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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]感光性树脂组合物、感光性干膜、层叠体和图案形成方法-CN202080050683.5在审
发明人：林久美子;曾我恭子 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2020-07-13 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：提供感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物包含(A)含有有机硅骨架的聚合物和(B)光致产酸剂，(B)光致产酸剂包含(B1)鎓盐光致产酸剂和(B2)鎓盐以外的光致产酸剂。
感光性树脂组合层叠图案形成方法

[发明专利]一种光致产酸剂及其制备方法、光刻胶-CN202310702939.1在审
发明人：岳力挽;刘克;李艳秋;夏力 -专利权人：北京理工大学;宁波南大光电材料有限公司
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C07C381/12 文献下载
摘要：本申请适用于光刻胶领域，具体公开一种光致产酸剂及其制备方法、以及应用该光致产酸剂的光刻胶。本申请的光致产酸剂可控制光酸的扩散距离以及光酸产生的扩散系数，从而控制光刻胶形貌的边缘粗糙度，提高光刻胶的分辨率；同时该光致产酸剂还可以避免曝光不足的问题。
一种光致产酸剂及其制备方法光刻

[发明专利]多官能光致产酸剂和包含其的用于厚层的化学增幅型光致抗蚀剂组合物-CN201880013367.3有效
发明人：林敏映;李泰燮;朴贤旻 -专利权人：株式会社LG化学
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及光致产酸剂和包含其的用于厚膜的化学增幅型光致抗蚀剂组合物，其中光致产酸剂具有优异的溶解度和感光度，并且除了作为光致产酸剂的效果之外，还具有抗腐蚀效果。因此，包含所述光致产酸剂的用于厚膜的化学增幅型光致抗蚀剂组合物减少了在显影之后在曝光部分处的浮渣和/或基脚。光致产酸剂由以下化学式1表示。在化学式1中，各取代基的限定与说明书的详细描述相同。
官能光致产酸剂包含用于化学增幅型光致抗蚀剂组合

[发明专利]形成半导体器件的图案的方法-CN201210383423.7在审
发明人：朴贞珠;金京美;金珉廷;李东峻;金富得 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2012-10-11 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： G03F1/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种形成半导体器件的图案的方法，该方法包括：形成包括光致产酸剂和光致产碱剂的光致抗蚀剂层；通过对所述光致抗蚀剂层进行第一曝光从所述光致抗蚀剂层的第一曝光部分中的光致产酸剂产生酸；以及通过对所述第一曝光部分的一部分进行第二曝光从所述光致抗蚀剂层的第二曝光部分中的光致产碱剂产生碱，并且中和酸。该方法还包括：在所述第一曝光和第二曝光之后烘烤所述光致抗蚀剂层，并且脱封其中产生了酸的所述第一曝光部分的光致抗蚀剂层，以形成脱封的光致抗蚀剂层；以及通过使用显影剂除去所述脱封的光致抗蚀剂层来形成光致抗蚀剂图案
形成半导体器件图案方法

[发明专利]光致产酸剂和包含其的用于厚膜的化学增幅型正性光致抗蚀剂组合物-CN201880003820.2有效
发明人：林敏映;李泰燮;金智慧 -专利权人：株式会社LG化学
申请日： 2018-04-03 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本公开涉及光致产酸剂和包含其的用于厚膜的化学增幅型正性光致抗蚀剂组合物。所述光致产酸剂不仅可以表现出在光致抗蚀剂组合物的溶剂中的高溶解度，而且还可以表现出化学稳定性和热稳定性以及高感光度。具体地，所述光致产酸剂通过光分解而产生酸，同时可以表现出对金属基底的防腐蚀效果。
光致产酸剂包含用于化学增幅型正性光致抗蚀剂组合

[发明专利]光致产酸剂及其制备方法-CN202111204968.2在审
发明人：傅志伟;潘新刚;梅崇余;纪兴跃 -专利权人：江苏汉拓光学材料有限公司
申请日： 2021-10-15 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： C07C309/17 文献下载
摘要：本发明公开了一种光致产酸剂及其制备方法，属于有机合成技术领域。所述光致产酸剂的结构通式如下：光致产酸剂的制备方法为由化合物Ⅲ与化合物Ⅱ经离子交换在第一溶剂中反应，纯化得到光致产酸剂Ⅰ。本发明合成一种新的光致产酸剂且合成方法收率高、纯度高。
光致产酸剂及其制备方法

