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[发明专利]快速清除残余反应气体的金属有机物化学气相沉积反应腔体-CN201010272456.5有效
发明人：甘志银 -专利权人：甘志银
申请日： 2010-09-03 - 公布日： 2012-03-21 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：快速清除残余反应气体的金属有机物化学气相沉积反应腔体，包括：反应腔进气口、反应腔进气管道、上缓冲腔、下缓冲腔、喷淋口、载片台、加热组件、残余气体排放管路、尾气管路、控制阀、缓冲腔压力检测表、真空泵，反应腔进气管道为多路进气管道，载片台的上部设有反应气体喷淋口。反应腔体内设有尾气管路，缓冲腔内设有残余气体排气管路，残余气体排放管路与反应腔的尾气管路通过接头汇合成一条管路与抽除尾气的真空泵相连。本发明的优点是能够在气相沉积反应腔体内快速清除残余气体，利用气相沉积反应腔体的抽气真空泵和部分尾气管路来排放残余气体，使得不同外延层薄膜之间的界面陡峭，提高设备的性能。
快速清除残余反应气体金属有机物化学沉积

[发明专利]聚碳酸酯制造中的设备清洁-CN200680046746.X有效
发明人：汉斯－彼得·布拉克;马滕·A·J·坎普曼;劳勒斯·弗德韦克;丹尼斯·J·P·M·威廉斯 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2006-12-12 - 公布日： 2008-12-24 - 主分类号： C08G64/40 文献下载
摘要：通过引入具有酚类化合物的清洁剂至聚合反应器系统，并使之与其上具有熔体聚合反应之残余反应组分的熔体聚合反应器系统的表面接触，可以清洁其上具有熔体聚合反应之残余反应组分的熔体聚合反应器系统的表面。熔体聚合反应之残余反应组分包括聚碳酸酯低聚物或聚合物或者其降解产物。而且，该清洁剂在足以从表面上充分除去残余反应组分的温度下，保持与表面接触一段时间。
聚碳酸酯制造中的设备清洁

[发明专利]基于晶片的腐蚀以及时间依赖型化学效应-CN201880027813.6有效
发明人：伦纳德·特德斯奇;丹尼尔·T·麦考密克;阿杜托·迪亚兹;本杰明·施瓦兹;谢平韩;畅训·李 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：实施方式也可包括残余化学反应诊断装置。该残余化学反应诊断装置可包括基板及在该基板上形成的残余化学反应传感器。在一实施方式中，该残余化学反应传感器响应于残余化学反应的存在而提供电输出。在一些实施方式中，该残余化学反应传感器包括：第一探针垫，其中多个第一臂自该第一探针垫延伸出来；及第二探针垫，其中多个第二臂自该第二探针垫延伸出来且与所述第一臂相互交叉。
基于晶片腐蚀以及时间依赖化学效应

[发明专利]残余物热转换的方法和装置-CN99107002.X无效
发明人： D·埃德纳;W·卡德鲁波弗斯基;A·埃舍尔勒;W·莫蒂特施卡;T·弗利克;A·施贝尔;L·塞尔勒纳 -专利权人：德国燃料研究所;原料及设备技术股份有限公司
申请日： 1999-05-21 - 公布日： 1999-12-15 - 主分类号： B09B3/00 文献下载
摘要：通过热转换将具有不同粒度的含有能量的可燃残余物转化成固体和废气的方法，该方法是在高于组成所述残余物的成分的熔点的温度下，在大气压力下，通过让残余物与氧气和/或空气反应而实现的，通过输送装置将所述残余物和空气流或氧气流一起送入高温反应器，并让其发生反应，在高温反应器中将所述残余物转化成液态矿渣和气体，将液态矿渣阻拦在位于高温反应器下部的熔池中，该残余物的小颗粒部分在高温反应器的直立的自有空间里主要被转化成矿渣和气体，该残余物的粗颗粒部分主要是在熔池中和熔池上被转化成矿渣和气体，所产生的液态矿渣流过阻拦元件的下部，以及逸出元件的上部，它被连同所产生的气体一起经高温反应器的出口孔排出高温反应器。
残余物转换方法装置

[发明专利]甲苯二异氰酸酯合成的蒸馏残余物的处理-CN99807430.6无效
发明人： H·V·施瓦茨;M·莫勒;M·桑德;E·斯特罗福;R·勒特霍德;B·汉特尔;S·里克特;J·塞里 -专利权人：巴斯福股份公司
申请日： 1999-06-02 - 公布日： 2004-09-08 - 主分类号： C07C263/20 文献下载
摘要：通过蒸馏残余物与水反应处理甲苯二异氰酸酯(TDI)合成的蒸馏残余物的方法，包括在水解产物存在下使TDI蒸馏残余物与水以连续或半连续法在返混式反应器中反应。
甲苯氰酸合成蒸馏残余物处理

