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[发明专利]基片上料机械手、基片上料系统和PECVD设备-CN201210200997.6有效
发明人：张文 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2012-06-18 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种基片上料机械手，包括：支架；手臂，所述手臂可上下旋转地连接在所述支架上；基片吸附件，所述基片吸附件设在所述手臂的一端上用于吸附基片；和旋转检测装置，所述旋转检测装置用于检测所述手臂的旋转运动根据本发明实施例的基片上料机械手，通过将手臂可旋转地连接在支架上，使得当基片上料机械手运动受制时可实现与上料台的互锁设计，及时避免了手臂或基片吸附件的损坏，降低了维修和替换成本，并且不耽误工作进程，提高了工作效率本发明还公开了一种基片上料系统和具有其的PECVD设备。
基片上料机械手系统 pecvd 设备

[发明专利]基片上料组件、基片装卸载装置和PECVD设备-CN201110393737.0有效
发明人：卢川 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2011-12-01 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种基片上料组件、基片装卸载装置和PECVD设备，所述基片上料组件包括：料盒，所述料盒内具有用于存放基片的盒腔，所述基片在盒腔内适于沿料盒的上下方向排列成多层且沿料盒的左右方向排列成多排；上料传送带，所述上料传送带用于传送所述基片；和上料机械手，所述上料机械手具有支架、手臂和多个基片吸附件，所述手臂的一端与所述支架相连，所述多个基片吸附件设在所述手臂上且沿所述手臂的长度方向间隔开以便所述上料机械手能够从所述料盒内同一层的多排基片中同时吸附出多个基片放置到所述上料传送带上根据本发明实施例的基片上料组件，可以提高上料效率，从而提高整体的工作效率。
基片上料组件装卸装置 pecvd 设备

[发明专利]一种基片上料装置-CN201510874250.2在审
发明人：袁永健 -专利权人：苏州索力旺新能源科技有限公司
申请日： 2015-12-02 - 公布日： 2016-03-23 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本发明涉及接线盒贴片组装生产技术领域，尤其是一种基片上料装置，包括支撑台,支撑台上端设置有用于放置基片工装,基片工装上部设置有横移机构,支撑下部设置有液压顶,横移机构包括第一支撑框架,第一支撑框架顶端设置有横梁本发明的有益效果为：本发明的用于基片上料装置解决了生产效率低下、人工成本较高、品质得不到保证等诸多问题；生产效率高，品质得到保证，劳动强度得到降低，人工成本得到有效控制，适宜大范围推广应用。
一种基片上料装置

[实用新型]一种基片上料装置-CN201520988158.4有效
发明人：袁永健 -专利权人：苏州索力旺新能源科技有限公司
申请日： 2015-12-02 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基片上料装置，属于接线盒贴片组装生产技术领域，包括支撑台,支撑台上端设置有用于放置基片工装,基片工装上部设置有横移机构,支撑下部设置有液压顶,横移机构包括第一支撑框架,第一支撑框架顶端设置有横梁本实用新型的有益效果为：本实用新型的用于基片上料装置解决了生产效率低下、人工成本较高、品质得不到保证等诸多问题；生产效率高，品质得到保证，劳动强度得到降低，人工成本得到有效控制，适宜大范围推广应用。
一种基片上料装置

[发明专利]一种用于镀膜机的封闭式上下片系统-CN201710943124.7有效
发明人：朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2017-10-11 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于镀膜机的封闭式上下片系统，包括壳体和均设置在壳体内部的基片移载机构、夹具移载机构、出料机构、上料机构、基片识别机构、方圆识别机构、机械手、承接机构、方形基片存放架、圆形基片存放架；上料机构，基片识别机构，用于识别夹具形状的方圆识别机构，用于夹取夹具的机械手，用于装载夹具的承接机构，用于存放方形基片的方形基片存放架，用于存放圆形基片的圆形基片存放架依次布置；基片移载机构和夹具移载机构均位于承接机构的上方，壳体上设有入料口和出料口，上料机构位于入料口处，出料机构位于出料口处。封闭式的上下片系统能实现基片的自动装夹和卸载，属于基片上下片的技术领域。
一种用于镀膜封闭式下片系统

