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[实用新型]一种MEMS压力传感元件-CN201520454215.0有效
发明人：郑国光 -专利权人：歌尔声学股份有限公司
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2015-11-11 - 主分类号： G01L9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种MEMS压力传感元件，包括：设有凹槽的基底；设置于基底上方的压力敏感膜，压力敏感膜密封凹槽的开口以形成密封腔体；悬置于密封腔体内的平行于压力敏感膜的压力敏感梁，其上设置有压敏电阻；压力敏感梁的中心与压力敏感膜的中心固定连接，外周与基底凹槽的底壁固定连接，以使压力敏感膜在外界压力作用下带动压力敏感梁弯曲变形。本实用新型的MEMS压力传感元件，压力作用在压力敏感膜上时，压力敏感膜带动压力敏感梁运动引起压力敏感梁的弯曲，继而引起压力敏感梁上的压敏电阻的阻值的变化，这样既完成压力敏感的功能，又屏蔽了外界对压力传感元件的电学部分的电磁干扰
一种 mems 压力传感元件

[发明专利]一种MEMS压力传感元件及其制造方法-CN201510367571.3有效
发明人：郑国光 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： G01L9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS压力传感元件，包括设有凹槽的基底；设置于基底上方的压力敏感膜，压力敏感膜密封凹槽的开口以形成密封腔体；悬置于密封腔体内的平行于压力敏感膜的压力敏感梁，其上设置有压敏电阻；压力敏感梁的中心与压力敏感膜的中心固定连接，外周与基底凹槽的底壁固定连接，以使压力敏感膜在外界压力作用下带动压力敏感梁弯曲变形。本发明还公开了一种MEMS压力传感元件的制造方法。本发明的MEMS压力传感元件，压力作用在压力敏感膜上时，压力敏感膜带动压力敏感梁运动引起压力敏感梁的弯曲，继而引起压力敏感梁上的压敏电阻的阻值的变化，这样既完成压力敏感的功能，又屏蔽了外界对压力传感元件的电学部分的电磁干扰
一种 mems 压力传感元件及其制造方法

[发明专利]力传感器-CN200910094335.3无效
发明人：许建平 -专利权人：许建平
申请日： 2009-04-03 - 公布日： 2009-09-16 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明涉及力传感器，特别是微小型力传感器，它包括：壳体，压力敏感元件，力传递体；所述力传递体是柔性材料；所述力传递体不与所述压力敏感元件、所述壳体内壁粘结；所述压力敏感元件的电输入输出键合引线周围固化有绝缘材料；所述力传递体与所述压力敏感元件之间设置有薄膜；所述压力敏感元件是压阻式压力敏感元件或电容式压力敏感元件；所述压阻式压力敏感元件是硅压阻式压力敏感元件。
传感器

[发明专利]一种双分量稳态压力敏感涂料及其制备方法与应用-CN201811448811.2在审
发明人：王鹏;衷洪杰;尚金奎;赵荣奂;许东洋;张雪;王猛;张华明 -专利权人：中国航空工业集团公司沈阳空气动力研究所
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： C09D133/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种双分量稳态压力敏感涂料及其制备方法与应用，属于压力敏感涂料技术领域。本发明为解决单分量压力敏感涂料对使用环境中的温度偏差抑制能力差的问题，提供了一种制备原料包括压力敏感探针、温度参考敏感探针、高分子粘接剂、填料和有机溶剂的双分量稳态压力敏感涂料，其中温度参考敏感探针为罗丹明B，是一种对温度敏感、对压力不敏感的参照探针，本发明同时添加压力敏感探针和温度参考敏感探针，通过调整两种探针的配比使所得双分量稳态压力敏感涂料的温度敏感参数降低至相对较低的量级，在数据处理时通过压力敏感探针和温度参照敏感探针的光强比抑制涂层的温度偏差，提高压力测量的精准度，可适用于更广泛的测量环境。
压力敏感涂料探针敏感探针稳态压力敏感制备温度敏感温度偏差参考高分子粘接剂使用环境压力测量有机溶剂数据处理罗丹明B 不敏感单分量光强比精准度配比应用测量

[发明专利]压力传感器及其制作方法、电子设备-CN202010732219.6在审
发明人：贾杏歌;孙伟;贾政;高雪;解宁;高振伟;荀建东;赵飞 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：本公开是关于一种压力传感器及其制作方法、电子设备，属于检测领域。压力传感器包括第一衬底、第二衬底，以及压力传感结构。压力传感结构包括依次叠层设置在第一衬底上的第一电极层、第一压力敏感层和依次叠层设置在第二衬底上的第二电极层、第二压力敏感层。第一压力敏感层和第二压力敏感层之间具有间隙。第一压力敏感层和第二压力敏感层之间的电阻与第一压力敏感层和第二压力敏感层的接触面积呈负相关。由于，第一压力敏感层和第二压力敏感层的存在，当压力传感器受到的压力不同时，第一压力敏感层和第二压力敏感层的之间接触的面积不同，压力传感器的电阻不同，从而使得压力传感器可以输出不同的电信号，提高了压力传感器的灵敏度
压力传感器及其制作方法电子设备

