专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种单芯片平行位置的确定方法-CN201711442714.8有效
  • 孙彬;周文静;夏志伟;刘婷婷;侯佳丽;颜剡;孟庆嵩 - 北京中电科电子装备有限公司
  • 2017-12-26 - 2020-07-03 - H01L21/68
  • 本发明提供一种单芯片平行位置的确定方法,包括以下步骤:步骤1,确定图像模板及图像模板对准的坐标;步骤2,通过图像模板找到对应位置的芯片图像;步骤3,根据图像模板对准的坐标和芯片图像对准的坐标对比得到芯片图像与图像模板的角度偏差值和芯片图像对准与图像模板对准坐标的偏差值,以得到芯片图像对准A的坐标A(m,n)及对准A在坐标系中的角度β;步骤4,根据角度偏差值和芯片图像对准A的坐标偏差值得出芯片图像对准旋转至平行位置时芯片图像对准坐标B(x,y)。根据本发明的实施例能够在任一对准进行拉直计算,方便快捷的确定芯片的平行位置,减少了对准时间,提高了对准精度。
  • 一种芯片平行位置确定方法
  • [发明专利]一种光刻提高对准精度的异向多点同步错位对准-CN202111653024.3在审
  • 李荣宝 - 上海大溥实业有限公司
  • 2021-12-31 - 2022-04-29 - G03F9/00
  • 本发明涉及光刻技术领域,具体来说是一种光刻提高对准精度的异向多点同步错位对准法,包括两个或两个以上基准点1和对准2,具体如下:a.将实际基准点相对于目标基准点1偏位设置,偏移的距离小于等于目标基准点1的可接受误差半径;b.将多个实际基准点相对于目标基准点1偏离方向异向设置,所述的异向设置是多个实际基准点相对于目标基准点偏移圆心方向相反设置;c.将对准与实际基准点对准。本发明同现有技术相比,其优点在于:克服了现有技术的偏见,解决了光学波长等技术的限制,将对准和基准点人为偏置,降低对准误差,提高对准精度,设置点数越多,相互的牵制约束越多。
  • 一种光刻提高对准精度多点同步错位
  • [发明专利]切割道宽度定义方法、裸芯片扫描方法及裸芯片扫描设备-CN201711305396.0在审
  • 于洋;黄仁德;方桂芹 - 德淮半导体有限公司
  • 2017-12-11 - 2018-05-18 - H01L21/66
  • 本发明涉及一种切割道宽度定义方法、一种裸芯片扫描方法和扫描设备,切割道宽度定义方法包括:提供一形成有裸芯片的晶圆,相邻裸芯片之间具有切割道;在第一裸芯片的第一端最外侧边缘上选择第一预对准,在第三端最外侧边缘选择第二预对准;将经过第二预对准的直线与经过第一预对准的直线的交点作为第一对准;在第二裸芯片的第二端最外侧边缘上选择一第三预对准,在第二裸芯片的第四端最外侧边缘上选择一第四预对准;将沿第一方向延伸的经过第四预对准的直线与沿第二方向延伸的经过第三预对准的直线的交点作为第二对准;通过第一对准和第二对准对切割道宽度进行定义。
  • 切割宽度定义方法芯片扫描设备
  • [实用新型]具有引导对准装置的镜头-CN01264315.7无效
  • 陈文琦 - 致福股份有限公司
  • 2001-09-27 - 2002-10-23 - G03B13/04
  • 一种具有引导对准装置的镜头,适用于一般CCD镜头,也可用于其它影像感测镜头如CMOS镜头等。在镜头外缘设计一镜头对准,该对准中心线与镜头中心线平行,镜头对准底部是一光源(发光二极管)。对准依光源嵌入的深度与对准外壁产生“镜头对准角度”,当使用者面对镜头时若看到镜头对准内的光源,即表示已对准镜头的有效摄影范围。借此,可引导使用者对准镜头,对使用者十分方便。
  • 具有引导对准装置镜头
  • [发明专利]具有引导对准装置的镜头(2)-CN01141602.5无效
  • 陈文琦 - 致福股份有限公司
  • 2001-09-27 - 2003-04-09 - G03B13/04
