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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]图案产生系统-CN201080049362.X有效
发明人： J.瓦尔瑟;T.海德瓦恩 -专利权人：麦克罗尼克迈达塔有限责任公司
申请日： 2010-09-01 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种图案产生系统包括光学系统(106)和转子(100)。光学系统(106)构造成将激光图像投射至光学扫描器(104)上。激光图像顺序被光学扫描器(104)反射至转子(100)的多个光学臂(102)中的每个光学臂内以在工件上产生图案。
图案产生系统

[发明专利]图案产生方法-CN200480004777.X无效
发明人：彼得·埃克伯格;约翰－奥斯卡·拉森 -专利权人：麦克罗尼克激光系统公司
申请日： 2004-02-20 - 公布日： 2006-03-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种通过将至少一个激光束聚焦到对激光束的波长感光的大面积工件而曝光所述高精度图案的方法，包括步骤：提供至少一个描述图案中的几何元素的数据库；利用可移动滑架上的光学头，将至少一个激光束在第一方向(y)偏转并聚焦于工件表面根据数据库中的数据来调制至少一个激光束的光功率；在第一方向(y)上，相对工件步进移动包括可移动滑架的导轨；在大致垂直第一方向(y)的第二方向(x)，相对工件连续移动包括光学头的滑架；保持工件位置固定而曝光高精度大面积图案本发明还涉及对大面积工件构图的装置。
图案产生方法

[发明专利]图案产生设备、图像形成设备、和图案产生方法-CN201110303258.5在审
发明人：京岛仁树 -专利权人：富士施乐株式会社
申请日： 2011-09-30 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G06F3/12 文献下载
摘要：本发明提供了图案产生设备、图像形成设备、和图案产生方法。图案产生设备包括设置单元、识别单元和产生单元。设置单元在记录介质上设置图案区域。识别单元在具有预定尺寸的平面中对图案区域的位置进行识别，该图案区域以该图案区域中的指定位置处于或基本处于该平面的中心处的方式布置在该平面中。产生单元产生其中编码了所识别的位置的图案。
图案产生设备图像形成方法

[发明专利]用于产生图案形成装置且因此产生图案的系统、产品和方法-CN202180039450.X在审
发明人：胡九宁;叶骏;卢彦文 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-05-07 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本文中描述了一种用于改进图案形成装置的设计的方法。所述方法包括：(i)获得掩模特征的设计的掩模点，其中，所述掩模特征对应于待印刷于衬底上的目标图案中的目标特征；以及(ii)调整所述掩模点的位置，以基于被调整的掩模点产生所述掩模特征的被修改的设计。
用于产生图案形成装置因此系统产品方法

[发明专利]图案产生装置及其制造方法-CN201810575424.9在审
发明人：李元裕 -专利权人：扬明光学股份有限公司
申请日： 2018-06-06 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： G02F1/1334 文献下载
摘要：一种图案产生装置，包括光源、第一全像聚合物分散液晶组件、第二全像聚合物分散液晶组件和电源供应器。第一全像聚合物分散液晶组件，位于光源的光路下游，第一全像聚合物分散液晶组件设有第一相位信息的图案。第二全像聚合物分散液晶组件，位于第一全像聚合物分散液晶组件的光路下游，第二全像聚合物分散液晶组件设有第二相位信息的图案。电源供应器分别与第一全像聚合物分散液晶组件和第二全像聚合物分散液晶组件电性连接。本发明另提出一种图案产生装置的制造方法。
聚合物分散液晶图案产生装置电源供应器相位信息光路光源图案组件电性制造

[发明专利]图案产生装置及其制造方法-CN201810574917.0在审
发明人：李元裕;许雅伶 -专利权人：扬明光学股份有限公司
申请日： 2018-06-06 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： G02F1/1334 文献下载
摘要：一种图案产生装置，包括光源、第一全像聚合物分散液晶组件、第二全像聚合物分散液晶组件和电源供应器。第一全像聚合物分散液晶组件，位于光源的光路下游，第一全像聚合物分散液晶组件设有第一相位信息的图案。第二全像聚合物分散液晶组件，位于第一全像聚合物分散液晶组件的光路下游，第二全像聚合物分散液晶组件设有一定义光栅的图案。电源供应器分别与第一全像聚合物分散液晶组件和第二全像聚合物分散液晶组件电性连接。本发明另提出一种图案产生装置的制造方法。
聚合物分散液晶图案产生装置电源供应器光路光源图案光栅相位信息组件电性制造

[发明专利]图案产生装置及其制造方法-CN202310300383.3在审
发明人：李元裕 -专利权人：扬明光学股份有限公司
申请日： 2018-06-06 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G02F1/1334 文献下载
摘要：本发明公开了一种图案产生装置，包括光源、第一全像聚合物分散液晶组件、第二全像聚合物分散液晶组件和电源供应器。第一全像聚合物分散液晶组件，位于光源的光路下游，第一全像聚合物分散液晶组件设有第一相位信息的图案。第二全像聚合物分散液晶组件，位于第一全像聚合物分散液晶组件的光路下游，第二全像聚合物分散液晶组件设有第二相位信息的图案。电源供应器分别与第一全像聚合物分散液晶组件和第二全像聚合物分散液晶组件电性连接。本发明另提出一种图案产生装置的制造方法。
图案产生装置及其制造方法