[发明专利]一种温度、压力、声学集成MEMS水下传感器及系统-CN202010994791.X有效
发明人：朱晓枭;周瑜;魏晓村;谢奕;李成豪;陈晓奇;冯杰;刘云飞 -专利权人：中国电子科技集团公司第三研究所
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种温度、压力、声学集成MEMS水下传感器及系统，包括声矢量敏感单元、声压敏感单元、压力敏感单元、温度敏感单元，所述声矢量敏感单元、声压敏感单元设置于第一载板顶面，所述压力敏感单元、温度敏感单元设置于第一载板底面；其中，位于第一载板顶面的声矢量敏感单元、声压敏感单元通过透声帽封装，位于第一载板底面的压力敏感单元、温度敏感单元通过金属壳体封装。本发明能够实现温度、压力、声学敏感单元的集成，实现水下温度、压力、声学检测。
一种温度压力声学集成 mems 水下传感器系统

[发明专利]压力敏感按键-CN201310067385.9有效
发明人： T.C.肖;J.T.贝勒休;P.H.迪茨;C.H.斯托姆博斯;D.J.马蒂亚斯 -专利权人：微软技术许可有限责任公司
申请日： 2013-03-04 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： H03K17/96 文献下载
摘要：描述了压力敏感按键技术。在一种或多种实现方式中，一种设备包括至少一个压力敏感按键，所述压力敏感按键具有通过间隔层与传感器衬底隔开的柔性接触层，该柔性接触层被配置成响应于压力而挠曲以便接触传感器衬底以发起用于计算设备的与压力敏感按键关联的输入柔性接触层或传感器衬底中的至少一个被配置成利用由柔性接触层的第二位置处施加的压力造成的输出至少部分地规格化由柔性接触层的第一位置处施加的压力造成的输出，所述第二位置具有比第一位置更小的柔性。
压力敏感按键

[发明专利]排量控制阀-CN201210457613.9有效
发明人：太田雅树;神德哲行;松原亮;西村直己;东堂园英树;白藤启吾;神崎敏智 -专利权人：株式会社丰田自动织机;伊格尔工业股份有限公司
申请日： 2012-11-14 - 公布日： 2013-05-29 - 主分类号： F04B39/10 文献下载
摘要：一种排量控制阀，包括电磁螺线管、能致动的驱动力传输体和压力敏感部分，该压力敏感部分具有对应于压力敏感室中的压力沿驱动力传输体的运动方向选择性地延伸和收缩的压力敏感体。第一阀体布置在压力敏感体中，以调整出口通道的横截面面积。第二阀体连接至驱动力传输体，以调整供给通道的横截面面积。压力敏感体能够在压力敏感室中沿驱动力传输体的运动方向运动。压力敏感室被构造成与压力控制室连通。压力敏感体沿第一阀体关闭的方向通过压力控制室中的压力被推压。
排量控制

[实用新型]一种设置手动复位的压力敏感控制器的电压力锅-CN201320135158.0有效
发明人：吴国良 -专利权人：佛山市顺德区顺科键电器有限公司
申请日： 2013-03-25 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： A47J27/09 文献下载
摘要：一种设置手动复位的压力敏感控制器的电压力锅，包括外锅、电发热盘和自动复位的压力敏感控制器，还包括一手动复位的压力敏感控制器和一驱动板，所述驱动板固定在顶杆的下端部；所述手动复位的压力敏感控制器固定在外锅的底部，驱动板与手动复位的压力敏感控制器和自动复位的压力敏感控制器配合；自动复位的压力敏感控制器与电源连接接通，手动复位的压力敏感控制器与自动复位的压力敏感控制器串联，手动复位的压力敏感控制器与电发热盘连接接通由于采用这样的结构，当电压力锅泄压阀发生堵塞，自动复位的压力敏感控制器锅损坏的情况下，锅内压力持续上升时，自动断电，可以有效防止爆锅或说是崩盖，消除了安全隐患。
一种设置手动复位压力敏感控制器压力锅

[发明专利]一种压力敏感元件的封装结构及封装方法-CN201810734339.2在审
发明人：李清辉;张亚顺;韩韬;李兵元;司长征;李恺;宋晨;吴斌;仇雨薇;宋凤勇;丁煜晖;张晨睿;韩颜至;赵春雪;冯志钢;肖翔;韩光 -专利权人：新疆石油管理局有限公司数据公司
申请日： 2018-07-05 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： G01L7/08 文献下载
摘要：本发明提供一种压力敏感元件的封装结构及封装方法，该封装结构包括壳体、压力敏感元件、弹性金属膜片、压块、盖板、引脚结构，壳体和压力敏感元件之间装有壳体密封圈，弹性金属膜片密封在壳体相对压力敏感元件的一端，压力敏感元件、壳体、弹性金属膜片之间形成保护腔，壳体上设有与保护腔相通的注油孔，压块压在压力敏感元件和壳体上，压块与压力敏感元件之间压有压块密封圈，引脚结构一端连接压力敏感元件，另一端从盖板上设置的盖板绝缘子中伸出本发明针对声表面波压力敏感元件的特点，设计了新的敏感元件安装方式，提高了敏感元件安装的便利性，通过保护腔体结构，保证了封装的可靠性。
压力敏感元件壳体盖板弹性金属膜片封装结构压块封装敏感元件引脚结构保护腔绝缘子密封圈壳体密封圈安装方式保护腔体声表面波一端连接便利性注油孔有压密封相通伸出保证

