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[发明专利]基于复合压电薄膜体声波谐振的材料弹性模量测量方法-CN202210688060.1有效
发明人：陈聪;白利兵;王家豪;张杰;周权;田露露;黄伟;程玉华 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： G01N29/12 文献下载
摘要：本发明公开了基于复合压电薄膜体声波谐振的材料弹性模量测量方法，属于薄膜材料的弹性模量测量技术领域，先构建复合压电薄膜结构，根据其中压电薄膜层的压电方程获得上下表面作用力表达式，及下电极层、上电极层和待测薄膜层的上下表面作用力表达式，类比得到复合压电薄膜结构的等效电路模型，进而求得总阻抗表达式，获得待测薄膜层的测量谐振频率和弹性模量取值区间内的理论谐振频率，采用二分法迭代更新弹性模量取值区间，直至测量谐振频率与理论谐振频率的差值在最小误差范围内，对应弹性模量为待测薄膜层的最终弹性模量。本发明采用间接测量法，仅更换待测薄膜层即可计算不同材料的弹性模量，具有结构简单、低成本、可在线重复测试的优点。
基于复合压电薄膜声波谐振材料弹性模量测量方法

[发明专利]一种c轴倾斜氮化镓FBAR压电质量传感器-CN201510193412.6在审
发明人：秦利锋;刘海强;张金惠;任奎丽;刘伟;周伟;马盛林 -专利权人：厦门大学
申请日： 2015-04-22 - 公布日： 2015-07-08 - 主分类号： G01G7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种c轴倾斜氮化镓FBAR压电质量传感器，于包括：敏感层、上电极、信号端、接地端、c轴倾斜氮化镓压电薄膜、刻蚀孔、下电极、布拉格反射层和衬底；所述信号端和接地端在c轴倾斜氮化镓压电薄膜的顶部排布；所述上电极与信号端连接，并且涂覆有所述敏感层；下电极通过设置在压电薄膜的刻蚀孔与接地端相连；下电极沉积在布拉格反射层上，布拉格反射层沉积在衬底上。本发明提出的一种c轴倾斜氮化镓FBAR压电质量传感器，压电薄膜采用c轴倾斜的氮化镓压电薄膜，优选一定c轴倾斜角，可以使质量传感器在潮湿环境或液相环境中正常工作。
一种倾斜氮化 fbar 压电质量传感器

[发明专利]一种长度伸缩谐振型磁传感器-CN202210506574.0有效
发明人：陈聪;白利兵;张杰;周权;田露露;程玉华;黄伟 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本发明公开一种长度伸缩谐振型磁传感器，属于磁传感器技术领域，包括第一引出电极，第二引出电极，以及自下而上依次设置的基座、下磁敏薄膜、下电极层、压电薄膜层、上电极层和上磁敏薄膜；压电薄膜层包括中间镂空的绝缘结构，位于绝缘结构镂空区域的长度伸缩型压电薄膜结构，以及两个用于固定的支撑梁；基座上表面设有空腔，下磁敏薄膜和下电极层位于空腔内部对应压电薄膜结构位置；上电极层与第一引出电极相连，下电极层贯穿绝缘结构与第二引出电极相连本发明中下磁敏薄膜和上磁敏薄膜均可与待测磁场充分接触，同时利用压电薄膜结构的长度伸缩特性，保证ΔE效应的充分转换，提高磁传感器的相对灵敏度。
一种长度伸缩谐振传感器

[发明专利]一种功能压电复合箔材及具有内部压力检测功能的电池-CN202310794339.2在审
发明人：李诺;许恒辉;龙子涵;赵杰;黄云辉 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01M4/66 文献下载
摘要：本发明属于功能复合箔材领域，并具体公开了一种功能压电复合箔材及具有内部压力检测功能的电池，其包括依次设置的上导电金属层、压电薄膜层和下导电金属层，所述上导电金属层和压电薄膜层之间，以及所述压电薄膜层和下导电金属层之间均设有聚合物绝缘层该功能压电复合箔材在电池体系中，能够实现电池内部充放电电流与压电电流之间的分离，在工作过程中互不干扰，同时电池充放电过程中压力变化会引起压电薄膜的电压变化；从而使其既能保障电池内部电流传导，不影响电池正常运行
一种功能压电复合具有内部压力检测电池

