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[实用新型]一种单晶硅棒拉制装置-CN202222092534.4有效
发明人：邓浩;文永飞;马少林;周锐;李侨;丁彪 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制装置。单晶硅棒拉制装置包括：主炉体；坩埚，坩埚设置于所述主炉体内，用于容纳硅料；加热器，加热器设置于主炉体内，用于将坩埚内的硅料加热成硅液，以从硅液中生长单晶硅棒；以及传热组件，传热组件设置于所述单晶硅棒拉制装置内，传热组件在单晶硅棒通过时至少部分与单晶硅棒接触，以传导单晶硅棒的热量。本申请实施例中，传热组件可以至少部分与单晶硅棒接触，以将单晶硅棒的热量通过接触式传导的方式快速传导至传热组件，以提高单晶硅棒的纵向温度梯度，提高单晶硅棒的晶体生长速度，从而，增大单晶硅棒的拉制效率并降低单晶硅棒的生产成本
一种单晶硅拉制装置

[发明专利]一种从单晶炉中取出单晶棒的方法-CN201110134324.0无效
发明人：牛小群 -专利权人：浙江星宇能源科技有限公司
申请日： 2011-05-20 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种从单晶炉中取出单晶棒的方法，该方法是通过提拉头将拉好的单晶棒升至副炉室、观察室及炉盖以上后，再将提拉头及单晶棒随副炉室、观察室、炉盖一起向侧边移至主炉室外，并对准在侧边的主炉室的地下开有的槽孔，然后降下单晶棒，把单晶棒放入槽孔至炉盖以下部位，即可取出单晶棒。采用本发明，可以通过增加直拉单晶棒的有效行程，将每炉的硅料加满，并一次性制成单晶棒，达到提高生产效率，降低生产成本的目的。
一种单晶炉中取出单晶棒方法

[发明专利]一种单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置-CN202310220181.8在审
发明人：韩伟;赵炜 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置。所述单晶硅棒拉制方法包括：在等径阶段，通过主炉体上方的副炉体向所述主炉体内通入第一气体，以及，向所述主炉体内直接通入第二气体，其中，所述第一气体为惰性气体，所述第二气体用于吸收第一预设波段的辐射热。本申请实施例可以快速带走所述单晶硅棒辐射热量，提高所述单晶硅棒的冷却速度及晶棒生长速度。这样，就可以提高所述单晶硅棒的拉制速度并降低生产成本。
一种单晶硅拉制方法装置

[实用新型]用于加工单晶棒主参考标记的加工装置-CN201220584829.7有效
发明人：朱德富 -专利权人：上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2012-11-07 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： B24B19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于加工单晶棒主参考标记的加工装置，包括滚磨机，滚磨机设置有磨头，其特征在于，所述滚磨机还包括可同步旋转的涡轮和蜗杆；所述涡轮安装于所述蜗杆上；蜗杆贯穿涡轮；滚磨机还包括与蜗杆相配合夹持单晶棒的尾架本实用新型中的用于加工单晶棒主参考标记的加工装置，主参考标记的加工与测量可在同一套装置上进行，无需多次拆卸、安装单晶棒，避免了多次拆卸安装时造成的误差。采用编码器，可以精确测量单晶棒的旋转角度，进而可以精确测量主参考标记的晶向偏移度。本实用新型中的加工装置，编码器采用每旋转一圈输出10000个脉冲，每个脉冲表示旋转2.16′。因此，检测单晶棒的旋转角度时可精确至2.16′。
用于加工单晶棒主参考标记装置

[发明专利]单晶生长装置及使用该装置的单晶生长方法-CN201580044303.6有效
发明人：星亮二;镰田洋之 -专利权人：信越半导体株式会社
申请日： 2015-06-19 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明为用于通过切克劳斯基法生长单晶硅的单晶生长装置，其特征在于，该单晶生长装置具备：主腔室，其配置容纳原料熔液的石英坩埚和对该石英坩埚进行加热和保温的加热器；以及提拉腔室，其与该主腔室的上部连接，提拉并收纳生长的单晶硅，所述主腔室具备硅细棒插入器，所述硅细棒插入器能够将含有掺杂剂的多个硅细棒分别独立地插入所述原料熔液而使其熔融。由此，提供能够生长高电阻率的单晶硅的单晶生长装置及使用了该装置的单晶生长方法。
生长装置使用方法