[发明专利]一种手动复位的压力敏感控制器及使用该装置的电压力锅-CN201310094833.4无效
发明人：吴国良 -专利权人：佛山市顺德区顺科键电器有限公司
申请日： 2013-03-25 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： H01H37/36 文献下载
摘要：一种手动复位的压力敏感控制器及使用该装置的电压力锅，所述手动复位的压力敏感控制器包括触发弹性压板、动触点、支撑板、设置在支撑板一端的静触点、上立杆、上弹性动件、下弹性动件、下立杆、底座板、绝缘垫、输入接线板所述手动复位的压力敏感控制器的电压力锅，包括外锅、电发热盘、自动复位的压力敏感控制器，一手动复位的压力敏感控制器和一驱动板，自动复位的压力敏感控制器与电源连接接通，手动复位的压力敏感控制器与自动复位的压力敏感控制器串联，手动复位的压力敏感控制器与电发热盘连接接通。
一种手动复位压力敏感控制器使用装置压力锅

[发明专利]一种MEMS压力传感元件-CN201510368749.6有效
发明人：郑国光 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2017-07-21 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS压力传感元件，包括设有凹槽的基底；设置于基底上方的压力敏感膜，压力敏感膜密封凹槽的开口以形成密封腔体；位于密封腔体内的构成电容结构的可动极板和固定极板；其中，固定极板固定于基底凹槽的底壁，可动极板悬置于固定极板的上方并且与固定极板相对；压力敏感膜与可动极板连接，以在外界压力作用下带动可动极板运动。本发明的MEMS压力传感元件将压力敏感和电学检测分开，将压力敏感膜暴露在空气中，将电容结构设置在由压力敏感膜和基底围成的密封腔中，电容结构的可动极板由压力敏感膜带动，这样既完成压力敏感的功能，又屏蔽了外界对电容结构的电磁干扰
一种 mems 压力传感元件

[实用新型]一种MEMS压力传感元件-CN201520456295.3有效
发明人：郑国光 -专利权人：歌尔声学股份有限公司
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种MEMS压力传感元件，包括：设有凹槽的基底；设置于基底上方的压力敏感膜，压力敏感膜密封凹槽的开口以形成密封腔体；位于密封腔体内的构成电容结构的可动极板和固定极板；其中，固定极板固定于基底凹槽的底壁，可动极板悬置于固定极板的上方并且与固定极板相对；压力敏感膜与可动极板连接，以在外界压力作用下带动可动极板运动。本实用新型的MEMS压力传感元件将压力敏感和电学检测分开，将压力敏感膜暴露在空气中，将电容结构设置在由压力敏感膜和基底围成的密封腔中，电容结构的可动极板由压力敏感膜带动，这样既完成压力敏感的功能，又屏蔽了外界对电容结构的电磁干扰
一种 mems 压力传感元件

[实用新型]一种车用压力传感器-CN200820167488.7无效
发明人：龚运生;何银春;杨成;徐爱 -专利权人：株洲南车时代电气股份有限公司;宁波南车时代传感技术有限公司
申请日： 2008-11-07 - 公布日： 2009-11-04 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种车用压力传感器，包括有传感器壳体，压力敏感元件，与压力敏感元件相连的用于调理压力敏感元件的压力信号的信号调理PCB板，以及引出信号调理PCB板输出的调理信号的输出电气接头，传感器壳体的前端设有压力引入孔，并且传感器壳体内部呈深凹槽中空结构，压力敏感元件安装在传感器壳体内部，且压力敏感元件的感受压力面与压力引入孔正对，其特征在于：所述压力敏感元件为硅压式不锈钢隔离膜充油结构的压力敏感元件。与现有技术相比，本实用新型的优点在于：由于该压力敏感元件采用硅压阻式不锈钢隔离膜充油结构，敏感芯片不直接与介质接触，大大提高了介质兼容性与长期稳定性，能适用于多数油气测量场合，内部结构简单，装配方便。
一种压力传感器

[发明专利]一种提高压力敏感涂料测量精准度的方法-CN201610133744.X有效
发明人：李国帅;周强;熊健;马护生;李平;王红彪;黄辉 -专利权人：中国空气动力研究与发展中心高速空气动力研究所
申请日： 2016-05-03 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种提高压力敏感涂料测量精准度的方法，该方法利用压力敏感涂料的温度敏感特性，基于同一次压力敏感涂料风洞试验采集到的图像数据，同时获得模型表面的温度分布与温度修正后的表面压力分布。本发明的提高压力敏感涂料测量精准度的方法可以获得更为丰富的结果数据，具有成本低，精度高的优点，同时考虑了压力敏感涂料的温度效应影响，提高了压力敏感涂料测量结果的精准度。
一种提高压力敏感涂料测量精准方法

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