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[发明专利]改善字线多晶硅层研磨后外围电路区域刻蚀残留的方法-CN202310107326.3在审
发明人：杨文广;李志国;徐杰;余鹏;孙建;吴志涛;刘志斌;韩晓虎;汪大贤;江扬帆 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H10B41/42 文献下载
摘要：本申请提供一种改善字线多晶硅层研磨后外围电路区域刻蚀残留的方法，包括：步骤S1，提供一衬底，衬底分为核心区和外围区，衬底上形成有多个闪存栅结构，核心区上形成有多个字线多晶硅；步骤S2，在衬底上形成一牺牲层；步骤S3，在衬底上形成光刻胶层，露出外围区；步骤S4，实施湿法刻蚀，直至露出位于外围区的闪存栅结构中的控制栅；步骤S5，去除光刻胶层；步骤S6，实施干法刻蚀，直至露出位于外围区的闪存栅结构中的栅氧化层先通过湿法刻蚀去除闪存栅结构中表面平整度不均匀的硬掩模层，再通过干法刻蚀去除控制栅、极间介质层和浮栅，不会形成刻蚀残留，确保外围区形成的器件的可靠性。
改善多晶研磨外围电路区域刻蚀残留方法

[发明专利]Ti阻挡层材料化学机械抛光后的表面洁净方法-CN201010232559.9有效
发明人：刘玉岭;王娟;边娜;何彦刚 -专利权人：河北工业大学
申请日： 2010-07-21 - 公布日： 2011-05-04 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种Ti阻挡层材料化学机械抛光后的表面洁净方法，旨在提供一种能够降低Ti阻挡层材料碱性化学机械抛光的后续加工成本，使用方法简单易行，能够提高Ti阻挡层表面质量的方法。配制水溶性表面洁净液：取电阻为18MΩ以上的超纯水边搅拌边加入表面活性剂和FA/O II型螯合剂，搅拌均匀后得pH值为6.5-7.5水溶性表面洁净液；使用洁净液迅速对Ti阻挡层材料采用1000-5000mL/min的大流量在0-0.01大气压的低压力条件下进行抛光清洗；使用稀释后的阻蚀剂溶液迅速对Ti阻挡层材料进行零压力抛光清洗，流量为1000-5000mL/min；用电阻为18MΩ以上的超纯水在零压力、流量为1000-5000mL/min的条件下冲洗Ti阻挡层材料。
ti 阻挡材料化学机械抛光表面洁净方法

[发明专利]一种高压电缆绝缘屏蔽层剥离后的清理装置-CN201410163986.4有效
发明人：李守志;李付栋;王菁;刘振 -专利权人：北方国际合作股份有限公司
申请日： 2014-04-23 - 公布日： 2014-07-16 - 主分类号： H01R43/28 文献下载
摘要：本发明属于机电安装工程领域，具体涉及一种高压电缆绝缘屏蔽层剥离后的清理装置。
一种高压电缆绝缘屏蔽剥离清理装置

[发明专利]采用金属铜合金作为刻蚀阻挡层的铜后道互连工艺-CN201110206422.0有效
发明人：朱骏;张旭昇 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2011-07-22 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明采用金属铜合金作为刻蚀阻挡层的铜后道互连工艺解决了现有技术中由于存在刻蚀阻挡层导致的器件整体电容高，器件速度慢，并容易产生电迁移的问题，利用铜合金取代金属层及以后各层金属的刻蚀阻挡层的铜互连工艺集成方案
采用金属铜合金作为刻蚀阻挡铜后道互连工艺

[发明专利]一种化学机械研磨铜金属互连层后实施的清洗方法-CN201511018593.5有效
发明人：施成;唐强 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2015-12-29 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种化学机械研磨铜金属互连层后实施的清洗方法，包括：将经过所述化学机械研磨铜互连金属层的晶圆送入清洗操作室，用去离子水冲洗；将所述晶圆浸入盛有升温后的去离子水的容器中，持续时间为80秒‑90秒根据本发明，可以显著减少研磨后的化学物质残留，抑制腐蚀现象的发生。
一种化学机械研磨金属互连实施清洗方法