[发明专利]产生掩模图案的方法-CN201711237662.0在审
发明人：王琮瑜;郑年富;江嘉评;池明辉;黄文俊;高蔡胜 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： G03F1/76 文献下载
摘要：本发明实施例提供产生心轴图案的方法。通过建构边框，启动多个前导心轴，以及将前导心轴延伸横跨边框，以产生心轴图案。当图案区域包含孔洞时，在延伸前导心轴之后，从前述孔洞中移除心轴的一部分。本发明实施例的方法可以提升在10nm节点及5nm节点制造中产生掩模的品质及效率。
心轴前导边框孔洞图案图案区域掩模图案延伸建构掩模移除横跨制造

[发明专利]产生布局图案的方法-CN201911056900.7在审
发明人：骆文;张世明 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：一种产生布图案的方法，包括当在由带电粒子束直接地曝露在能量敏感的材料上的布局图案的一或多个特征时，决定第一能量密度，第一能量密度间接地曝露在能量敏感的材料上的布局图案的一或多个特征中的第一特征。
产生布局图案方法

[发明专利]产生布局图案的方法-CN201510118314.6有效
发明人：王函隽;张登耀;林金隆;汤志贤;范耀仁 -专利权人：联华电子股份有限公司
申请日： 2015-03-18 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G06F30/392 文献下载
摘要：本发明公开一种产生布局图案的方法，其包括下列步骤。提供起始布局，起始布局图案包括多条第一条状图案于第一群组区中，各第一条状图案沿第一方向延伸，且第一条状图案于第二方向上具有相同的节距。产生多条锚点带状图案，各锚点带状图案沿第一方向延伸，且锚点带状图案于第二方向上具有相同的节距。至少一条锚点带状图案于第二方向上的两边缘分别与两条相邻的第一条状图案的边缘对齐。至少一条锚点带状图案与两条相邻的第一条状图案之间的第一间隔重叠。在与锚点带状图案重叠的第一间隔处产生第一轴心图案，并将第一轴心图案输出至光掩模。
产生布局图案方法

[发明专利]产生保密图案的方法-CN95116090.7无效
发明人：盖·兰;马泰斯·洛朗 -专利权人：吉奥里街股份有限公司
申请日： 1995-11-01 - 公布日： 2002-07-17 - 主分类号： G06T1/00 文献下载
摘要：借助计算机产生平行的网格线条。线的宽度对两相邻线间距的比值等于r0。线条的间距和宽度可连续变化，使它们的比值等于r0。随后，可以把这样选择的直线变成不同样式的线条，或笔划的宽度可改变，以此复制几何图案或艺术图案。
产生保密图案方法

[发明专利]产生衍射图案的生物传感装置-CN97181803.7有效
发明人： D·S·埃韦哈特;R·M·凯勒;M·格鲁泽;F·K·D·莫哈特 -专利权人：金伯利－克拉克环球有限公司
申请日： 1997-12-17 - 公布日： 2004-09-08 - 主分类号： G01N21/47 文献下载
摘要：本发明提供了用于检测和量化介质中的分析物的廉价而灵敏的装置和方法。所述装置包括金属化的薄膜，该薄膜上印有分析物特异性受体的特异性的、预定的图案。通过使靶分析物与印有受体的塑料薄膜的选定区域结合，由分析物的物理大小和确定的精确位置产生透射和/或反射光的衍射。所产生的衍射图案可被眼睛或任选地被感受装置容易地看到。
产生衍射图案生物传感装置

[发明专利]用于产生图案化照明的装置-CN201680018810.7有效
发明人： M·罗西;H·P·赫齐希;P·米勒;A·纳奎维;D·因方特戈麦斯;M·多尔恩;M·格洛尔;A·亚桑;H·拉德曼;M·L·巴里曼;M-L·E·布瓦塔尔;B·哈雷拉;D·P·卡雷罗;J·布卡特;H·维克瑞克 -专利权人：新加坡恒立私人有限公司
申请日： 2016-01-26 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：一种用于产生结构光的装置包括第一光学构件，所述第一光学构件包括微透镜阵列(L1)以及用于照射所述微透镜阵列的照明单元，所述微透镜阵列(L1)包括以透镜间距P规则地布置的多个反射或透射的微透镜(2)。可产生高对比度的高强度光图案。包括这种装置的设备可被用于深度映射。
用于产生图案照明装置

[发明专利]用于在片段边界处产生图案形成装置图案的方法-CN201980086926.8在审
发明人：张权;赵勇柱;朱漳楠;黄博扬;陈炳德 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2019-11-18 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本文描述一种方法，所述方法用于产生待用于图案化过程中的掩模图案。所述方法包括：(P301)获得(i)第一特征片段和(ii)第二特征片段，所述第一特征片段包括初始掩模图案的第一多边形部分，所述第二特征片段(P302)包括所述初始掩模图案的第二多边形部分；(P303)调整位于所述第一特征片段与所述第二构件片段之间的片段边界处的所述第二多边形部分，使得所述第一多边形部分与所述第二多边形部分之间在所述片段边界处的差减小；以及(P305)在所述片段边界处组合所述第一多边形部分与调整后的第二多边形部分，以形成所述掩模图案(330)。
用于片段边界产生图案形成装置方法

[发明专利]用于产生图案图像的方法和装置-CN200610093265.6无效
发明人：李承勉 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2006-06-23 - 公布日： 2006-12-27 - 主分类号： H04N1/387 文献下载
摘要：一种用于产生图案图像的方法，所述方法包括：输入第一单元图案的图案ID和缩放比；读取对应于该图案ID的所存储的图案属性；计算和存储指示第二单元图案的缩放图案属性，该第二单元图案是通过按照该缩放比缩放该第一单元图案而获得的；并且按照缩放图案属性来将包括该第二单元图案的第二图案图像绘制到文档的相应区域。
用于产生图案图像方法装置

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