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- [发明专利]膜层厚度的测试装置-CN202111202728.9在审
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李弘祥;黄鑫
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长鑫存储技术有限公司
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2021-10-15
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2022-01-18
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G01B11/06
- 本公开涉及半导体技术领域，提出了一种膜层厚度的测试装置，用于测量晶圆的膜厚，膜层厚度的测试装置包括：支撑主体；夹具，夹具设置于支撑主体，夹具用于与晶圆的周向外边缘相接触，以使得晶圆竖直固定于夹具；膜厚测量组件，膜厚测量组件包括光源发送端和接收端，膜厚测量组件用于测量晶圆的膜厚。支撑主体上的夹具将晶圆竖直固定，减小了晶圆的重力对晶圆翘曲度的改变，从而通过膜厚测量组件的光源发送端和接收端能够准确测量得到晶圆的膜层厚度。由于晶圆竖直固定，晶圆在膜层厚度测量过程中翘曲度基本不会发生改变，保证了膜厚测量组件的测试光路光程不受翘曲度的影响，以此获得准确的膜层厚度，从而改善了膜层厚度的测试装置的测试性能。
- 厚度测试装置
- [发明专利]一种非金属膜厚仪保护装置及应用方法-CN202211682474.X在审
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李国强
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河源市艾佛光通科技有限公司
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2022-12-26
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2023-04-18
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G01B11/06
- 本发明涉及一种非金属膜厚仪保护装置及应用方法，非金属膜厚仪保护装置包括壳体和光照组件，壳体用于罩设在膜厚仪上，壳体内形成有保护腔，保护腔用于容置膜厚仪上的晶圆，壳体上开设有与保护腔相连通的取放口；光照组件设置在保护腔的内壁上，光照组件用于朝向取放口的方向照射晶圆。将非金属膜厚仪保护装置罩设在膜厚仪上，使膜厚仪上的晶圆位于保护腔内。壳体能够对膜厚仪上的晶圆进行保护，避免工作人员碰撞导致晶圆碎裂。同时光照组件能够朝向取放口的方向照射晶圆，便于工作人员在取放晶圆时，能够更加方便地观测到晶圆状态，对晶圆进行初步的目检工作，而不用将晶圆取出后再单独转移至其他地方进行目检。进一步提高了对晶圆的检测效率。
- 一种金属膜保护装置应用方法
- [实用新型]一种非金属膜厚仪保护装置-CN202223508097.6有效
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李国强
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河源市艾佛光通科技有限公司
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2022-12-26
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2023-08-15
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G01B11/06
- 本实用新型涉及一种非金属膜厚仪保护装置，非金属膜厚仪保护装置包括壳体和光照组件，壳体用于罩设在膜厚仪上，壳体内形成有保护腔，保护腔用于容置膜厚仪上的晶圆，壳体上开设有与保护腔相连通的取放口；光照组件设置在保护腔的内壁上，光照组件用于朝向取放口的方向照射晶圆。将非金属膜厚仪保护装置罩设在膜厚仪上，使膜厚仪上的晶圆位于保护腔内。壳体能够对膜厚仪上的晶圆进行保护，避免工作人员碰撞导致晶圆碎裂。同时光照组件能够朝向取放口的方向照射晶圆，便于工作人员在取放晶圆时，能够更加方便地观测到晶圆状态，对晶圆进行初步的目检工作，而不用将晶圆取出后再单独转移至其他地方进行目检。进一步提高了对晶圆的检测效率。
- 一种金属膜保护装置
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