[发明专利]一种激光清洗后基体表面熔融层厚度的调控方法-CN202010860550.6有效
发明人：王思捷;单腾;乔玉林;郭杰;王瑞 -专利权人：中国人民解放军陆军装甲兵学院
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光清洗后基体表面熔融层厚度的调控方法，属于表面激光清洗技术领域。本发明提供的激光清洗后基体表面熔融层厚度的调控方法，包括以下步骤：对位于基体表面的油漆层进行脉冲激光清洗，在基体表面得到熔融层；所述脉冲激光清洗的工作参数包括：激光波长为193～10600nm，激光频率为5～20kHz，脉冲宽度为50～100ns，输出功率为1～20W，脉冲激光发射口与基体表面的直线距离为25～50cm，扫描速度为40～70cm/s；所述熔融层的厚度为10～20μm。本发明提供的调控方法，采用脉冲激光能够实现对于具有油漆表面的基体的高效率、绿色环保的清洗，并实现了清洗后表面熔融层厚度的有效控制，且不会对基体材料的力学性能产生影响，可以大规模应用于工业生产。
一种激光清洗基体表面熔融厚度调控方法

[发明专利]一种预测金属材料表面强化后硬化层深度的方法-CN201911178476.3有效
发明人：王强;任川兮;张哲峰 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G01N3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种预测金属材料表面强化后硬化层深度的方法，属于金属材料性能预测技术领域。该方法主要包括三大部分：求解预测金属材料表面硬化层深度公式中的两个参数，获取金属材料的加工硬化指数，预测金属材料表面强化后的硬化层深度。利用本发明可以快速准确预测金属材料表面强化后硬化层的深度，节省了大量实验时间和费用。基于此发明可以指导金属材料的表面强化设计，对金属材料的疲劳延寿具有重要的科学和工程意义。
一种预测金属材料表面强化硬化深度方法

[发明专利]基于超声图像确定胎儿颈后透明层厚度的方法及相关装置-CN202110689101.4有效
发明人：时俊楠;陈哲;刘芳蕾;王克强;王琦 -专利权人：青岛海信医疗设备股份有限公司
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于超声图像确定胎儿颈后透明层厚度的方法及相关装置。用于计算胎儿颈后透明层的厚度。本申请实施例中，从胎儿超声图像中获取包含颈后透明层区域的图像块；对图像块进行轮廓提取并识别出上透明带的轮廓线和下透明带的轮廓线；将上透明带的轮廓线和下透明带的轮廓线之间的最大间距作为颈后透明层区域的厚度
基于超声图像确定胎儿透明厚度方法相关装置

[发明专利]提高套后储层油水界面监测精度的监测方法及系统-CN202111337518.0有效
发明人：李中;范白涛;郝希宁;许亮斌;李梦博;盛磊祥;殷志明;郭华;王宇;李朝玮 -专利权人：中海石油（中国）有限公司;中海石油（中国）有限公司北京研究中心
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： E21B47/047 文献下载
摘要：本发明涉及一种提高套后储层油水界面监测精度的监测方法及系统，该监测系统包括监测装置、地面处理系统和电缆；所述监测装置，被配置对储层发射信号，并采集监测信号；所述地面处理系统，被配置为对监测信号进行差模抑制、共模抑制，并对共模抑制后的信号进行长时间相干积累，实现储层段油水分界面的识别；所述电缆，被配置为连接所述监测装置以及地面处理系统。本发明能够提高套后储层油水界面监测系统的精度，提高了监测系统的信噪比，消除了监测过程中的背景磁噪声，可以广泛应用于套后储层注水突进前沿、油水界面识别等。
提高套后储层油水界面监测精度方法系统

[发明专利]一种机械扩孔增透后顺层钻孔注水参数优化方法-CN202211154255.4有效
发明人：贺志宏;刘春;刘海东;张文豪;阴永生;张建军;刘应科;康建宏;崔崇斌;李春仁;孙丽荣;周志强;景建鹏;刘文文;查舰;李伟刚 -专利权人：西山煤电（集团）有限责任公司;中国矿业大学
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： E21B43/20 文献下载
摘要：一种机械扩孔增透后顺层钻孔注水参数优化方法，通过常规钻头沿着巷道向煤层钻取若干个顺层抽采钻孔；利用扩孔钻头在顺层抽采钻孔的内部冲击形成多个孔穴空间和破碎松动圈；对顺层抽采钻孔进行封堵，再连接瓦斯抽采管路进行瓦斯的抽采；当工作面回采靠近顺层钻孔时，将孔径测量仪探头和位移传感器沿着顺层抽采钻孔匀速向前推进，以对各个扩孔孔穴的孔径和对应的孔深位置进行实时同步监测；对扩孔段进行注水时，提高注水压力和注水时间，对常规钻孔段注水时恢复正常的注水压力和注水时间
一种机械扩孔增透后顺层钻孔注水参数优化方法