[发明专利]氯含量减少的聚链烯烃取代的羧酸组合物-CN02123381.0有效
发明人： G·巴黎尼;S·夏玛;J·R·斯潘瑟;M·T·米诺迪;A·古提莱兹;W·M·戴维斯;R·A·克莱斯特 -专利权人：英菲诺姆国际有限公司
申请日： 2002-06-25 - 公布日： 2003-01-29 - 主分类号： C08F8/10 文献下载
摘要：通过在Δ，E－不饱和羧酸反应剂的存在下，任选此外在磺酸的存在下，加热具有残余氯含量的聚链烯烃取代的羧酸酰化剂，能够减少由聚链烯烃和Δ，E－不饱和羧酸反应剂的氯协助的反应形成的聚链烯烃羧酸酰化剂的残余氯含量通过在聚链烯烃Δ，E－不饱和羧酸反应剂的反应中使用提供双斜叶片的高速混合机能够进一步减少残余氯含量。
含量减少烯烃取代羧酸组合

[发明专利]用于甲醇合成的方法和设备-CN202080040115.7在审
发明人： A·舒尔茨 -专利权人：盖斯康泰克技术有限公司;蒂森克鲁伯工业方案股份公司
申请日： 2020-05-26 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： C07C29/152 文献下载
摘要：本发明涉及一种合成甲醇(1)的方法，其中，将含碳能量载体流(11)进料至合成气反应器配置(13)以获得具有氢气和碳氧化物的合成气流(2)，将合成气流(2)进料至热量回收装置(10)以从合成气流(2)中回收热量，随后进料至合成气压缩机(3)以进行增压，将至少部分已增压的合成气流(2)进料至甲醇反应器配置(4)的第一反应器阶段(21a)以部分转化为甲醇(1)，其中，从甲醇反应器配置(4)获得具有未反应碳氧化物的残余气流(15)，将残余气流(15)进料至循环压缩机(14)以使残余气流(15)增压，将已增压的残余气流(15)进料至甲醇反应器配置(4)以部分转化为甲醇(1)，将来自第一反应器阶段(21a)的未反应残余气体(16a)的回收流(6)进料至氢气回收配置(5)以获得H循环流(7)，H循环流(7)具有来自未反应残余气体(16a)的未反应氢气，H循环流(7)的未反应氢气再次进料至第一反应器阶段(21a)以至少部分转化为甲醇该方法的特征在于，来自H循环流(7)的至少部分未反应氢气的压力升至其再次进料至第一反应器阶段(21a)是通过循环压缩机(14)与未反应的碳氧化物一起升高的。本发明还涉及用于甲醇(1)合成的相应系统。
用于甲醇合成方法设备

[发明专利]酚类产品萃取除杂残余液的回收方法-CN201510088697.7有效
发明人：赵世荣;康义;王广东 -专利权人：哈尔滨市依兰中太化工有限公司
申请日： 2015-02-27 - 公布日： 2018-01-12 - 主分类号： C07D213/00 文献下载
摘要：本发明提供一种酚类产品萃取除杂残余液的回收方法，其特征在于，包括如下步骤(1)将所述残余液放入第一反应罐中，加入中和剂，进行中和反应；(2)将步骤(1)反应后产物静置；(3)分离并收集步骤(2)分层产物本发明提供的酚类产品萃取除杂残余液的回收方法，解决当前此类酚类产品萃取除杂残余液无法利用、难以排放的问题。
类产品萃取残余回收方法

[发明专利]反应腔室及半导体加工设备-CN201811222096.0在审
发明人：徐悦 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-10-19 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供的反应腔室及半导体加工设备，其中，反应腔室包括离子释放单元，离子释放单元用于向反应腔室内输送离子，该离子能够与晶片上残余电荷的电性中和，从而将聚集在晶片上的残余电荷释放，避免在顶针将晶片顶起时，晶片的残余电荷产生局部放电进而导致晶片发生偏移以及响声，以提高工艺稳定性。
反应半导体加工设备

[发明专利]全原油转化成加氢处理的蒸馏物和石油生焦炭的整合沸腾床加氢加工，固定床加氢加工和焦化方法-CN201680042213.8有效
发明人： O·R·考瑟格卢 -专利权人：沙特阿拉伯石油公司
申请日： 2016-07-27 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C10G65/10 文献下载
摘要：在整合的沸腾床和加氢处理器内提供提质全原油进料的系统和方法，其中全原油闪蒸成闪蒸过的直馏蒸馏物馏分和常压残余馏分。在沸腾床反应区内加氢处理常压残余馏分，同时在固定床反应区内加氢处理闪蒸的直馏蒸馏物馏分和从沸腾床反应区中产生的产物馏分。在焦化单元中加工来自沸腾床反应区的未转化残余馏分以生产高品质石油生焦炭。
原油转化加氢处理蒸馏石油焦炭整合沸腾床加工固定床焦化方法