[发明专利]一类由苯酚衍生的光致产酸剂及其制备方法和应用-CN202111660914.7在审
发明人：金明;王永辉 -专利权人：同济大学
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C07C309/11 文献下载
摘要：本发明公开了一类由苯酚衍生的光致产酸剂及其制备方法和应用，属于化学合成及光刻材料领域。该光致产酸剂为由桥碳脂肪环金刚烷取代苯酚为刚性结构，链接柔性碳链的多氟磺酸根的硫/碘鎓盐类光致产酸剂。特别涉及式(I)所示结构的光致产酸剂，该化合物的原料简单易得、合成路线简单，便于制备。本发明所合成的磺酸盐阴离子具有较大体积，引入了金刚烷结构形成的光致产酸剂与单独的苯酚取代结构相比，具有了更大的分子量，且桥碳脂肪环的引入提高了光致产酸剂的含碳量，增加抗蚀能力。同时，大分子量的光致产酸剂在其参与的光刻胶的光刻过程中可进一步降低光生酸的扩散，有利于改善边缘粗糙度，减小线宽粗糙度，提高分辨率。
一类苯酚衍生光致产酸剂及其制备方法应用

[发明专利]无氟光致产酸剂及其制备方法-CN202011148890.2在审
发明人：张猛;王巧玲 -专利权人：华衍化学（上海）有限公司
申请日： 2020-10-23 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明公开了一种无氟光致产酸剂及其制备方法，该无氟光致产酸剂为如下结构通式：光致产酸剂具有强酸性且能够均匀分布在光致抗蚀剂系统中。其制备条件温和，制备方法简单。
无氟光致产酸剂及其制备方法

[发明专利]可聚合型含双鎓盐结构的光致产酸剂、制备方法及光刻胶-CN202011530148.8有效
发明人：齐国强;顾大公;毛智彪;许从应;余绍山;许东升 -专利权人：宁波南大光电材料有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C07C321/30 文献下载
摘要：本发明适用于光刻胶领域，提供了一种可聚合型含双鎓盐结构的光致产酸剂，用于光刻胶的制备。该可聚合型含双鎓盐结构的光致产酸剂具有如下结构通式(I)：光致产酸剂具有双鎓盐结构，相对于单一鎓盐结构的光致产酸剂，本发明的可聚合型含双鎓盐结构的光致产酸剂具有较高的产酸效率，可以适用于多种波长的光源。由于本发明的可聚合型含双鎓盐结构的光致产酸剂本身就是可聚合型的，所以使用该可聚合型含双鎓盐结构的光致产酸剂的光刻胶不需要再额外的添加光刻胶树脂。
聚合型含双鎓盐结构光致产酸剂制备方法光刻

[发明专利]一种光刻胶中光致产酸剂的鉴定方法-CN202310421822.6在审
发明人：牛玉芳;毛鸿超;王静 -专利权人：厦门恒坤新材料科技股份有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本发明属于光刻胶领域，涉及一种光刻胶中光致产酸剂的鉴定方法，包括：将未固化的光刻胶依次进行加热处理、研磨、浸提、过滤，再将所得待测清液进行LC‑MS检测，得到LC‑MS总离子流色谱图；在正离子模式下，从LC‑MS总离子流色谱图中获取光致产酸剂中正离子的分子式；在负离子模式下，从LC‑MS总离子流色谱图中获取光致产酸剂中负离子的分子式；根据所获取的正负离子的分子式判断光刻胶中光致产酸剂的具体分子式。采用本发明提供的方法能够准确鉴定光刻胶中的光致产酸剂。
一种光刻胶中光致产酸剂鉴定方法

[发明专利]自由基聚合型粘接剂组合物和电连接体的制造方法-CN201911022202.5有效
发明人：林慎一;田中祐治 -专利权人：迪睿合株式会社
申请日： 2014-07-15 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： C09J4/06 文献下载
摘要：自由基聚合型粘接剂组合物含有自由基聚合性化合物、热自由基聚合引发剂以及光致产酸剂，不含因该光致产酸剂产生的酸而进行阳离子聚合的阳离子聚合性化合物。光致产酸剂具有促进自由基聚合型粘接剂组合物的热自由基聚合反应的性质。热自由基聚合引发剂为有机过氧化物，光致产酸剂为锍盐、碘鎓盐或铁芳烃配合物。
自由基聚合型粘接剂组合连接制造方法

