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[实用新型]光罩盒及光罩传送盒-CN200720150387.4有效
发明人：李柏欣 -专利权人：家登精密工业股份有限公司
申请日： 2007-06-28 - 公布日： 2008-08-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型的光罩盒，用于避免环境中微粒对光罩造成污染，以及防止电荷累积产生的静电放电破坏。此光罩盒由两盖体所组成；其中至少一个盖体的材料为高分子材质搀杂金属，此金属可以是不锈钢丝、可导电的金属丝或金属微粒。
光罩盒传送

[发明专利]光罩资源处理方法及系统、装置、设备和介质-CN202310632989.7在审
发明人：范武文;汪玉明 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G06Q10/0631 文献下载
摘要：本公开涉及一种光罩资源处理方法及系统、装置、设备和介质，涉及半导体生产与制造技术领域，可以应用于对光罩资源进行管理的场景。该方法包括：响应于光罩调度指令，获取具有光罩盒的多个曝光制程机台，光罩调度指令基于光罩的光罩调度任务生成；确定多个曝光制程机台对应的空光罩盒总量；在空光罩盒总量大于零的情况下，从多个曝光制程机台中选取目标光罩盒，采用目标光罩盒暂存光罩；在空光罩盒总量等于零的情况下，将光罩存储至光罩存储设备。本公开可以使用机台的光罩盒暂存光罩资源，可以减少空光罩盒进出光罩存储设备的次数，减少光罩存储资源负荷，提高光罩搬运效率。
资源处理方法系统装置设备介质

[发明专利]半导体智能仓储存取光罩盒的方法-CN202310686824.8在审
发明人：沙伟中 -专利权人：苏州艾斯达克智能科技有限公司
申请日： 2023-06-10 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B65G1/137 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体智能仓储存取光罩盒的方法，所述的智能仓储包括：仓储体，用于存放存储半导体晶圆片的光罩盒；所述的仓储体的一侧设置有光罩盒移送循环装置用于对光罩盒进行循环移送；所述的仓储体内的一端设置有光罩盒横向中转机构；所述仓储体内设置有光罩盒取料装置将移送至光罩盒横向中转机构上的光罩盒送入仓储体内，所述光罩盒取料装置将光罩盒送入仓储体的存储光罩盒的光罩盒支架上。通过本智能仓储能够实现对光罩盒在仓储体外的循环存储功能，避免人工对光罩盒的反复搬运，通过取料机构在垂直方向的调节和吸取，增加了对光罩盒取料装置的移动范围和精度。整体提升对光罩盒存取的效率。
半导体智能仓储存取光罩盒方法

[发明专利]光罩盒定位装置以及光刻设备-CN201911175700.3有效
发明人：王珍春;谢万松;董飞;熊易斯 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2019-11-26 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种光罩盒定位装置以及光刻设备，所述光罩盒定位装置用于在将光罩盒放置在光刻机台上和/或从光刻机台上拿取光罩盒时确保光罩盒保持水平，所述光罩盒定位装置包括：导轨结构，设置于所述光刻机台上，所述导轨结构具有至少一个用于限定所述光罩盒的运动轨迹的挡板；以及，水平测量结构，用于在将所述光罩盒放置在所述光刻机台上和/或从所述光刻机台上拿取所述光罩盒时，测量所述光罩盒是否保持水平。本发明的技术方案能够在将光罩盒放置在光刻机台上和/或从光刻机台上拿取光罩盒时确保光罩盒保持水平，进而使得光刻工艺能够顺利进行。
光罩盒定位装置以及光刻设备

[实用新型]具有排水结构的光罩盒-CN201220608737.8有效
发明人：古震维;吕保仪;林志铭;盛剑平 -专利权人：家登精密工业股份有限公司
申请日： 2012-11-08 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： B65D85/38 文献下载
摘要：本实用新型提出一种具有排水结构的光罩盒，光罩盒至少包含一外盒，外盒供一光罩设置，其中，外盒包括一外盒上盖及一外盒下盖，本实用新型的技术特征在于，在外盒下盖上配置多个排水孔，光罩盒经过水清洗后，透过光罩盒的排水孔直接将残留于外盒下盖内的水分子排出，如此无需拆解光罩盒的外盒下盖，不但降低光罩盒对光罩的污染机率，也避免浪费人力及时间拆解光罩盒的外盒下盖。
具有排水结构光罩盒

