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[发明专利]一种压电薄膜及其制备方法、确定压电晶轴方向的方法-CN202010143541.5有效
发明人：张秀全;刘桂银;李真宇;薛海蛟 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2020-03-04 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H10N30/072 文献下载
摘要：本申请提供一种压电薄膜及其制备方法、确定压电晶轴方向的方法，所述方法包括：在薄膜基板的键合面边缘预设位置制作至少一个与薄膜基板主定位边平行或垂直的定位标记；向薄膜基板的键合面注入离子，将薄膜基板依次分为薄膜层、分离层和余质层；在衬底基板上沉积一层二氧化硅层；将薄膜基板的键合面与衬底基板的二氧化硅层键合，得到键合体；对键合体进行热处理，将所述余质层与所述薄膜层分离。利用上述带有定位标记的薄膜基板制备得到的压电薄膜上同样带有定位标记，以使得到压电薄膜成品后不再利用修正后的定位边重新确定压电晶轴方向，而是利用薄膜层上的定位标记来确定压电晶轴方向，因此，能够得到该压电薄膜成品准确的最佳压电晶轴方向
一种压电薄膜及其制备方法确定晶轴方向

[发明专利]电磁波－超声波压电晶体换能器天线-CN200610001801.5无效
发明人：张一昉;王沼滨 -专利权人：张一昉;王沼滨
申请日： 2006-01-20 - 公布日： 2007-07-25 - 主分类号： H01Q1/36 文献下载
摘要：一种电磁波－超声波压电晶体换能器天线，是由在凹腔上制作覆盖凹腔的薄膜，以及在覆盖凹腔的薄膜上按照自下而上的顺序制作第一电极层、第一压电薄膜层、第二电极层、第二压电薄膜层，从而构成天线子单元，每个天线子单元上的任何一层压电薄膜，受信号激励时，产生沿着压电薄膜平面法线和平行于薄膜平面的两个方向的振动，且第一压电薄膜层和第二压电薄膜层沿法线方向上两个振动是同一方向的；并且，平行于第一压电薄膜平面的振动和平行于第二压电薄膜平面的振动其方向是相互垂直的
电磁波超声波压电晶体换能器天线

[发明专利]一种温度调节型薄膜体声波谐振器-CN201910547564.X在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：金华伏安光电科技有限公司
申请日： 2019-06-24 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种温度调节型薄膜体声波谐振器，包括第一电极层，所述第一电极层的上方设置有压电薄膜层；所述压电薄膜层上设置有第二电极层；所述压电薄膜层的内膜填充有导热层；该温度调节型薄膜体声波谐振器，通过在压电薄膜层中设置导热层，实现压电薄膜层的温度调节，进而使得薄膜体声波谐振器的逆压电效应所产生的声波的相位相同，从而改变声波的强度，有利于提高利用温度调节型薄膜体声波谐振器进行温度的探测。
薄膜体声波谐振器压电薄膜层温度调节型声波第一电极导热层逆压电效应第二电极温度调节内膜填充探测

[发明专利]半导体传感器以及半导体传感器的制造方法-CN200910005272.X有效
发明人：泷泽照夫;近藤贵幸;轰原正义 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2009-01-22 - 公布日： 2009-07-29 - 主分类号： G01N5/02 文献下载
摘要：其中，该半导体传感器包括：多层压电薄膜，层压在半导体基板上；一对电极，形成在所述多层压电薄膜中的至少上下一对的压电薄膜的界面上，用于激发表面弹性波；金属薄膜，形成在最下层的压电薄膜与所述最下层的压电薄膜正下面的薄膜的界面上，并且，促进最上层的压电薄膜的表面上的凸凹部的生成；以及感应膜，在所述最上层的压电薄膜上至少形成在所述凸凹部上，用于分子吸附。
半导体传感器以及制造方法

[发明专利]一种基于压电薄膜的可穿戴式血液流速传感器-CN202010042423.5在审
发明人：任豪;李志浩 -专利权人：上海科技大学
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： A61B5/026 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于压电薄膜的可穿戴式血液流速传感器，其特征在于，包括至少两个压电薄膜传感器，所有压电薄膜传感器均放置在人体不同位置的皮肤上，各压电薄膜传感器对应于同一血管的不同部位，通过压电薄膜传感器检测通过肌肉和皮肤组织传导到皮肤表面的心脏的搏动，在压电效应作用下在压电薄膜传感器上下表面的电极间产生一个脉冲电压，在血管的两个不同部位获取两个不同压电薄膜传感器产生的脉冲电压，通过判断两个脉冲电压的时间间隔，推出血液在两个不同压电薄膜传感器间的平均流动速度
一种基于压电薄膜穿戴血液流速传感器

