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- [实用新型]一种双工位点胶贴合机-CN201921169145.9有效
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杨坤;苏山;邵伯乐;顾强;龙怀玉
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昆山希盟自动化科技有限公司
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2019-07-24
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2020-06-05
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B05C5/02
- 本实用新型涉及贴合机技术领域，公开了一种双工位点胶贴合机，其包括上点胶机构、下点胶机构和两个装载贴合机构。装载贴合机构包括上基板装载组件和位于下基板装载组件上方的下基板装载组件。上点胶机构对上基板装载组件上的上基板点胶。下点胶机构对下基板装载组件上的下基板点胶。上基板装载组件做翻转运动使其装载上基板的一侧正对或背对下基板装载组件，且其能做下降运动以扣合于下基板装载组件。下基板装载组件能做抬升运动，以使下基板与上基板贴合。本实用新型的有益效果为通过上点胶机构完成对上基板的点胶，下点胶机构完成对下基板的点胶，将上基板和下基板的点胶贴合处理集中到一台双工位点胶贴合机，提高了加工效率。
- 一种双工位点胶贴合
- [发明专利]曝光装置及曝光方法-CN200710086891.7有效
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宫下正弘;富樫工
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日本精工株式会社
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2007-04-02
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2007-10-31
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G03F7/20
- 提供了能有效地向2个基板装载台供给基板并能缩短制造曝光转印基板的生产节拍时间的曝光装置及曝光方法。曝光装置PE包括掩模装载台(10)、可相对于掩模装载台(10)相对移动的2个基板装载台(11、12)、预对准单元(14)、相对于预对准单元(14)而对置地配置的2个基板装载机(15、16)。在使其中一个基板装载台(11)从待机位置WP1移动到曝光位置EP并在基板W上曝光转印掩模图案期间，使另一基板装载台(12)从曝光位置EP移动到待机位置WP2，之后排出已曝光转印的基板W，由基板装载机(16)将已预对准的基板W搬运到另一基板装载台(12)，并且由基板装载机将基板W搬运到预对准单元(14)。
- 曝光装置方法
- [发明专利]基板处理系统及基板处理系统的卸载互锁模块-CN201010560301.1有效
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朴海允
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IPS株式会社
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2010-11-18
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2011-07-06
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H01L21/00
- 本发明涉及基板处理系统，尤其涉及在基板表面进行处理的基板处理系统及基板处理系统的卸载互锁模块。所述基板处理系统包括：基板交换模块，用于对托盘上完成处理的基板进行卸载，并对将要进行基板处理的基板进行装载；装载互锁模块，用于从所述基板交换模块接收装载有将进行基板处理的基板的托盘；施工模块，用于从所述装载互锁模块接收装载有基板的托盘，并对装载于托盘上的基板进行基板处理；卸载互锁模块，用于从所述施工模块接收装载有完成处理了的基板的托盘，并将所述托盘向上侧方向及下侧方向中至少一个方向进行移动以使其向所述基板交换模块传送；托盘反馈模块，从所述卸载互锁模块接收装载有基板的托盘，并向所述基板交换模块进行传送。
- 处理系统卸载互锁模块
- [发明专利]划片设备-CN201610887336.3有效
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崔汉铉;河完龙;金学成;金孝珍;马硕贤;金欣
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塔工程有限公司
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2016-10-11
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2021-07-06
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C03B33/033
- 提供根据本发明的示例性实施例的一种划片设备，用以减少运送基板和调整基板的位置所需的时间和空间，该划片设备可以包括：基板支撑单元，其支撑由基板供应单元供应的基板；装载台，其设置在基板支撑单元之下；划片单元，其设置在装载台的一侧并在基板上形成划片线；以及基板运送单元，其将放置在装载台上的基板运送到划片单元；以及基板传递单元，其将基板从基板支撑单元传递到装载台，其中基板支撑单元形成供基板穿过的开口，以便基板传递单元通过该开口将基板传递到装载台，且基板传递单元包括位置调整单元，该位置调整单元在基板传递单元将基板传递到装载台的同时调整基板的位置，使得基板的位置与基板将被定位在装载台上的准确位置一致。