[发明专利]一种金属工件热处理后氧化层打磨装置及打磨方法-CN202210680786.0有效
发明人：刘晓初;胡彬;梁忠伟;萧金瑞;邝超鹏;余刁刁;郑佳鹏;张艺腾 -专利权人：广州大学
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： B24B27/033 文献下载
摘要：本发明涉及金属加工技术领域，且公开了一种金属工件热处理后氧化层打磨装置，包括主传动机构，所述主传动机构的下方设置有可被主传动机构驱动进行往复运动的升降机构，主传动机构的侧边设置有用于清洗工件带走热量的冷却机构本发明提供的金属工件热处理后氧化层打磨装置及打磨方法，结构紧凑，便于制造，无需供电，磨砂纸磨损后替换方便，相对于传统打磨方式较为省力，效率较高。
一种金属工件热处理氧化打磨装置方法

[发明专利]清除钨插塞合金化处理后表面形成的氧化层的方法-CN200610028778.9无效
发明人：李阳柏;张传民;文静;林军 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2006-07-10 - 公布日： 2008-01-16 - 主分类号： C23F3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种清除钨插塞合金化处理之后表面形成的氧化层的方法，采用化学机械抛光的方法清除钨插塞表面上形成的氧化物，所述抛光液采用非氧化性研磨料包括气相二氧化硅、胶体二氧化硅、二氧化铈(CeO_{采用本发明提供的方法工艺简单，并且能有效清除钨插塞上的氧化层，同时并不会对钨插塞造成污染和损伤。抛光之后，钨插塞与金属导线之间的接触电阻明显变小。}
清除钨插塞合金处理表面形成氧化方法

[实用新型]一种高压电缆绝缘屏蔽层剥离后的清理装置-CN201420198656.4有效
发明人：李守志;李付栋;王菁;刘振 -专利权人：北方国际合作股份有限公司
申请日： 2014-04-23 - 公布日： 2014-10-29 - 主分类号： H01R43/28 文献下载
摘要：本实用新型属于机电安装工程领域，具体涉及一种高压电缆绝缘屏蔽层剥离后的清理装置。
一种高压电缆绝缘屏蔽剥离清理装置

[实用新型]大容量角管全膜式壁层燃锅炉复合式后拱-CN201721003675.7有效
发明人：何旭;张显涛;韩建国;高玉芬;刁志成;苏哲赢 -专利权人：沈阳军区联勤部工程安装大队
申请日： 2017-08-11 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： F23M5/06 文献下载
摘要：一种大容量角管全膜式壁层燃锅炉复合式后拱，属于热能工程应用技术领域，特别涉及到一种大容量角管全膜式壁层燃锅炉的后拱结构。包括锅炉炉排、前供、后拱，其特征是所述后拱包括后拱前部、后拱膜式壁、外部膜式壁和保温层。本实用新型大大提高了锅炉后拱的整体强度，避免了锅炉运行过程中出现的后拱变形、损坏和燃烧不良等问题，不仅可以保证后拱在锅炉运行过程中的安全可靠性，而且有利于对后拱进行优化设计，能够充分发挥后拱对组织和强化炉内燃烧的重要作用
容量角管全膜式壁层燃锅炉复合式后拱

[实用新型]底板后浇带钢筋保护层控制和防漏浆砼挡台-CN201120204629.X有效
发明人：杜立航;赵方华;刘国辉;邢白成;崔记鲁 -专利权人：中建八局第二建设有限公司
申请日： 2011-06-17 - 公布日： 2012-02-08 - 主分类号： E02D29/16 文献下载
摘要：本实用新型提供一种底板后浇带钢筋保护层控制和防漏浆砼挡台，其结构由挡台模板、混凝土、加强筋和混凝土垫层构成，混凝土垫层的上部固定两排挡台模板，两排挡台模板中间设置加强筋，加强筋与两排挡台模板之间设置混凝土本实用新型的底板后浇带钢筋保护层控制和防漏浆砼挡台和现有技术相比，能够有效避免浇筑底板混凝土时向后浇带漏浆，保证底板下层钢筋保护层厚度准确，提高了工程施工进度，降低了工作人员的工作强度，而且本实用新型还具有设计合理
底板后浇带钢筋保护层控制防漏浆砼挡台

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