  • 一种具有引导对准装置的镜头,适用于一般CCD镜头,也可用于其它影像感测镜头如CMOS镜头等。是在镜头外缘设计一镜头对准,该镜头对准底部是一光源,对准依光源嵌入的深度与对准外壁产生“镜头对准角度”。当使用者面对镜头时若看到镜头对准内的光源,即表示已对准镜头的有效摄影范围。借此,可引导使用者对准镜头,对使用者十分方便。
  • 具有引导对准装置镜头
  • [发明专利]一种基于机器视觉的套准方法-CN202110383158.1有效
  • 段光前;陈秀峰;陈中华;黄树平;童杰 - 武汉先河激光技术有限公司
  • 2021-04-09 - 2022-07-15 - H05K3/00
  • 本发明公开了一种基于机器视觉的套准装置,包括可移动的固定待套准器件一的固定装置一、固定待套准器件二的固定装置二、位于固定装置一、固定装置二之间的双面反射镜、摄像装置,器件一器件二上分别对应设置有对准一、对准二,双面反射镜其中一个反射面对准对准一,另一个反射面对准对准二,摄像装置将对准一、对准二的图像拍摄在同一成像框中,还包括控制器,控制器与摄像装置、固定装置二相连。本发明提出的基于机器视觉的套准装置用一个双面反射镜同时拍摄两个待套准器件上的对准,并将其呈现在同一幅图中,其结构简单,对准判断方法简单,对准效率高,对准精度高。
  • 一种基于机器视觉方法
  • [发明专利]一种基于机器视觉的套准装置-CN202110382878.6有效
  • 段光前;陈秀峰;陈中华;黄树平;童杰 - 武汉先河激光技术有限公司
  • 2021-04-09 - 2021-08-06 - H05K3/00
  • 本发明公开了一种基于机器视觉的套准装置,包括可移动的固定待套准器件一的固定装置一、固定待套准器件二的固定装置二、位于固定装置一、固定装置二之间的双面反射镜、摄像装置,器件一器件二上分别对应设置有对准一、对准二,双面反射镜其中一个反射面对着对准一,另一个反射面对着对准二,摄像装置将对准一、对准二的图像拍摄在同一成像框中,还包括控制器,控制器与摄像装置、固定装置二相连。本发明提出的基于机器视觉的套准装置用一个双面反射镜同时拍摄两个待套准器件上的对准,并将其呈现在同一幅图中,其结构简单,对准判断方法简单,对准效率高,对准精度高。
  • 一种基于机器视觉装置
  • [发明专利]图像检查装置、图像检查系统以及图像检查方法-CN201410249624.7有效
  • 深瀬贵大;北井正 - 株式会社理光
  • 2014-03-13 - 2017-04-12 - G01N21/956
  • 一种图像检查装置包括生成单元,配置为生成用于检查读取图像的检查图像;提取单元,配置为从检查图像提取用于检查和读取图像之间的对准的多个基准点;计算单元,配置为计算关于基准点的位置与读取图像中分别对应于所述基准点的位置之间的未对准的信息;排除单元,配置为基于关于未对准的信息从多个基准点中排除基准点对准单元,配置为基于除了排除的基准点之外的基准点执行检查图像和读取图像之间的对准;以及检查单元,配置为基于读取图像和检查图像之间的差异执行用来确定读取图像中是否有缺陷的检查
  • 图像检查装置系统以及方法
  • [发明专利]准点找正空间测量仪-CN202111300794.X在审
  • 高远;董建;刘平;薛金成;张金林;陈建华;胡荣;黄怀富 - 北京首钢股份有限公司
  • 2021-11-04 - 2022-03-04 - G01C15/02
  • 本申请公开了一种基准点找正空间测量仪,通过在基板的上设置找平器、基准定位组件和若干调节组件,使用时,将测量仪放置于基准点的上方,并使基准定位组件初步对准准点,然后通过调节各调节组件,以对基板的水平状态进行调节,并通过水平器对基板的水平状态进行观察,直至基板水平,再将基准定位组件对准准点的中心,再对各调节组件进行精调,当基板处于水平状态后,由于基准定位组件对准准点的中心,因此最终可通过确定基准组件的位置对基准点的位置进行测量因此,通过该基准点找正空间测量仪的设置,无论基准点是否处于平整的表面,均可实现对基准点位置的精确测量,为设备的安装和位置调整提供方便。
  • 基准点空间测量仪

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