[发明专利]一种用于监测螃蟹心率的可穿戴压电薄膜传感器及其制备方法-CN202210884733.0在审
发明人：陈海荣;黄瑞;刘磊;翟伟 -专利权人：宁波大学
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： A61B5/024 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于监测螃蟹心率的可穿戴压电薄膜传感器及其制备方法，可穿戴压电薄膜传感器包括PZT/SMPU压电薄膜传感器、金属电极、引线和形状记忆高分子材料；金属电极镀于PZT/SMPU压电薄膜传感器的表面；引线与金属电极连接；形状记忆高分子材料包裹住PZT/SMPU压电薄膜传感器。制备方法包括以下步骤：将PZT/SMPU按一定比例混合放入有机溶剂，再通过搅拌、挥发、静置，得到PZT颗粒与高分子溶液的混合物进行铺膜；对初始的PZT/SMPU压电感应薄膜进行烘干、热压、镀电极、高压极化等操作，得到稳定的PZT/SMPU压电薄膜传感器；本发明采用复合材料制备压电薄膜传感器，很大程度上提高了此压电薄膜传感器的输出电压，利用该压电复合材料制备的可穿戴压电薄膜传感器能够用于螃蟹的心率监测。
一种用于监测螃蟹心率穿戴压电薄膜传感器及其制备方法

[发明专利]一种压电薄膜制备方法、压电薄膜以及指纹识别模组-CN202310430263.5在审
发明人：潘思怡;史航宇;王硕;张祖祺;钟乐黎;陈昭如;邢天宇;胡潇然 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H10N30/08 文献下载
摘要：本发明涉及压电薄膜技术领域，特别涉及一种压电薄膜制备方法、压电薄膜以及指纹识别模组。本发明提供的一种压电薄膜制备方法，包括以下步骤：提供第一预定比例的偏氟乙烯‑四氟乙烯共聚物溶解形成第一预溶液；提供第二预定比例偏氟乙烯‑氯氟乙烯共聚物溶解形成第二预溶液；将第一预溶液和第二预溶液基于预设混合比例混合形成混合溶液；将混合溶液于一衬底上形成待处理薄膜；将待处理薄膜进行原位极化处理后获得压电薄膜。本发明还提供一种压电薄膜以及指纹识别模组。解决了现有聚偏氟乙烯压电薄膜压电系数偏低、耐用性差的问题。
一种压电薄膜制备方法以及指纹识别模组

[发明专利]薄膜压电元件及其制造方法、磁头折片组合及磁盘驱动器-CN201310110051.5有效
发明人：熊伟;平加拉·洛卡拉宋;秦健次郎;西山一志;饭塚大助;饭岛淳 -专利权人：新科实业有限公司
申请日： 2013-03-29 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜压电元件，包括衬底以及形成于衬底上的压电薄膜叠层。压电薄膜叠层包括上电极层、下电极层以及层夹于上、下电极层之间的压电层，该压电层包括第一压电层和第二压电层，第一压电层和第二压电层的成分具有不同的相结构。本发明还公开了该薄膜压电元件的制造方法，以及具有该薄膜压电元件的微致动器、磁头折片组合及磁盘驱动器。本发明极大地提高了薄膜压电元件的压电常数、矫顽场和热稳定性,从而可达到更大的施加电场而不会产生去极化，进而使其应用的装置获得更大行程。
薄膜压电元件及其制造方法磁头组合磁盘驱动器

[发明专利]一种高性能Lamb波声学器件结构-CN202310455760.0在审
发明人：陈正林;杜雪松;李桦林;肖强;马晋毅;郑泽渔;潘虹芝;董加和;贺艺;梁柳洪 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H03H9/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种高性能Lamb波声学器件结构，包括电极指条层、压电薄膜层、功能薄膜层和支撑衬底层；所述电极指条层位于所述压电薄膜层表面上；所述压电薄膜层位于所述功能薄膜层表面上，所述压电薄膜层沿轴向方向的尺寸与所述功能薄膜层沿轴向方向的尺寸相适应，且所述压电薄膜层和所述功能薄膜层形成压电复合薄膜结构；所述功能薄膜层位于所述支撑衬底层上。
一种性能 lamb 声学器件结构

[发明专利]一种基于压电薄膜的组合式曲率传感器-CN201810315959.2有效
发明人：彭伟强;杜海越;胡大士;崔洪宇;郭旭;洪明 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2018-04-08 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： G01B7/28 文献下载
摘要：本发明属于压电薄膜传感器技术领域，提供一种基于压电薄膜的组合式曲率传感器，该组合式曲率传感器主要用于弯曲结构，能够实现曲率的直接测量。传感器为三层结构，从上至下依次为保护层、压电薄膜层和柔性基底层，其中，压电薄膜层包括三个串联的特定面积的压电薄膜，三个压电薄膜等间距布放在柔性基底层上方，其上下表面均涂有金属导电层，中间位置的压电薄膜与两边的极化方向反向，且位于中间的压电薄膜的面积与两边压电薄膜不等。
压电薄膜曲率曲率传感器组合式柔性基底层压电薄膜层直接测量测量两边压电薄膜传感器金属导电层从上至下定制形状极化方向三层结构上下表面数值计算弯曲结构稳定性强保护层灵敏度任意点传感器串联采集

