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- [发明专利]3D存储器件的失效定位方法-CN201911366197.X在审
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官绪冬
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长江存储科技有限责任公司
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2019-12-26
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2020-05-19
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G11C29/12
- 公开了一种3D存储器件的失效定位方法,所述3D存储器件包括存储单元阵列,所述存储单元阵列中沿一方向排布的存储单元电连接至一条位线,所述3D存储器件存在双位线失效,所述失效定位方法包括:使用聚焦离子束机台,在双位线失效的两条位线上沉积金属垫体;通过微光显微镜向所述金属垫体施加一定的电压,从而突出失效处的热点信号;通过所述微光显微镜,在失效点处标记激光标记;使用所述聚焦离子束机台在所述激光标记处进行剖面切削,同时观察所述失效点,制备透射电子显微镜试片;以及使用所述透射电子显微镜对所述试片进行表征。本申请的方法能够快速实现对位线短路点的定位和表征。
- 存储器件失效定位方法
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