- 划片设备
- [实用新型]一种拼接式曲面基板装载治具-CN202123098686.7有效
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马淑莹
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光驰科技（上海）有限公司
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2021-12-10
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2023-05-16
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C23C14/50
- 本实用新型涉及基板装载治具技术领域，公开了一种拼接式曲面基板装载治具。拼接式曲面基板装载治具包括若干个拼接件，若干个拼接件中的多个拼接件相互拼接以形成拼接式曲面基板装载治具，拼接式曲面基板装载治具的曲面结构与曲面基板的曲面结构相匹配，且若干个拼接件由通过沿第一方向切割一个曲面基板装载载具形成，第一方向为曲面基板装载载具的曲面延伸方向。通过拼接的方式达到对不同类型的曲面基板进行固定的目的，使其通用性较强；以此方式，只需要加工一个曲面基板装载载具，再对其进行切割并拼接，就能够形成多个不同曲面结构的拼接式曲面基板装载治具；不需要再加工数量较多的曲面基板装载载具
- 一种拼接曲面装载
- [实用新型]自动上料装置-CN201922423439.6有效
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吉征雷;胥益;杨超;邓敏;李江;周红梅
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成都集佳科技有限公司
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2019-12-27
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2020-09-18
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H01L21/677
- 本实用新型公开了一种自动上料装置，包括：料盒，用于装载基板装载夹具；输送装置，位于料盒的一侧，用于输送基板装载夹具，输送装置上设置有上料位置；推动机构，位于料盒的一侧，用于将基板装载夹具推送至输送装置上；基板载具，位于输送装置的一侧，用于装载基板；抓取装置，位于基板载具的一侧，用于抓取基板，并将基板运送至上料位置；以及废料放置装置，位于所述输送装置的一侧，用于放置所述基板的不良品，其中，所述基板在所述上料位置装载至所述基板装载夹具中本实用新型能够实现基板和基板装载夹具的自动装夹，实现自动上料，能够避免人工操作对基板的损坏，提高了生产效率和产品合格率。
- 自动装置
- [实用新型]一种基板装载治具及镀膜装置-CN202220948059.3有效
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杨启忠;戴晓东;马淑莹;卢鹏
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光驰科技（上海）有限公司
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2022-04-22
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2022-08-30
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C23C14/50
- 本实用新型涉及薄膜制备技术领域，公开一种基板装载治具及镀膜装置。其中基板装载治具包括母装载台和子装载台，子装载台包括边框和设置于边框上的放置面，边框置于母装载台上，边框与母装载台可拆卸连接，放置面设置有预设曲度，放置面用于承载与其曲度适配的基板。本实用新型子装载台的放置面设置有预设曲度，用于放置与其曲度适配的基板，进而用于对具有预设曲度的基板的镀膜，而不会改变靶基距，也不会对镀膜的工艺造成影响；子装载台的边框与母装载台可拆卸连接，通过在母装载台更换具有不同预设曲度的子装载台，实现一个母装载台对不同曲度的基板的兼容装载，更大化的利用了母装载台的价值，有效地节省了基板装载治具的成本。
- 一种装载镀膜装置
- [发明专利]一种多连基板自动焊锡装置-CN201510257617.6有效
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高满玉
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富士施乐高科技（深圳）有限公司
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2015-05-20
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2017-05-31
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B23K3/00
- 本发明涉及一种多连基板自动焊锡装置，所述基板装载单元包括多个基板装载位置,所述驱动单元设置在所述基板装载单元下部，多连基板中的一个基板焊锡完成后，所述第二驱动模块驱动所述基板装载单元移动，所述第二感应模块感应所述基板装载单元上多连基板中下一个基板的位置，所述第二感应模块确定所述基板装载单元上的下一个基板到位后，所述焊锡单元对多连基板中下一个基板进行焊锡，周而复始，直到完成所有所述基板装载单元上基板的焊锡。本发明由于采用设备自动化作业，实现了对多连基板的自动焊锡，确保焊锡品质，消除了多连基板焊锡中欠品、连锡、上锡不良等等，大大缩短了焊锡时间，以及取消焊锡过程中使用的高温胶纸降低了成本。
- 一种多连基板自动焊锡装置
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