[发明专利]基于被动控制的直升机旋翼压电薄膜抑振结构及方法-CN202111597011.9有效
发明人：王亮;祁瑞;金家楣 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： F16F15/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于被动控制的直升机旋翼压电薄膜抑振结构及方法，包含直升机旋翼叶片、上端压电薄膜叠层、下端压电薄膜叠层；上端压电薄膜叠层、下端压电薄膜叠层均为m层压电薄膜通过导电胶以叠层的方式粘贴形成的叠层串联结构，分别设置在直升机旋翼叶片的上端面、下端面的凹槽内；上端压电薄膜叠层的上端面通过导线或导电薄片和下端压电薄膜叠层的下端面电气相连。本发明通过叠层式压电薄膜的机电耦合行为抑制振动，采用被动控制方法，将旋翼因振动而产生的形变等机械能转化为电能，通过电荷中和的方式耗散能量，并将系统的等效刚度变成了可变量，避免了共振现象，具有良好的经济效益和应用前景
基于被动控制直升机压电薄膜结构方法

[实用新型]乐器用压电薄膜传感器-CN201320594286.1有效
发明人：张又文 -专利权人：惠州市天音乐器有限公司
申请日： 2013-09-25 - 公布日： 2014-02-26 - 主分类号： G01D3/036 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种乐器用压电薄膜传感器，包括传感器本体以及输出导线，传感器本体包括压电薄膜传感器、屏蔽壳体以及保护电路，压电薄膜传感器与保护电路紧密贴合在一起，压电薄膜传感器上设有的压电驻极体薄膜器件的输出端与保护电路的输入端连接，且压电薄膜传感器和保护电路封装在封装屏蔽壳体内，保护电路的输出端外接输出导线。本实用新型用层压方法将压电驻极体薄膜进行串联和并联的保护电路叠层，成倍提高压电驻极体薄膜传感器电荷和电压输出量，以提高其灵敏度。同时，产品表面用丝网印刷方法的将压电驻极体薄膜传感器增加柔性屏蔽层，以提高其抗干扰能力。提高其灵敏度和抗干扰能力。
乐器压电薄膜传感器

[实用新型]一种压电薄膜电极引出结构-CN201521139863.3有效
发明人：何知文;宿兰兰;孙煜 -专利权人：天津普仁万合信息技术有限公司
申请日： 2015-12-31 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： H01L41/29 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种压电薄膜电极引出结构，包括压电薄膜，所述压电薄膜包括基板，所述基板的两面分别为正极面和负极面，所述正极面覆有正电极涂层，所述负极面覆有负电极涂层，所述正极面或负极面还设有与其极性相反并隔离绝缘的输出区本实用新型所述的一种压电薄膜电极引出结构中，通过改变压电薄膜结构实现压电薄膜的电极同一面导出，有利于增强压电薄膜信号的可靠性，简化了工艺，另外由于压电薄膜和信号线采用压接等方式，因此节省了安装空间，减小了应用该压电薄膜传感器的体积
一种压电薄膜电极引出结构

[实用新型]聚丙烯压电薄膜扬声装置-CN201720978576.4有效
发明人：孟召龙;孟付荣 -专利权人：感至源电子科技（上海）有限公司
申请日： 2017-08-07 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： H04R17/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种聚丙烯压电薄膜扬声装置，包括，至少一个聚丙烯压电薄膜发生器；聚丙烯压电薄膜发生器包括第一发泡层、正电极层、聚丙烯压电薄膜，负电极层和第二发泡层；正电极层设置在聚丙烯压电薄膜的上方，第一发泡层设置在正电极层的上方；负电极层设置在聚丙烯压电薄膜的下方，第二发泡层设置在负电极层的下方。其优点在于结合聚丙烯压电薄膜的输入输出特征，使用定压功放驱动聚丙烯压电薄膜扬声；结构简单，用户可以根据自身的需求在聚丙烯压电薄膜扬声装置粘贴书画或摄影作品，垂直共振的设计带来了良好的定向发声效果。
聚丙烯压电薄膜扬声装置

[实用新型]基于PVDF压电薄膜的超声波测距传感器-CN202121257473.1有效
发明人：刘浩;周长阳;殷军伟;管涛 -专利权人：三三智能科技（日照）有限公司
申请日： 2021-06-07 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： G01S15/08 文献下载
摘要：基于PVDF压电薄膜的超声波测距传感器，涉及压电薄膜传感器技术领域，特别是涉及一种基于PVDF压电薄膜的超声波测距传感器。所述超声波探头为PVDF压电薄膜超声探头；所述PVDF压电薄膜超声探头为圆环结构，其包括PVDF压电薄膜、内电极和外电极，PVDF压电薄膜设置在内部支撑体上，PVDF压电薄膜两侧覆盖有导电材料形成导电层，圆环结构内侧的导电层引出与外电路连接的结构为内电极；圆环外侧的导电层引出与外电路连接的结构为外电极；所述内部支撑体的上下表面的外径和PVDF压电薄膜超声探头的内径相同，两者同心安装。
基于 pvdf 压电薄膜超声波测距传感器