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- [发明专利]基片处理装置和基片处理方法-CN202010876608.6在审
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田中澄
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东京毅力科创株式会社
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2020-08-27
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2021-03-09
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H01L21/67
- 本发明提供一种对基片进行处理的基片处理装置和基片处理方法。基片处理装置包括：能够在上表面载置基片并对所载置的该基片进行加热的载置台；构成为能够从上述载置台的上表面伸出或没入该上表面，并且能够支承基片的基片支承销；和光照射机构，其对载置于上述载置台的上表面的基片中的与上述基片支承销的伸出或没入位置对应的特定的部分照射光根据本发明，在用载置台来对载置于基片支承销所伸出或没入的载置台的上表面的基片进行加热的情况下，能够改善基片的温度的面内均匀性。
- 处理装置方法
- [发明专利]基片集成波导馈电的对数周期偶极子阵列天线-CN200910033244.9无效
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翟国华;洪伟;蒯振起
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东南大学
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2009-06-10
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2009-12-30
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H01Q11/10
- 基片集成波导馈电的宽带对数周期偶极子阵列天线在上表面金属镀层(2)上设有顺序连接的上表面的集合线(5)、上表面馈源阵子天线(7)、基片集成波导的上表面(9)、微带渐变过渡线(6)、输出50欧姆微带线(8)；上表面的集合线(5)直接与基片集成波导的上表面(9)连接，上表面馈源阵子天线(7)位于上表面的集合线(5)的两侧；下表面金属镀层(3)包含有与对数周期偶极子阵列天线上表面的集合线(5)平行对称的对数周期偶极子阵列天线下表面的集合线(11)、与上表面馈源阵子天线(7)交叉对称的下表面馈源阵子天线(12)、与基片集成波导的上表面(9)对称的基片集成波导的下表面(13)、与基片集成波导的下表面(13)相连的微带线的地表面(14)。
- 集成波导馈电对数周期偶极子阵列天线
- [实用新型]一种宽带SIW缝隙天线-CN201921186506.0有效
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包晓军;李琳;王育才;刘会涛;刘远曦;辛勇豪
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珠海纳睿达科技有限公司
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2019-07-25
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2020-03-20
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H01Q1/38
- 本申请提出一种宽带SIW缝隙天线，包括：介质基片，包括上表面和下表面；上表面金属层，覆盖在所述介质基片的上表面处；下表面金属层，覆盖在所述介质基片的下表面处；金属化通孔阵列，以指定方向排列在所述介质基片上，并贯穿所述介质基片以及所述上表面金属层和所述下表面金属层；矩形缝隙，蚀刻在所述上表面金属层上；以及馈电结构，设置在所述介质基片上并连接至同轴线，以接收外部信号并激励所述宽带SIW缝隙天线向外辐射。其中，所述金属化通孔阵列、所述上表面金属层和所述下表面金属层构成一段封闭的基片集成波导腔体。所述金属化通孔阵列排列为包围所述矩形缝隙的矩形，并使得与所述矩形缝隙的长边形成夹角。
- 一种宽带siw缝隙天线
- [实用新型]波面聚光片-CN01200550.9无效
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唐世杰
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唐世杰
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2001-01-12
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2001-10-31
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G02F1/1335
- 一种波面聚光片,该聚光片主要包含一基片及一波面细条层,基片设有一上表面及一底表面,该基片可供光线穿过;波面细条层也设有一上表面及一底表面,可供光线穿过;该波面细条层的上表面排列有数个波面细条,该波面细条层在灌模形成而未固化时,将上述基片表面粘贴于该数个波面细条的底层以形成一波面聚光片。因此,该波面细条层表面与基片表面共同形成该波面聚光片的上表面及底表面。
- 聚光
- [实用新型]印刷对数周期偶极子阵列天线-CN200920044048.7有效
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翟国华;洪伟;蒯振起
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东南大学
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2009-06-10
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2010-06-02
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H01Q11/10
- 印刷对数周期偶极子阵列天线包括介质基片(1)、在介质基片(1)上的上表面金属镀层(2)、在介质基片(1)下的下表面金属镀层(3)和位于基片(1)上连接上表面金属镀层(2)和下表面金属镀层(3)的两排金属化通孔(4)；下表面金属镀层(3)包含有与上表面的集合线(5)平行对称的下表面的集合线(11)、与上表面馈源阵子天线(7)交叉对称的下表面馈源阵子天线(12)、与基片集成波导的上表面(9)对称的基片集成波导的下表面(13)、与基片集成波导的下表面(13)相连的微带线的地表面(14)；该天线不仅具有宽带特性，而且结构简单、体积小巧，满足平面电路集成的要求，并且具有成本低、便于批量生产等优点，因此适用于宽带通信系统的应用场合
- 印刷对数周期偶极子阵列天线
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