高射频感应耦合等离子体中和器的寿命和稳定性，具有结构简单、
射频感应耦合等离子体中和器等离子体放电腔放电等离子体容性耦合电子束本实用新型射频耦合射频天线低温等离子体技术阴极陶瓷绝缘件阳极高压绝缘工作稳定屏蔽外壳气路装置有效减少有效屏蔽杂质污染无电极屏蔽溅射内壁束流污染离子抽取洁净容纳

[发明专利]射频等离子手术系统及其使用方法-CN202011496985.3在审
发明人：葛明明 -专利权人：北京凯卓迅达科技有限公司
申请日： 2020-12-17 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： A61B18/12 文献下载
摘要：本公开涉及一种射频等离子手术系统及其使用方法，系统包括：主控模块、指令获取模块、射频输出模块和等离子输出模块；所述指令获取模块，用于获取工作模式选择指令，所述工作模式包括射频单级切割模式、射频双极凝血模式和等离子双极消融模式；所述主控模块与所述指令获取模块、所述射频输出模块和所述等离子输出模块均连接，用于基于所述工作模式选择指令，控制所述射频输出模块和所述等离子输出模块的工作状态，以实现所述射频等离子手术系统产生等离子或射频信号本公开实施例提供的技术方案可以实现射频单级切割模式、射频双极凝血模式和等离子双极消融模式的自由切换，便于医生在手术中根据需要选择不同的模式，完成不同的手术。
射频等离子手术系统及其使用方法

[发明专利]基于调制射频的动态等离子体产生装置-CN201610693642.3有效
发明人：李小平;雷凡;刘彦明;刘东林;谢楷;白博文 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2016-08-19 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提出一种基于调制射频的动态等离子体产生装置，用于解决现有低气压非平衡放电等离子体产生装置存在的等离子体人为控制难及动态性能差的技术问题，包括等离子体放电腔体、环形高压电极、真空系统、冷却系统、等离子体动态波形发生器、调制射频电源、射频匹配器、射频屏蔽接口和电磁实验屏蔽仓；等离子体放电腔体内安装环形高压电极，两端固定电磁实验屏蔽仓，并与真空系统相连，冷却系统与环形高压电极和等离子体放电腔体相连，等离子体动态波形发生器产生波形信号，调制射频电源将波形信号与本振信号相乘放大，通过射频匹配器和与等离子体放电腔体相连的射频屏蔽接口，将调幅波信号输给环形高压电极。本发明可产生一定频谱的动态等离子体。
基于调制射频动态等离子体产生装置

[实用新型]等离子健康照明灯具及其系统-CN202022648170.4有效
发明人：周琪;乔乾;何梁;潘虹 -专利权人：清华四川能源互联网研究院
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： F21S8/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种等离子健康照明灯具及其系统，涉及照明技术领域。等离子健康照明灯具包括壳体和安装在壳体内的驱动电源、射频电源、射频聚焦器、等离子灯珠、光学反射器，其中，射频电源与驱动电源电连接，射频聚焦器与射频电源通过射频线缆连接，等离子灯珠安装在射频聚焦器的聚焦位置，光学反射器围绕等离子灯珠设置。等离子健康照明灯具及其系统能够实现大功率照明，发出的光谱可以非常接近自然光的光谱，且没有频闪。
等离子健康照明灯具及其系统

[发明专利]一种常压辉光等离子体装置-CN201510897672.1在审
发明人：陈晓;吴海华;洪梦华 -专利权人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司
申请日： 2015-12-08 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提供一种常压辉光等离子体装置，包括：中频等离子体腔室和射频等离子体腔室；其中，进入等离子体装置的气体首先流入中频等离子体腔室，并在中频等离子体腔室中生成等离子体后进入射频离子体腔室。具有这样的结构，当气体通过进行系统进入装置后，在该装置中首先使用中频电源激励在中频等离子体腔室中产生等离子体，该等离子体会继续传播至射频等离子体腔室，从而为射频电源激励产生等离子体过程中提供更多的种子电子
一种常压辉光等离子体装置

[实用新型]一种常压辉光等离子体装置-CN201521010831.3有效
发明人：陈晓;吴海华;洪梦华 -专利权人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司
申请日： 2015-12-08 - 公布日： 2016-04-13 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本实用新型提供一种常压辉光等离子体装置，包括：进气系统、中频等离子体腔室、射频等离子体腔室和排气系统；进气系统设置于中频等离子体腔室的一端；射频等离子体腔室的一端与中频等离子体腔室的另一端固定联接，并且排气系统设置于射频等离子体腔室的另一端；通过进气系统排入的气体经由中频等离子体腔室进入射频等离子体腔室，并最终经由排气系统排出。具有这样的结构，当气体通过进行系统进入装置后，在该装置中首先使用中频电源激励在中频等离子体腔室中产生等离子体，该等离子体会继续传播至射频等离子体腔室，从而降低RF电源的击穿电压，进而顺利地产生汤生放电，
一种常压辉光等离子体装置

[发明专利]一种用于空间等离子体环境模拟的均匀射频等离子体源-CN201911123708.5在审
发明人：柴昊;贾军伟;卢晓勃;张明志;张书锋;郎昊 -专利权人：北京东方计量测试研究所
申请日： 2019-11-17 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于空间等离子体环境模拟的均匀射频等离子体源，涉及半导体制造技术领域，包括射频天线、石英介质窗、感应屏蔽层、支撑结构、外屏蔽罩、匹配网络、射频电源，可消除射频感应天线与等离子体之间的残余容性耦合、调节天线电压分布，产生空间分布均匀、等离子体电位非常低的射频等离子体，具有较高的空间等离子体环境模拟稳定度，且该系统结构简单、可靠。
一种用于空间等离子体环境模拟均匀射频

[发明专利]具有强化电荷中和的等离子处理以及处理控制-CN200880022236.8有效
发明人：维克拉姆·辛;提摩太·J·米勒;伯纳德·G·琳赛 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2008-06-12 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：一种等离子处理装置，包括支撑等离子处理的基底的平台。一种在输出端产生多重位准射频功率波形的射频电源，此射频功率波形至少包含具有第一功率位准的第一周期以及具有第二功率位准的第二周期。一种具有电性连接至射频电源的输出端的电性输入端的射频等离子源，至少在第一周期期间产生具有第一射频功率位准的第一射频等离子且在第二周期期间产生具有第二射频功率位准的第二射频等离子。一种具有电性连接至平台的输出端的偏压电源，产生足以吸引等离子的离子至等离子处理的基底的偏压波形。
具有强化电荷中和等离子处理以及控制

[发明专利]纳秒脉冲器射频隔离-CN202080048240.2在审
发明人：克里斯托弗·伯曼;康纳·利斯顿;尼古拉斯·A·杨;肯尼斯·米勒;艾丽亚·斯劳伯道夫;迪麦西·津巴 -专利权人：鹰港科技有限公司
申请日： 2020-07-01 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一些实施例包括等离子体系统。等离子体系统包括等离子体腔室、射频驱动器、纳秒脉冲器、第一滤波器及第二滤波器。射频驱动器以大于2兆赫的射频频率来驱动射频突发至等离子体腔室。纳秒脉冲器以脉冲重复频率及峰值电压来驱动脉冲至等离子体腔室。脉冲重复频率小于射频频率，峰值电压大于2千伏特。第一滤波器配置在射频驱动器及等离子体腔室之间。第二滤波器配置在纳秒脉冲器及等离子体腔室之间。
脉冲射频隔离

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