[实用新型]防光罩盒底盘掉落装置及光罩检测设备-CN202320328390.X有效
发明人：包春月;顾佳灵 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种防光罩盒底盘掉落装置及光罩检测设备，防光罩盒底盘掉落装置包括升降结构和与升降结构连接的保护结构。升降结构，配置为承载光罩盒并带动光罩盒升降，以使得光罩盒远离或靠近光罩检测设备的承载台；保护结构包括连接部、与连接部连接的第一电机以及保护器；连接部固定设置在升降结构上，第一电机配置为通过连接部驱动保护器可拆卸地将光罩盒稳定在所述升降结构上本实用新型提供的防光罩盒底盘掉落装置及光罩检测设备通过升降结构能够带动光罩盒升降从而避免取放光罩盒时误触动卡扣造成底盘脱落，通过保护结构来稳定光罩盒，避免拿取光罩盒过快造成机台宕机。
防光罩盒底盘掉落装置检测设备

[发明专利]一种光罩盒及光罩储存柜-CN202010093165.3有效
发明人：刘智龙;权炳仁;李大烨 -专利权人：夏泰鑫半导体（青岛）有限公司
申请日： 2020-02-14 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明关于一种用于储存光罩之光罩盒及用于储存复数光罩盒之储存柜。所述每一光罩盒用于容纳一光罩组件。所述光罩组件包含一光罩以及一防尘薄膜覆盖于所述光罩上。所述储存柜包含一主架构及一静电产生器。所述主架构具有一内部空间及至少一光罩盒支撑架设置于所述内部空间。所述光罩盒支撑架将所述内部空间分隔成复数储存室对应于所述复数光罩盒。所述储存室用于放置对应的所述光罩盒。所述静电产生器连接于所述光罩组件，用于产生一静电至所述光罩组件。所述静电产生器产生之静电于正电和负电之间交替改变。
一种光罩盒储存

[实用新型]光罩异物检测设备-CN201520329839.X有效
发明人：刘刚;徐勇 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2015-05-21 - 公布日： 2015-09-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光罩异物检测设备，包括：光罩盒，设置于一曝光机内；光罩，存放于所述光罩盒内；清洁装置，设置于所述光罩盒的出口处，用于对移出所述光罩盒的所述光罩进行表面清洁；异物检测器，用于对经过所述清洁装置清洁后的所述光罩进行异物检测本实用新型的光罩异物检测设备，通过在光罩盒的出口处设置清洁装置，可以在光罩移出光罩盒的同时对光罩的表面进行清洁，实现了在光罩异物检测前先进行清洁，减少光罩表面的异物，提高了光罩异物检测的通过率，从而降低光罩异物检测的报警频率
异物检测设备

[实用新型]一种开盒设备-CN201820421471.3有效
发明人：龙春艳;王希军 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2018-03-27 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种开盒设备，属于半导体制造技术领域，适用于开启光罩盒，光罩盒用于放置光罩片，包括：箱体，包括主箱体和设置于主箱体的一侧的背箱体；盒座，设置于主箱体上，用于承载光罩盒；盒座缘，围绕盒座设置，盒座缘的一侧通过一支撑架连接背箱体；用于识别光罩盒形状的第一传感器，朝向盒座设置于盒座的上方；用于识别光罩片的定位标志的第二传感器，朝向盒座设置于盒座缘上；第一传感器和第二传感器连接开盒设备的控制装置上述技术方案的有益效果是：通过设置传感器识别光罩盒的形状和光罩片的定位标志，以便在光罩盒的形状与光罩片的定位标志方向不符时提示工作人员，以避免人工转移光罩片时的误操作问题，提高生产效率。
盒座光罩盒光罩定位标志主箱体开盒第二传感器第一传感器半导体制造技术本实用新型传感器识别控制装置生产效率误操作支撑架承载提示

[实用新型]光罩盒-CN201320263054.8有效
发明人：高海林;张学良 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2013-05-15 - 公布日： 2013-11-06 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种光罩盒，其包括一盒底以及与该盒底配合的盒盖，所述盒底的底部设有至少四个第一固定器；所述第一固定器包括支撑台阶以及自该支撑台阶向上延伸的引导部；所述引导部包括底面、自该底面一侧弯折延伸的引导面以及连接所述引导面和底面的侧面；所述至少四个第一固定器的引导面与支撑台阶围成用于收容光罩的收容腔。本实用新型的光罩盒的固定器与光罩采用面接触式，在方便光罩取放并限制光罩在光罩盒内左右移动的同时，还避免了在光罩放进及取出光罩盒时柔软的光罩薄膜面被划伤；光罩盒的盒盖及盒底均设有固定器，所述固定器的支撑台阶支撑光罩的边缘，能避免光罩的薄膜面及玻璃面因接触光罩盒顶面或底面而造成破损。
光罩盒