[发明专利]基于切割头移动、静止的双棒式单晶硅棒开方机-CN201910794276.4在审
发明人：张天泽;郑家坤 -专利权人：大连昊霖智能装备有限公司
申请日： 2019-08-27 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于切割头移动、静止的双棒式单晶硅棒开方机，包括切割头和夹持装置；切割头正面固定有两根上下水平排列的长切割主辊以及三根左右竖向排列的短切割主辊；长切割主辊与短切割主辊均分别通过一个伺服电机驱动转动；每个长切割主辊上设置四个导轮，每个短切割主辊上设置有两个导轮；金刚线从固定板背面穿出设于导轮后穿回背面，经过多次相同的操作最终在切割头正面形成两个井字形的切割线网，切割头在两个切割线网处别设置单晶硅棒通过口；夹持装置有两组分别用于夹持两根单晶硅棒；切割头与夹持装置存在相对运动。使用本发明开方机够对单晶硅棒进行双棒高效率加工。
切割头主辊切割单晶硅棒夹持装置导轮切割线网开方机伺服电机驱动固定板背面竖向排列水平排列正面固定高效率金刚线井字形通过口棒式穿出夹持两组转动背面静止移动加工

[实用新型]基于切割头移动、静止的双棒式单晶硅棒开方机-CN201921398560.1有效
发明人：张天泽;郑家坤 -专利权人：大连昊霖智能装备有限公司
申请日： 2019-08-27 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于切割头移动、静止的双棒式单晶硅棒开方机，包括切割头和夹持装置；切割头正面固定有两根上下水平排列的长切割主辊以及三根左右竖向排列的短切割主辊；长切割主辊与短切割主辊均分别通过一个伺服电机驱动转动；每个长切割主辊上设置四个导轮，每个短切割主辊上设置有两个导轮；金刚线从固定板背面穿出设于导轮后穿回背面，经过多次相同的操作最终在切割头正面形成两个井字形的切割线网，切割头在两个切割线网处别设置单晶硅棒通过口；夹持装置有两组分别用于夹持两根单晶硅棒；切割头与夹持装置存在相对运动。使用本实用新型开方机够对单晶硅棒进行双棒高效率加工。
基于切割移动静止双棒式单晶硅开方

[发明专利]新型单晶炉-CN202011384456.4有效
发明人：欧子杨;白枭龙;张昕宇 -专利权人：晶科能源股份有限公司;浙江晶科能源有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种新型单晶炉，其包括主炉室和副炉室，副炉室与主炉室连通，其中，该新型单晶炉还包括料室，料室上设置有加料口，料室通过加料口与主炉室连通。料室中设置有加料机构，加料机构可伸缩地穿设在加料口中，用于穿过加料口并向主炉室内的坩埚中加料。本申请提供的新型单晶炉，通过设置料室，实现了在旋出单晶棒的过程中进行加料操作，有效缩短了旋出单晶棒和加料操作共同消耗的时间，提升了生产效率。
新型单晶炉

[发明专利]一种单晶硅棒开方机中双棒加工用切割头-CN201910794281.5在审
发明人：张天泽;郑家坤 -专利权人：大连昊霖智能装备有限公司
申请日： 2019-08-27 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶硅棒开方机中双棒加工用切割头，包括竖立的固定板，固定板的正面固定有两根上下水平排列的长切割主辊以及三根左右竖向排列的短切割主辊；长切割主辊与短切割主辊均分别通过一个伺服电机驱动转动；每个长切割主辊和每个短切割主辊上均设置有两个导轮；金刚线从固定板背面穿出正面搭设于导轮后穿回背面，经过多次相同的操作最终在正面形成两个井字形的切割部分，固定板在两个切割部分分别设置单晶硅棒通过口；使用本发明切割头能够对单晶硅棒进行双棒高效率加工
切割主辊单晶硅棒固定板切割头导轮伺服电机驱动固定板背面竖向排列水平排列正面固定高效率金刚线井字形开方机竖立的通过口穿出搭设加工转动背面

[实用新型]一种单晶硅棒开方机中双棒加工用切割头-CN201921398548.0有效
发明人：张天泽;郑家坤 -专利权人：大连昊霖智能装备有限公司
申请日： 2019-08-27 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅棒开方机中双棒加工用切割头，包括竖立的固定板，固定板的正面固定有两根上下水平排列的长切割主辊以及三根左右竖向排列的短切割主辊；长切割主辊与短切割主辊均分别通过一个伺服电机驱动转动；每个长切割主辊和每个短切割主辊上均设置有两个导轮；金刚线从固定板背面穿出正面搭设于导轮后穿回背面，经过多次相同的操作最终在正面形成两个井字形的切割部分，固定板在两个切割部分分别设置单晶硅棒通过口；使用本发明切割头能够对单晶硅棒进行双棒高效率加工
一种单晶硅开方机中双棒加工用切割