[实用新型]一种用于镀膜机的封闭式上下片系统-CN201721311629.3有效
发明人：朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 -专利权人：肇庆兆达光电科技有限公司
申请日： 2017-10-11 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于镀膜机的封闭式上下片系统，包括壳体和均设置在壳体内部的基片移载机构、夹具移载机构、出料机构、上料机构、基片识别机构、方圆识别机构、机械手、承接机构、方形基片存放架、圆形基片存放架；上料机构，基片识别机构，用于识别夹具形状的方圆识别机构，用于夹取夹具的机械手，用于装载夹具的承接机构，用于存放方形基片的方形基片存放架，用于存放圆形基片的圆形基片存放架依次布置且均位于基片移载机构和夹具移载机构的下方；壳体上设有入料口和出料口，上料机构位于入料口处，出料机构位于出料口处。封闭式的上下片系统能实现基片的自动装夹和卸载，属于基片上下片的技术领域。
夹具移载机构存放架方形基片上料机构圆形基片片系统机械手承接机构出料机构基片识别出料口镀膜机入料口壳体本实用新型夹具形状壳体内部依次布置夹取卸载装载

[发明专利]接线盒自动贴片生产的基片上料装置-CN201510889758.X在审
发明人：袁永健 -专利权人：苏州索力旺新能源科技有限公司
申请日： 2015-12-07 - 公布日： 2016-03-23 - 主分类号： B65G47/06 文献下载
摘要：本发明提供一种接线盒自动贴片生产的基片上料装置，包括工作台、设置在工作台上、且用于上下单片式层叠放置所述基片的储料工装，其特征在于：所述储料工装的底部设有插拔式挡料板，拔动所述挡料板能够使得基片下落离开所述储料工装，其还包括用于承接下落基片的升降工装，所述升降工装设置在工作台上，位于所述升降工装下方的设有一基片输送线。本发明的基片上料装置，通过设置储料工装、升降工装和基片输送线完成接线盒贴片生产的基片自动上料，具有结构简单，使用方便，工装一次性储料多、上料快的特点，使用后能够大大提高接线盒自动贴片上产的效率和质量。
接线自动生产基片上料装置

[实用新型]接线盒自动贴片生产的基片上料装置-CN201521003788.8有效
发明人：袁永健 -专利权人：苏州索力旺新能源科技有限公司
申请日： 2015-12-07 - 公布日： 2016-06-01 - 主分类号： B65G47/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种接线盒自动贴片生产的基片上料装置，包括工作台、设置在工作台上、且用于上下单片式层叠放置所述基片的储料工装，其特征在于：所述储料工装的底部设有插拔式挡料板，拔动所述挡料板能够使得基片下落离开所述储料工装，其还包括用于承接下落基片的升降工装，所述升降工装设置在工作台上，位于所述升降工装下方的设有一基片输送线。本实用新型的基片上料装置，通过设置储料工装、升降工装和基片输送线完成接线盒贴片生产的基片自动上料，具有结构简单，使用方便，工装一次性储料多、上料快的特点，使用后能够大大提高接线盒自动贴片上产的效率和质量
接线自动生产基片上料装置

[发明专利]预烧结半导体芯片结构-CN201310317704.7有效
发明人：罗兰·施佩克尔斯;拉尔斯·伯文;尼古拉斯·霍伊克;尼尔斯·厄施勒 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2013-07-25 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： H01L23/13 文献下载
摘要：将半导体芯片和干烧结料抵压在基片上形成一种烧结连接，所述干烧结料位于基片和半导体芯片之间，该干烧结料具有烧结颗粒和溶剂。在半导体芯片被压在基片上时，将基片加热至低于干烧结料的烧结温度，以在相邻烧结颗粒间形成局部烧结连接。局部烧结连接在烧结之前共同提供将半导体芯片固定至基片上的固定接合。在形成固定接合后，由干烧结料形成在半导体芯片与基片间的烧结连接。
烧结半导体芯片结构

[发明专利]用于制造微流体器件的方法及其形成的器件-CN200780050655.8有效
发明人： R·唐古 -专利权人：康宁股份有限公司
申请日： 2007-11-26 - 公布日： 2010-01-27 - 主分类号： B81C3/00 文献下载
摘要：一种制造微流体器件的方法，包括提供第一和第二基片，和在第一基片上形成第一玻璃料结构，和在第二基片上形成第二玻璃料结构，和将第一和第二基片一起固化，此时玻璃料结构相对，在所述第一和第二基片间形成固化玻璃料界定的和固化玻璃料环绕的通道，其中第二基片具有至少一个预先形成的通孔，并且形成第二玻璃料结构包括在所述通孔中形成以足够薄的厚度覆盖通孔内表面的玻璃料层，从而在将基片与第一和第二玻璃料结构一起固化时，产生固化玻璃料内表面与环绕通道的固化玻璃料连续的通孔
用于制造流体器件方法及其形成