[发明专利]一种柔性衬底上具有线性可调压电特性的ZnO薄膜电激发器制备方法-CN202011254831.3有效
发明人：徐从康 -专利权人：赣州优膜科技有限公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H10N30/093 文献下载
摘要：本发明涉及一种柔性衬底上具有线性可调压电特性的ZnO薄膜电激发器制备方法，制备方法包括(1)以镍合金基带为衬底，选用或不选用特定织构化缓冲层；(2)在缓冲层上制备或不制备底电极薄膜；(3)进一步在缓冲层或底电极薄膜上外延生长未掺杂ZnO压电薄膜；(4)最后在ZnO薄膜上制备顶电极薄膜。得到的柔性ZnO薄膜电激发器：1.压电ZnO薄膜面外晶体取向为ZnO，具有极性；2.薄膜电激发器压电响应曲线为线性曲线，无电滞回线特性；3.薄膜电激发器纵向压电系数可调，数值范围为1‑50pm/V。
一种柔性衬底具有线性可调压电特性 zno 薄膜激发制备方法

[发明专利]柔性显示面板及其制备方法及柔性显示装置-CN201810998292.0有效
发明人：邢爱民;王金华;谢峰;陈伟伟;饶潞;黄金雷 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2018-08-29 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性显示面板及其制备方法及柔性显示装置，该柔性显示面板，包括：正压电薄膜层、第一绝缘材料层和第二绝缘材料层；所述正压电薄膜层形成在所述第一绝缘材料层和所述第二绝缘材料层之间，在所述柔性显示面板弯曲时，所述正压电薄膜层将因其形变产生的应力转换为电能。通过形成正压电薄膜层，可减低柔性显示面板弯曲时的内部应力，有助于提高柔性显示面板的抗弯曲能力和显示性能。
柔性显示面板及其制备方法显示装置

[发明专利]复合式薄膜传感器-CN202010058392.2在审
发明人：郑岳世;纪岚中 -专利权人：华一声学股份有限公司
申请日： 2020-01-19 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本发明公开一种复合式薄膜传感器，其包括两个薄膜基材、两个导电图案层、至少一压电薄膜及至少一薄膜压力传感器。两个导电图案层分别设置于两个所述薄膜基材的内侧面；至少一压电薄膜及至少一薄膜压力传感器，设置于两个薄膜基材之间，并且电性连接两个导电图案层；当薄膜基材受力弯曲或变形时，通过压电薄膜输出一电压形式的第一感测信号，用以检测薄膜基材的变形或动作，并且压电薄膜输出一电流形式的第二感测信号，用以检测薄膜基材承受压力的变化。
复合薄膜传感器

[发明专利]位移传感器、按压量检测传感器以及触摸式输入装置-CN201480016509.3有效
发明人：河村秀树;安藤正道 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2014-03-19 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：按压量检测传感器(20)具备压电薄膜(201)、形成有电极的保护薄膜(202、203)、粘合层(204、205)。形成有电极的保护薄膜(202、203)经由粘合层(204、205)与压电薄膜(201)粘合，以使得分别使电极(222、232)位于压电薄膜(201)侧。粘合层(204、205)的相对介电常数(εa)比压电薄膜(201)的相对介电常数(εp)高。而且优选粘合层(204、205)的每单位面积的静电电容比压电薄膜(201)的每单位面积的静电电容高，为约2倍以上较好。为了抑制检测灵敏度的降低并且抑制电极的剥落以及气泡等的产生，将粘合层(204、205)的厚度设定在规定厚度范围内。
位移传感器按压检测以及触摸式输入装置

[发明专利]用于汽车的宽频主动消声器-CN201010558402.5无效
发明人：朱从云 -专利权人：中原工学院
申请日： 2010-11-25 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： G10K11/168 文献下载
摘要：一种用于汽车的宽频主动消声器，包括呈圆筒形的外壳，在该圆筒形外壳内壁敷设有压电材料层，在该压电材料层内壁敷设有第一层聚偏氟乙烯薄膜，第一层聚偏氟乙薄膜内表面敷设有橡胶层，橡胶层内表面敷设有第二层聚偏氟乙烯薄膜，第二层聚偏氟乙烯薄膜内侧面敷一层多孔材料层，第一层聚偏氟乙薄膜和第二层聚偏氟乙薄膜通过导线和电荷放器与控制器相连接。本发明中设置两层聚偏氟乙烯薄膜，用以对压电材料层入射声压和反射声压进行检测，由控制器计算出应该加载在压电复合材料上的电压，压电复合材料会产生振动，其表面的声阻抗和消声器内部空气的声阻抗相匹配，消声器内部的噪声的能量被压电复合材料完全消耗
用于汽车宽频主动消声器

