|
钻瓜专利网为您找到相关结果 2369848个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种半导体封装结构的开封方法-CN202110226516.8在审
-
徐静
-
长江存储科技有限责任公司
-
2021-03-01
-
2021-06-22
-
H01L21/02
- 本申请公开了一种半导体封装结构的开封方法,半导体封装结构包括基板、晶粒堆叠结构和封装材料层;晶粒堆叠结构包括依次堆叠设置在基板上的多个晶粒;多个晶粒包括目标晶粒;开封方法包括以下步骤:对半导体封装结构远离基板的一侧沿纵向进行减薄处理,直至距离目标晶粒的上表面预设距离的减薄停止面,使半导体封装结构保留位于目标晶粒的上表面与减薄停止面之间的减薄剩余材料,以及位于减薄停止面下方且位于目标晶粒四周的减薄后封装材料层;以及移除减薄剩余材料以及位于减薄停止面下方且位于目标晶粒四周的部分减薄后封装材料层,以使目标晶粒的上表面凸出于剩余的封装材料层。本申请可以安全高效无损的对半导体封装结构进行开封。
- 一种半导体封装结构开封方法
|