专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]图案形成方法和图案形成设备-CN200710108780.1有效
  • 奥岛真吾;关淳一 - 佳能株式会社
  • 2007-05-31 - 2007-12-05 - G03F7/00
  • 一种通过使用给模子设置的压印图案在基板上的图案形成材料上形成图案图案形成方法由下述步骤构成:制备在其上具有图案形成区域的基板;将处于未固化状态的所述图案形成材料在不同间距的多个位置上按分散状态设置在所述图案形成区域中;以及在所述图案形成材料变形为与给所述模子设置的所述压印图案的形状相对应的形状的状态下,固化所述图案形成材料。
  • 图案形成方法设备
  • [发明专利]图案形成方法和图案形成装置-CN200610080940.1有效
  • 金桢吉;李文九;李锡原;朴正宇;赵成训 - 三星电子株式会社
  • 2006-05-23 - 2007-05-30 - B41M5/26
  • 本发明涉及一种图案形成方法和图案形成装置。依据本发明所提供的图案形成方法包含步骤:将图案形成对象安放到安放部;通过对软模的背面施加压力使所述软模的中央部分向所述图案形成对象突出;从所述中央部分开始将所述软模紧贴到所述图案形成对象;在所述软模与所述图案形成对象紧贴的状态下,将所述软模的图案转印到所述图案形成对象上;分离所述软模与所述图案形成对象。由此得到可以以低成本形成高品质图案图案形成方法。
  • 图案形成方法装置
  • [发明专利]图案的制作方法和图案布局-CN202011312283.5有效
  • 张钦福;冯立伟;童宇诚 - 福建省晋华集成电路有限公司
  • 2020-11-20 - 2022-04-19 - H01L23/498
  • 本申请提供了一种图案的制作方法和图案布局,该方法包括:在基底上形成预图案,预图案包括多个沿第一方向间隔排列的预结构,预结构包括环形结构、第一焊盘结构和第二焊盘结构,环形结构包括首尾依次连接的第一竖直部、第一水平部、第二竖直部和第二水平部,其中,第一水平部和第一焊盘结构接触,第二水平部和第二焊盘结构接触;对预图案进行刻蚀,去掉环形结构的第一部分和第二部分,使得预结构形成间隔结构,间隔结构包括互不相连的第一导线和第二导线
  • 图案制作方法布局
  • [发明专利]图案测量装置及图案测量方法-CN201780094300.2有效
  • 山本琢磨;太田洋也;谷本宪史;安部悠介;田盛友浩;野尻正明 - 株式会社日立高新技术
  • 2017-10-13 - 2022-10-25 - G01B15/00
  • 提供一种图案测量装置,具备运算装置,该运算装置基于由带电粒子束装置得到的信号,对形成在试料上的图案的尺寸进行测定,所述运算装置具有:位置偏移量算出部,其根据以任意的射束倾转角获取到的图像,算出不同高度的两个图案之间的与晶片表面平行的方向的位置偏移量;图案倾斜量算出部,其通过预先求出的所述位置偏移量与所述图案的倾斜量的关系式,根据所述位置偏移量来算出所述图案的倾斜量;以及射束倾转控制量算出部,其控制射束倾转角,使得与所述图案的倾斜量一致,设定为算出的射束倾转角,再次获取图像而进行图案的测量。
  • 图案测量装置测量方法
  • [发明专利]图案形成装置及图案形成方法-CN201110302788.8无效
  • 真田雅和;岩岛正信;古市考次 - 大日本网屏制造株式会社
  • 2011-09-28 - 2012-09-26 - H01L31/18
  • 本发明提供一种在基板上涂敷涂敷液来形成规定的图案图案形成技术中高效地在不规则形状基板上形成图案的技术。具有:第一嘴(52),沿着与对基板进行扫描的扫描移动方向垂直的方向(Y方向),列状地排列有喷出涂敷液的喷嘴(523);第二嘴(72),具有能够通过滚珠螺杆机构(740)改变Y方向位置的一对喷嘴(723通过从第一嘴(52)喷出涂敷液,形成相互平行且长度相同的多个图案,另一方面,通过在与利用第一嘴(52)形成图案的时刻相独立的时刻被控制而进行涂敷的第二嘴(72),来形成长度与该图案的长度不同的图案
  • 图案形成装置方法

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