专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体器件的制备方法-CN202011451010.9在审
  • 孟凡顺;陈耀祖;陈忠奎;易芳;舒思桅 - 广州粤芯半导体技术有限公司
  • 2020-12-09 - 2021-03-26 - H01L21/768
  • 本发明提供一种半导体器件的制备方法,所述方法包括:提供一衬底,所述衬底上形成有金属层。在所述金属层上形成图案光刻胶层。通入碳氢化合物气体,以在所述图案光刻胶层表面形成一钝化层。以图案光刻胶层和所述钝化层为掩模,刻蚀所述金属层,以形成金属线。因此,本发明通过通入碳氢化合物气体,使得图案光刻胶层与之反应而产生钝化层。在钝化层的保护下,提高金属层相对于图案光刻胶层的刻蚀选择比,则在相同的刻蚀条件下,完成刻蚀金属层后,图案光刻胶层仅被消耗一小部分,从而能够保证金属层的顶端不被削圆或削尖。故本发明不仅能够保证金属层顶部的平坦形貌,还无需增加光刻胶层的厚度,符合更小关键尺寸的设计要求。
  • 半导体器件制备方法
  • [发明专利]元件内埋式半导体封装件的制作方法-CN201210193779.4有效
  • 藤川治;孙奇;杨中贤;杨伟雄 - 健鼎(无锡)电子有限公司
  • 2012-06-13 - 2014-01-01 - H01L21/56
  • 提供金属基板。形成一金属层于金属基板上,其中金属层包覆金属基板。金属层具有彼此相对的上表面与下表面及连接上表面与下表面的第一侧表面。形成图案光致抗蚀剂层于金属层上,其中图案光致抗蚀剂层暴露出部分上表面与部分下表面。形成多个接垫于图案光致抗蚀剂层所暴露出的金属层的上表面及下表面上,且图案光致抗蚀剂层包覆各接垫的第二侧表面。移除图案光致抗蚀剂层,以暴露出接垫的第二侧表面。设置多个电子元件于接垫上。压合一绝缘层于金属层上,且绝缘层覆盖电子元件、接垫及部分金属层。
  • 元件内埋式半导体封装制作方法
  • [发明专利]封装结构及其制作方法-CN201510437673.8有效
  • 潘玉堂;邱士峯 - 南茂科技股份有限公司
  • 2015-07-23 - 2019-03-05 - H01L23/498
  • 基板包括核心层、防焊层、第一及第二图案金属层。核心层包括相对的第一及第二表面。第一及第二图案金属层分别设置于第一及第二表面。第二图案金属层包括多个焊垫及金属垫。焊垫具有第一厚度,金属垫的最大厚度大于第一厚度。防焊层覆盖第二表面且局部暴露出焊垫与金属垫。防焊层的最大厚度与金属垫的最大厚度相等。芯片设置于第一表面并电性连接第一图案金属层。金属垫在第二表面上的分布范围与芯片在第二表面的正投影重叠。封装胶体设置在第一表面上并覆盖芯片及第一图案金属层。本发明可有效提高封装结构的结构可靠度以及制程的良率。
  • 封装结构及其制作方法
  • [发明专利]金属表面图案的方法及其结构-CN200910221943.6无效
  • 萧钦群 - 滨川企业股份有限公司
  • 2009-11-23 - 2011-05-25 - C25D11/00
  • 本发明提供一种金属表面图案的方法,其包含先以一化学或物理处理清洗金属基材,再对金属基材进行抛光处理。接着,对金属基材进行一阳极氧化处理以形成一多孔氧化膜于金属基材表面,其中多孔氧化膜具有孔径介于20纳米至400纳米之间的多个孔洞。再提供一图案层以印刷方式让油墨粒子吸附于多孔氧化膜的孔洞中,其中油墨粒子的粒径介于10纳米至300纳米之间。最后进行封孔处理以形成一连续覆盖于多孔氧化膜表面的封孔层。
  • 金属表面图案方法及其结构

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