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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种纳米结构及其制备方法-CN201510338283.5有效
发明人：毛海央;唐力程 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2015-06-17 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米结构的制备方法，包括提供衬底；在所述衬底上形成聚合物层；采用等离子体轰击聚合物层，以形成柱状纳米结构；以柱状纳米结构为掩蔽，对衬底进行各向异性刻蚀，以形成锥状纳米结构；去除柱状纳米结构。该方法工艺简单且可控性强，可以批量、并行加工纳米结构，适用于大规模的商业化生产。
一种纳米结构及其制备方法

[发明专利]一种SERS基底及其制备方法-CN201510338662.4在审
发明人：毛海央;唐力程 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2015-06-17 - 公布日： 2015-09-23 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明公开了一种SERS基底的制备方法，包括：提供衬底；在所述衬底上形成聚合物层；采用等离子体直接对聚合物层进行轰击，以形成柱状纳米结构；覆盖金属层。该方法形成的SERS基底，可以有效增强拉曼散射信号，工艺简单且可控性强，适用于大规模的商业化生产。
一种 sers 基底及其制备方法

[发明专利]纳米柱/针森林结构的图形化加工方法-CN201410609901.0有效
发明人：毛海央;王岩;唐力程;雷程;欧文;陈大鹏 -专利权人：江苏物联网研究发展中心
申请日： 2014-11-03 - 公布日： 2015-01-28 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种纳米柱/针森林结构的图形化加工方法，其包括如下步骤：a、清洗第一基片和第二基片；b、在上述的第二基片的下表面设置与第一基片材料相似的第一基片相似材料层，在第二基片上设置若干穿通结构，以形成镂空基片；c、将上述镂空基片粘结在第一基片的上表面，以在镂空基片的下表面与第一基片的上表面间形成刻蚀腔；d、利用镂空基片的穿通结构对第一基片的上表面进行刻蚀；e、将镂空基片从第一基片的上表面去除，以在第一基片上得到纳米柱/针森林结构。本发明能有效克服电子束光刻和聚焦离子束刻蚀技术在批量加工方面的限制，并可有效降低工艺复杂程度，实现具有可调控性的图形化纳米柱/针森林结构。
纳米森林结构图形加工方法

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共 3 条

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