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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[外观设计]光罩存储盒(G6H型)-CN202130647067.5有效
发明人：张剑鸣;陈颖 -专利权人：苏州慧桥自动化设备有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： 03-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：光罩存储盒(G6H型)。2.本外观设计产品的用途：光罩存储盒是液晶行业用于存储mask的存储设备，本款产品主要用于存放日立G6H型光罩存储盒。
存储 g6h

[外观设计]光罩存储盒(G7.5H型)-CN202130647086.8有效
发明人：张剑鸣;陈颖 -专利权人：苏州慧桥自动化设备有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： 03-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：光罩存储盒(G7.5H型)。2.本外观设计产品的用途：光罩存储盒是液晶行业用于存储mask的存储设备，本款产品主要用于存放日立G7.5H型光罩存储盒。
存储 g7

[外观设计]光罩存储盒铝板盖子(C-6型)-CN202230611615.3有效
发明人：张剑鸣;陈颖 -专利权人：苏州慧桥自动化设备有限公司
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： 14-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：光罩存储盒铝板盖子(C‑6型)。2.本外观设计产品的用途：光罩存储盒是液晶行业用于存储mask的存储设备，本款产品为光罩存储盒铝板盖子，主要用于存放佳能6代mask。
存储盒铝板盖子

[外观设计]光罩存储盒PVC盖子(C-6型)-CN202230611619.1有效
发明人：张剑鸣;陈颖 -专利权人：苏州慧桥自动化设备有限公司
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： 14-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：光罩存储盒PVC盖子(C‑6型)。2.本外观设计产品的用途：光罩存储盒是液晶行业用于存储mask的存储设备，本款产品为光罩存储盒PVC盖子，主要用于存放佳能6代mask。
存储 pvc 盖子

[外观设计]光罩存储盒PVC盖子(C-8型)-CN202230611625.7有效
发明人：张剑鸣;陈颖 -专利权人：苏州慧桥自动化设备有限公司
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： 14-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：光罩存储盒PVC盖子(C‑8型)。2.本外观设计产品的用途：光罩存储盒是液晶行业用于存储mask的存储设备，本款产品为光罩存储盒PVC盖子，主要用于存放佳能8代mask。
存储 pvc 盖子

[发明专利]光罩取料装置及其夹持机构-CN201410743224.1在审
发明人：陈明生;邱铭乾 -专利权人：家登精密工业股份有限公司;陈明生
申请日： 2014-12-08 - 公布日： 2016-07-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种光罩取料装置及其夹持机构，其至少包含有一开盒机构及一设于开盒机构上的夹持机构，该夹持机构设于基板上的移动板一侧，其具有一可相对基板上、下位移的座板，且座板底面设有一驱动件，该驱动件可供作动一枢设于座板顶面的旋转悬臂转动，再者旋转悬臂的自由端设有一夹持器，该夹持器具有两同步相对远离或靠近的夹持头，供同步夹掣或释放光罩的相对两侧边缘，如此，光罩取料装置不仅可利用开盒机构来选择性自动化启闭光罩传送盒，进一步并通过夹持机构的夹持器来夹掣光罩，且由于夹持器的夹持头来大幅缩小夹掣光罩的边缘宽度与面积，而不致碰触图罩护膜，也不会影响到对准记号及条码，同时可稳固地夹持光罩，并可提高其工作效率。
光罩取料装置及其夹持机构

[实用新型]光罩取料装置及其夹持机构-CN201420766250.1有效
发明人：陈明生;邱铭乾 -专利权人：家登精密工业股份有限公司;陈明生
申请日： 2014-12-08 - 公布日： 2015-08-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光罩取料装置及其夹持机构，至少包含有一开盒机构及一设于开盒机构上的夹持机构，该夹持机构设于基板上的移动板一侧，其具有一可相对基板上、下位移的座板，且座板底面设有一驱动件，该驱动件可供驱动一枢设于座板顶面的旋转悬臂转动，再者旋转悬臂的自由端设有一夹持器，该夹持器具有两同步相对远离或靠近的夹持头，供同步夹掣或释放光罩的相对两侧边缘，如此，光罩取料装置不仅可利用开盒机构来选择性自动化启闭光罩传送盒，进一步并通过夹持机构的夹持器来夹掣光罩，且由于夹持器的夹持头来大幅缩小夹掣光罩的边缘宽度与面积，而不致碰触图罩护膜，也不会影响到对准记号及条码，同时可稳固地夹持光罩，并可提高其工作效率。
光罩取料装置及其夹持机构