[发明专利]一种有机压电薄膜叠层器件-CN201010258108.2无效
发明人：王清海;张建芹;李新开;刘爱云 -专利权人：中国兵器工业集团第五三研究所
申请日： 2010-08-20 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本发明属于半导体技术领域，涉及压电器件设计技术。本发明涉及的有机压电薄膜叠层器件，由双面被覆电极的有机压电薄膜和电极组成，双面被覆电极(2)的连续有机压电薄膜(1)折叠成极性相同的一面自然连通的规则叠层，在两个被覆电极(2)上分别引出电极(3)，压紧并固定，得到本发明涉及的有机压电薄膜叠层器件。本发明涉及的有机压电薄膜叠层器件可设计性强，可靠性高，加工工艺简单，适用范围宽，在保证压电性能的前提下，有效避免正负电极短路、电极连接不可靠等风险。主要适用于高过载条件下冲击、振动信号测量以及抗冲击压电换能器等领域。
一种有机压电薄膜器件

[实用新型]一种有机压电薄膜叠层器件-CN201020298478.4无效
发明人：王清海;张建芹;李新开;刘爱云 -专利权人：中国兵器工业集团第五三研究所
申请日： 2010-08-20 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体技术领域，涉及压电器件设计技术。本实用新型涉及的有机压电薄膜叠层器件，由双面被覆电极的有机压电薄膜和电极组成，双面被覆电极(2)的连续有机压电薄膜(1)折叠成极性相同的一面自然连通的规则叠层，在两个被覆电极(2)上分别引出电极(3)，压紧并固定，得到本实用新型涉及的有机压电薄膜叠层器件。本实用新型涉及的有机压电薄膜叠层器件可设计性强，可靠性高，加工工艺简单，适用范围宽，在保证压电性能的前提下，有效避免正负电极短路、电极连接不可靠等风险。主要适用于高过载条件下冲击、振动信号测量以及抗冲击压电换能器等领域。
一种有机压电薄膜器件

[发明专利]压电MEMS执行器及其形成方法和运行方法-CN202110683421.9在审
发明人：张孟伦;孙晨 -专利权人：天津大学
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： H04R19/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电MEMS执行器，包括一个或多个执行单元，每个所述执行单元包括：硅薄膜；位于所述硅薄膜的第一表面的第一压电层和第一电极结构；位于所述硅薄膜的第二表面的第二压电层和第二电极结构。该压电MEMS执行器在硅薄膜的两侧分别设置压电层，能够使得提高执行器的驱动力，从而执行器获得更大的位移、力或者转角。
压电 mems 执行及其形成方法运行

[发明专利]使用压电薄膜为振动组件的薄膜扬声器-CN200610098559.8无效
发明人：尹珠松;罗昌珠 -专利权人：梦想音速技术有限公司
申请日： 2006-07-06 - 公布日： 2007-05-02 - 主分类号： H04R17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种使用压电薄膜作为其振动单元及能够产生一种高品质的声音的薄膜扬声器。该薄膜扬声器包括：一个经涂覆导电高分子层或金属层在其表面的压电薄膜，而该压电薄膜则用作振动单元；一个电连接到该压电薄膜及与一个扬声器驱动单元连接的端子单元。该薄膜扬声器亦包括由多气孔物料构成及放置于该压电薄膜之前面或后面中的至少一面的覆盖单元。
使用压电薄膜振动组件扬声器

[实用新型]使用压电薄膜为振动组件的薄膜扬声器-CN200620123629.6无效
发明人：尹珠松;罗昌珠 -专利权人：梦想音速技术有限公司
申请日： 2006-07-06 - 公布日： 2007-12-12 - 主分类号： H04R17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种使用压电薄膜作为其振动单元及能够产生一种高品质的声音的薄膜扬声器。该薄膜扬声器包括：一个经涂覆导电高分子层或金属层在其表面的压电薄膜，而该压电薄膜则用作振动单元；一个电连接到该压电薄膜及与一个扬声器驱动单元连接的端子单元。该薄膜扬声器亦包括由多气孔物料构成及放置于该压电薄膜之前面或后面中的至少一面的覆盖单元。
使用压电薄膜振动组件扬声器

[发明专利]一种压电薄膜超声波传感器的电极-CN200910190786.7有效
发明人：王万杰 -专利权人：精量电子(深圳)有限公司
申请日： 2009-10-10 - 公布日： 2011-05-04 - 主分类号： H01L41/047 文献下载
摘要：本发明适用于压电式传感器技术领域，提供了一种压电薄膜超声波传感器的电极，该压电薄膜包括工作部以及引出部，该压电薄膜超声波传感器的电极包括电镀于压电薄膜的工作部和引出部同一表面的第一基础电镀电极层；涂覆于第一基础电镀电极层另一表面的第一导电层；电镀于工作部和引出部另一表面的第二基础电镀电极层。由于在压电薄膜引出部和工作部的表面电镀基础电极层后，在该电极层的另一表面涂覆导电层，当该导电层涂覆于电极层的位于引出部区域时，改善了引出部表面电极与印刷电路板的电极连接的可靠性。
一种压电薄膜超声波传感器电极