[发明专利]一种基片传输方法和系统-CN201310129916.2有效
发明人：赵海洋 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2013-04-15 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种基片传输方法和系统，以解决目前的技术在载板上未摆满电池片时工作效率低下的问题。方法包括当基片从上料台传输到载板时，获取载板上需要放置基片的位置，载板为M行×N列的载板；根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片，所述龙门架为M行×1列的龙门架；从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需要放置基片的位置；判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未放置基片的位置，若存在，则返回根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片的步骤本发明实施例提高了基片从上料台传输到载板以及从载板传输到下料台时的效率。
一种传输方法系统

[发明专利]一种偏光片贴附方法和偏光片贴附设备-CN201110234730.4无效
发明人：高军鹏 -专利权人：深圳市易天自动化设备有限公司
申请日： 2011-08-16 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： G02F1/1333 文献下载
摘要：本发明实施例方法包括：上料机构从料架上取出玻璃基片；上料机构将玻璃基片搬送至第一贴片机构；第一贴片机构将第一偏光片贴附在玻璃基片的第一平面上；第一贴片机构将玻璃基片搬送至翻转机构；翻转机构对玻璃基片的第一平面和第二平面进行平面翻转；翻转机构将玻璃基片搬送至第二贴片机构；第二贴片机构将第二偏光片贴附在玻璃基片的第二平面上；第二贴片机构将玻璃基片搬送至出料机构，出料机构将所述玻璃基片搬送至出料口。
一种偏光片贴附方法设备

[实用新型]一种双基片夹紧机构-CN202022079131.7有效
发明人：刘洋;刘付尤;蒋军华 -专利权人：桃子机器人（深圳）股份有限公司
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： B05C3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双基片夹紧机构，涉及基片夹紧技术领域，解决了强度高、效率低和质量差的问题，一种双基片夹紧机构包括夹紧固定板、第一活动夹紧板和第二活动夹紧板，首先将第一钢基片上料，所述第一夹紧气缸缩回夹紧第一钢基片，然后将第二钢基片上料，所述第二夹紧气缸缩回夹紧第二钢基片，上料完成后开始涂覆，涂覆完成后，第二夹紧气缸伸出松开第二钢基片，下料，然后第一夹紧气缸伸出松开第一钢基片，下料，重复上述动作，具有强度低、效率高和质量好的优点
一种双基片夹紧机构

[实用新型]便于握持的料带连接装置-CN200420083386.9无效
发明人：田健;田鹏 -专利权人：田健;田鹏
申请日： 2004-08-24 - 公布日： 2005-10-05 - 主分类号： B65H21/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种便于握持的料带连接装置，主要适用于电子元件自动贴片料带的连接，包括基片(1)和设在基片(1)一端的铜扣(2)，在铜扣上设有与料带定位孔配合的限位孔(3)，其特征在于，在基片(1)上与限位孔(3)对应的位置设有凸刺(7)，所述凸刺(7)和限位孔配合将铜扣固定在基片(4)上。与现有技术相比，本实用新型便于握持的料带连接装置，通过基片上的凸刺将铜扣固定在基片上，避免铜扣粘有粘性物质，从而克服粘性物质对贴片工艺的影响。
便于连接装置

[发明专利]光学器件和熔融封接剂-CN98807676.4无效
发明人： D·布克班德;J·卡伯里;S·德马雷蒂诺;G·弗朗西斯;S·格莱泽曼;R·莫伦娜;B·韦丁 -专利权人：康宁股份有限公司
申请日： 1998-07-28 - 公布日： 2001-02-07 - 主分类号： G02B6/00 文献下载
摘要：所述器件(20)包含基片(22)和光波导(24)元件,所述光波导元件通过形成并固定在基片中凹空隙内的玻璃料熔融封接剂(34)固定在基片上。所述玻璃料熔融封接剂是低熔点玻璃料的熔融产物。基片中的凹空隙包括接受光波导元件(24)的区域和固定玻璃料熔融封接剂(34)的交叉区域。光波导元件(24)固定在基片上,以控制该元件随温度变化的光学性能。
光学器件熔融封接剂

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