[发明专利]反应室内残余气体的处理方法-CN200710046257.0无效
发明人：赵雪峰;郑树茂 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2007-09-21 - 公布日： 2009-03-25 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种反应室内残余气体的处理方法，涉及半导体化学气相沉积制程。所述反应室连接有输送残余气体的输送管道，输送管道上设有节流阀以及控制节流阀开启速度的步进电机，本发明的处理方法是通过设定步进电机的速率控制节流阀逐步打开，反应室内残余气体逐步被抽走。相较现有技术，本发明的处理方法缓慢抽走残余气体的方法，产生的气体抽力较小，避免晶圆偏移正确位置，消除或至少减少了沉积薄膜的厚度漂移。
反应室内残余气体处理方法

[发明专利]二硝基甲苯连续制备二胺基甲苯的方法及使用的催化剂和催化剂的制备方法-CN201210356010.X有效
发明人：潘国平;蔡晋丽;王晓俊 -专利权人：赛鼎工程有限公司
申请日： 2012-09-13 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： C07C211/51 文献下载
摘要：一种二硝基甲苯连续制备二胺基甲苯的方法是二硝基甲苯与催化剂料浆充分混合后与氢气在钯催化剂作用下发生还原反应，DNT氢化后生成含有DNT残余量为150-300ppm的TDA和水组成的料浆，将氢化反应后的含有DNT残余量为约150-300ppm的料浆经循环料浆泵加压后送入管道反应器，同时氢气经文丘里喷射器进入管道反应器，残余的DNT与氢气继续混合反应。本发明具有反应完全，产品纯度高，收率高，能耗低的优点。
硝基甲苯连续制备胺基方法使用催化剂

[发明专利]微型流化床反应分析仪器残余空气造成测定偏差的消除方法-CN202111096096.2有效
发明人：刘雪景;张虹;李希艳;杨昊;许光文 -专利权人：沈阳化工大学
申请日： 2021-09-18 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：流化床反应分析仪器残余空气造成测定偏差的消除方法，涉及一种微型流化床反应分析仪器测定偏差的消除方法，首先将微型流化床反应器旁路设置一路保护气，保护气流量由质量流量计控制，通过切换流化载气及保护气，以排除反应器支管内残余的空气；然后将石英砂作为流化介质装入微型流化床反应器中；将保护气通入装有待测样品的微型流化床反应器支管内，通过过程质谱在线监测空气含量变化。本发明有效消除了微型流化床反应器支管内的残余空气，避免了反应器支管内残余空气对过程质谱测得的含有相同分子量气体产物相对含量的影响，得到准确的反应动力学数据。
微型流化床反应分析仪器残余空气造成测定偏差消除方法

[发明专利]反应气体溅镀装置-CN201210115391.2无效
发明人：芈振伟 -专利权人：芈振伟
申请日： 2012-04-18 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明关于一种反应气体溅镀装置，其是在一反应溅镀腔体中设有至少一辅助阳极气体离子源，当溅镀制程进行时，未沉积于基板的残余金属原子，其会喷溅至反应溅镀腔体的内壁或遮蔽板，该金属原子残余物因为未被氧化可能会造成之后的危险，故以该辅助阳极气体离子源，将该残余金属原子氧化为安全的金属氧化物。
反应气体装置

[发明专利]一种用于催化甲醇合成反应的CuNi合金薄膜的原子层沉积制备方法-CN201410483223.8有效
发明人：赵福真;龚渺;张煜华;李金林 -专利权人：中南民族大学
申请日： 2014-09-19 - 公布日： 2015-01-07 - 主分类号： C23C16/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于催化甲醇合成反应的CuNi合金薄膜的原子层沉积制备方法，包括：基底的清洗；涂覆一层薄膜；放入反应腔并导入含Cu前驱体；通氮气，清除未吸附的Cu前驱体残余物；导入还原剂，使还原剂与含Cu的生成物进行反应；通氮气，清除还原剂与含Cu的生成物的反应残余物；导入含Ni前驱体；通氮气，清除反应残余物及多余的还原剂；导入还原剂，使还原剂与含Ni生成物进行反应；通氮气，清除还原剂与含Ni生成物的反应残余物所得材料均具有良好的催化甲醇合成反应性能。
一种用于催化甲醇合成反应 cuni 合金薄膜原子沉积制备方法

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