[发明专利]自由基聚合型粘接剂组合物和电连接体的制造方法-CN201480047386.X在审
发明人：林慎一;田中祐治 -专利权人：迪睿合株式会社
申请日： 2014-07-15 - 公布日： 2016-04-06 - 主分类号： C09J4/00 文献下载
摘要：自由基聚合型粘接剂组合物含有自由基聚合性化合物、热自由基聚合引发剂以及光致产酸剂，不含因该光致产酸剂产生的酸而进行阳离子聚合的阳离子聚合性化合物。光致产酸剂具有促进自由基聚合型粘接剂组合物的热自由基聚合反应的性质。热自由基聚合引发剂为有机过氧化物，光致产酸剂为锍盐、碘鎓盐或铁芳烃配合物。
自由基聚合型粘接剂组合连接制造方法

[发明专利]可深层固化的UV变黑色胶黏剂-CN202110634656.9有效
发明人：刘锋;霍应鹏;陈燕舞;肖瑞雄;洪丹;刘明宇 -专利权人：顺德职业技术学院
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： C09J175/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种可深层固化的UV变黑色胶黏剂，特点是包括荧烷类丙烯酸酯单体、光致产酸剂、胺类化合物、丙烯酸树脂、稀释剂、交联剂、光引发剂、硅烷偶联剂和填料，其中荧烷类丙烯酸酯单体、光致产酸剂、胺类化合物、丙烯酸树脂、稀释剂、交联剂、光引发剂、硅烷偶联剂和填料的重量比是1：1‑2：0.1‑2：10‑100：2‑20：1‑10：0.1‑4：0.005‑0.02：0.1‑5。其优点是：固化之前呈现透明或者淡黄色通透的效果，保障UV光能够深度照射，从而引发其中的UV引发剂产生自由基引发胶黏剂中的活性官能团固化，同时由于胶粘体系中加入了光致产酸剂，UV光引发光致产酸剂产酸，促进染料变色成黑色
深层固化 uv 黑色胶黏剂

[发明专利]一种光致产酸剂、光致产酸剂及其中间体的制备方法-CN202111570737.3在审
发明人：傅志伟;潘新刚;纪兴跃;樊孝通;王剑;余文卿 -专利权人：江苏汉拓光学材料有限公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： C07C309/12 文献下载
摘要：本发明提供一种光致产酸剂、光致产酸剂及其中间体的制备方法。该光致产酸剂包括如下结构通式：光致产酸剂制备方法包括如下步骤：式I化合物进行水解反应，纯化，获得式Ⅱ化合物；式Ⅱ化合物和酸性树脂进行酯化反应，纯化，获得式Ⅲ化合物；式Ⅲ化合物和还原剂进行还原反应，纯化，获得式Ⅳ化合物；式Ⅳ化合物、本发明制备光致产酸剂是一种新的光致产酸剂，具有良好的脂溶性，且制备方法的收率高和纯度高。
一种光致产酸剂及其中间体制备方法

[发明专利]含氟光致产酸剂及其制备方法与应用-CN202110872948.6在审
发明人：董其宝;符勇 -专利权人：安徽庆润新材料技术有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： C07C309/42 文献下载
摘要：本发明公开一种含氟光致产酸剂，涉及光敏树脂合成技术领域，含氟光致产酸剂包括结构式E、结构式F所示的化合物中的一种或两种，或所述含氟光致产酸剂的结构式为本发明还提供上述本发明的含氟光致产酸剂的制备方法及应用本发明的有益效果在于：本发明的含氟光致产酸剂及其光敏树脂在193nm处具有低吸收，较高的光学透明性；具有较高的热稳定性能。将产酸剂接枝到聚合物主链上与其他功能性的单体进行共聚，可以有效的降低相分离，防止产酸剂产生的H+向未曝光区域扩散，降低LER，提高感光度和分辨率，同时也具有较低的气体排放的优点。
含氟光致产酸剂及其制备方法应用

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