[发明专利]一种光罩盒传送系统及生产流水线-CN202110291003.5有效
发明人：林锦鸿;孙亚东;王兆会 -专利权人：泉意光罩光电科技（济南）有限公司
申请日： 2021-03-18 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明公开了一种光罩盒传送系统及生产流水线，光罩盒传送系统包括分别设置在相邻工位机台之间的机械手；机械手上分别设置有夹爪、开盖机构和翻转机构；开盖机构能够打开光罩盒，翻转机构可翻转安装在机械手上，且翻转机构与夹爪连接，夹爪能够夹取光罩盒或者光罩盒内的光罩；机械手带动夹爪抓取上一工位机台载出端口的光罩盒到下一工位机台载入端口处。本发明通过光罩盒传送系统的设置代替了人工搬运光罩盒到各个机台，减少了各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，实现了自动化传送光罩。此外，通过开盖机构打开光罩盒，并通过翻转机构带动光罩翻转翻面，进一步减少了各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，进一步提高了光罩自动化传送。
一种光罩盒传送系统生产流水线

[实用新型]光罩盒-CN201420584031.1有效
发明人：罗铭模;陆隆鸣;江俊彦;陈政欣;邱铭乾 -专利权人：家登精密工业股份有限公司
申请日： 2014-10-10 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型有关于一种光罩盒，该光罩盒包含一盒体、多个压持件与多个连接件，该盒体的内部具有一容置空间，该容置空间容置一光罩，该些压持件设置于该盒体内，该些压持件依据该光罩的尺寸来调整其设置于该盒体的位置，并分别抵压该光罩的侧边，该些连接件分别穿设于相对应的该些压持件，以固定该些压持件于该盒体内。本实用新型的光罩盒的该些压持件能适用于各种尺寸的光罩，因此不须因为光罩的尺寸不同而更换该些压持件，如此可降低该光罩盒的制造成本。
光罩盒

[发明专利]光罩盒-CN201911344964.7在审
发明人：梁贤石 -专利权人：夏泰鑫半导体（青岛）有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：一种光罩盒，用于收容光罩，包括盒体及盖体，所述盒体包括底板及依次相连的第一侧板、第二侧板及第三侧板，所述第一侧板、所述第二侧板、所述第三侧板与所述底板相连，所述盖体包括转动连接的顶盖与侧盖，所述顶盖与所述第二侧板转动连接，所述侧盖至少远离所述顶盖的一端的材质比所述光罩的材质软。本发明的实施例提供的所述光罩盒将容易刮擦所述光罩的所述侧盖远离所述顶盖的一端设置成较软的材质，避免所述光罩上的图案被破坏，影响后续的曝光制程，提高了良率，降低了成本。
光罩盒

[发明专利]光罩盒-CN202010112027.5在审
发明人：邱铭隆 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2020-02-24 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光罩盒，包含底座及上盖。底座包括至少周缘以内部分是以石英制成的座体，及多个下支撑组件，每一个下支撑组件的至少部分凸露出于座体上表面。
光罩盒

[发明专利]光罩盒-CN200810033047.2无效
发明人：吴其颖 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2008-01-24 - 公布日： 2009-07-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种光罩盒，其中，该光罩盒上设置至少一个凸起结构和至少一个封袋，所述凸起结构用于将封袋安装在光罩盒上。所述封袋可以从光罩盒的表面延伸至光罩盒的侧壁。所述封袋可设置有内袋。所述光罩盒上可设置一个标签，该标签粘贴在封袋表面或置于封袋内。所述凸起结构可以与光罩盒一体成形。所述凸起结构可分离地安装在光罩盒上。所述凸起结构设置为一个挂钩，封袋可以悬挂在所述凸起结构上。与现有技术相比，本发明提供的光罩盒上安装有封袋，重新回收使用光罩盒时，只需更换封袋或封袋内的标签即可，有效降低了生产成本。
光罩盒

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