[发明专利]一种单晶炉二次加料方法-CN201210574829.3无效
发明人：李留臣;冯金生 -专利权人：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
申请日： 2012-12-26 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶炉二次加料方法，当完成第一根硅单晶棒生长后，在主炉室中的坩埚内剩余一部分多晶硅熔液，将第一根硅单晶棒提拉至副炉室中后，关闭隔离阀，通过提升机构将副炉室提升后旋转开，取出第一根硅单晶棒，而后通过机械抓手将棒状多晶硅原料吊挂在钢丝软轴上，再将副炉室旋转安放至主炉室顶部，打开隔离阀，通过籽晶升降机构下放钢丝软轴，钢丝软轴下端的机械抓手将棒状多晶硅原料缓慢地送入坩埚中，启动加热系统使棒状多晶硅原料熔化，顺利地将多晶硅原料加入坩埚中，实现二次加料，以满足第二根硅单晶棒的生长。
一种单晶炉二次加料方法

[实用新型]一种可伸缩的单晶硅取晶筒-CN201820605299.7有效
发明人：赵永尚 -专利权人：呼和浩特市洪润环祥科技有限公司
申请日： 2018-04-26 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可伸缩的单晶硅取晶筒，其由下至上依次包括基筒、主筒、伸缩筒，本实用新型的优点：1、取晶筒下方设置有橡胶垫，很好的起到了缓冲的效果，避免取晶筒底部受损；2、取晶筒底部中心设置有激光发射器，可以对旋转副室内的单晶硅棒进行对心，避免单晶硅棒受损；3、取晶筒能够伸缩，可以适应不同长度的单晶硅棒，节约成本；4、当单晶硅棒下降到取晶筒底部时，栅栏式的栅栏筒体可以使操作人员能够观察单晶硅棒的下降位置，合理控制剪断籽晶的时机，避免单晶硅棒和取晶筒底部产生剧烈撞击。
单晶硅棒单晶硅本实用新型可伸缩的激光发射器受损底部中心下降位置伸缩筒橡胶垫栅栏式伸缩对心缓冲基筒剪断筒体主筒籽晶栅栏室内节约时机观察

[实用新型]一种单晶炉稳定装置-CN202221911979.4有效
发明人：朱明智;余飞;涂准;李正葵;杨吉祥;杨旭邦;聂佳青;陈朝仲;魏国锋 -专利权人：保山隆基硅材料有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉稳定装置，包括：固定壳体，至少两个稳定块和至少两个伸缩件；固定壳体设置在单晶炉的主室与副室之间，固定壳体中部设置有通孔，通孔连通单晶炉的主室与副室；稳定块位于固定壳体的通孔内；在需要对单晶炉内的硅棒固定时，伸缩件进行伸缩活动，推动稳定块向单晶炉的内腔延伸，对称延伸的稳定块可以对单晶炉副室内的硅棒进行夹持，进而起到硅棒的稳定作用，避免硅棒在副室内晃动，触碰到副室内壁造成安全事故
一种单晶炉稳定装置

[实用新型]开方机多线式复合导轮布线机构-CN201220060020.4有效
发明人：吴正同;肖新民 -专利权人：常州天合光能有限公司
申请日： 2012-02-23 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅锭和单晶硅棒开方设备技术领域，特别是开方机多线式复合导轮布线机构，包括复合导轮、复合主辊、单独导轮、单独主辊、切割线和矩形构架，复合导轮和单独导轮安装在矩形构架的顶部，复合主辊和单独主辊安装在矩形构架的底部，复合导轮和复合主辊相配对，连接切割线，形成多组与每个纵排晶棒对应的纵向的顶层连线和底层小间距的切割连线，单独导轮和单独主辊相配对，连接切割线，形成多组与每个横排晶棒对应的横向的顶层连线和底层大间距的切割连线本实用新型的有益效果是：可对单晶棒锭开方，去除四个侧面的边皮的同时开方出超薄厚度约20mm即截面积125mm*20mm的单晶棒。由于是一次开方形成，大大提高了生产效率，效率提高达到300％。
开方机多线式复合导轮布线机构

[发明专利]一种单晶炉及晶棒生长方法-CN202310789369.4在审
发明人：秦浩;潘浩;郭超超 -专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种单晶炉及晶棒生长方法，所述单晶炉的炉室包括主炉室及设置在所述主炉室顶部的副炉室，所述副炉室与所述主炉室内腔相通，所述副炉室的腔体沿着竖直方向延伸，所述副炉室的腔体顶部设有用于沿所述竖直方向提拉晶棒的籽晶提升机构本公开提供了一种单晶炉及晶棒生长方法可减少晶棒原生缺陷的形成。
一种单晶炉生长方法

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