[实用新型]一种具备一体化散热结构的LED照明灯具-CN201220114711.8有效
发明人：黄超 -专利权人：中山市蚂蚁照明光电有限公司
申请日： 2012-03-22 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： F21S8/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具备一体化散热结构的LED照明灯具，包括驱动电源、LED光源、电源盒组件和泛光罩，所述驱动电源与LED光源电气连接，驱动电源安装于电源盒组件内，LED光源安装于泛光罩内，所述电源盒组件和泛光罩构成一体化灯体，灯体外设有散热筋，若干散热筋从灯体顶端沿其外表形状延伸至灯体底部，共同构成一体化的散热结构，这样电源盒组件和泛光罩之间可以进行有效的热传导，使得LED光源的热量可以通过电源盒组件和泛光罩快速释放到广阔的外部空间
一种具备一体化散热结构 led 照明灯具

[实用新型]一种光刻区的光罩盒信息显示装置-CN202123431962.7有效
发明人：周敏;丁珉 -专利权人：无锡芯享信息科技有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： G09F9/37 文献下载
摘要：本实用新型属于光刻机领域，公开了光刻区的光罩盒信息显示装置，包括光罩盒、读写台、无源墨水屏、墨水屏支架、智能标签管理模块，墨水屏支架两端设置有挂耳，中间设置盖板，盖板通过螺丝固定到墨水屏支架上，挂耳与墨水屏支架一体或通过螺丝固定，墨水屏支架通过挂耳卡槽卡扣到光罩盒的槽位上；无源墨水屏通过螺丝固定到墨水屏支架的盖板上；智能标签管理模块具有RFID读取单元，读取光罩盒的RFID标签信息后发送给MES系统，MES系统将晶圆的批次信息发送到智能标签管理模块本实用新型可实时显示光罩盒的批次信息，屏幕常亮。
一种光刻光罩盒信息显示装置

[实用新型]一种光罩盒位置监控系统-CN201420307350.8有效
发明人：潘锋 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2014-06-10 - 公布日： 2014-11-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种光罩盒位置监控系统，至少包括：载有光罩盒的传送主体；设于传送主体上表面且将光罩盒嵌于其中的矩形组件；矩形组件第一边设有第一半反射镜和一光源，位于该第一边上用于接收所述第一半反射镜反射光的第二半反射镜；第一半反射镜的透射光和第二半反射镜的反射光依次经过该光罩盒的外壳和中心底座；矩形组件中与第一边平行的另一边设有依次用于接收第一半反射镜透射光及第二半反射镜反射光的第一、第二传感器；设于传送主体上表面的至少两个活动支柱；活动支柱经过第一半反射镜透射光。本实用新型减少传送过程中因位置不精确导致传送失败的几率和机械手臂受到撞击而刮伤光罩的几率，并减小因宕机对光罩产生影响的风险。
一种光罩盒位置监控系统

[实用新型]一种光刻机静电检测系统-CN202222862962.0有效
发明人：丁大胜 -专利权人：杭州富芯半导体有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01R29/12 文献下载
摘要：本申请提供一种光刻机静电检测系统，光刻机包括机台，机台上设置有光罩盒载台和多个光罩传输区域，光罩盒载台中放置有多个光罩，静电检测系统包括：传输装置和静电测试仪，传输装置设置于机台上，传输装置用于取放光罩，并将光罩传输至各个光罩传输区域；静电测试仪安装于每个光罩上，传输装置将光罩传输至各个光罩传输区域时，静电测试仪对相应区域进行静电检测。本申请中的光罩在传输过程中会在外部显示器上显示当前位置，同一时间静电测试仪所测得的静电大小也反馈到外部显示器，能够准确测量静电大小及对应的位置，确保机台在跑货后光罩不受静电影响导致图案受损可以根据位置准确的将静电去除
一种光刻静电检测系统

[发明专利]光罩盒及半导体设备-CN202110813124.1在审
发明人：单闯;王晓玲 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-07-19 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，提出了一种光罩盒及半导体设备。光罩盒，包括：本体，本体具有用于容纳光罩的容纳空间，容纳空间具有第一开口，第一开口位于本体的周向侧部；遮挡件，遮挡件设置在本体上，且相对于本体可活动地设置，以遮挡或释放第一开口。由于第一开口位于本体的周向侧部，用于遮挡或释放第一开口的遮挡件在释放第一开口时，光罩盒属于前后分开的方式，有效地避免气流扰动现象的出现，减少了灰尘污染光罩的现象，有效提高了半导体结构的良品率。
光罩盒半导体设备

[实用新型]光罩盒打包装置-CN202121679322.5有效
发明人：冯庆雄;王志峰;杨大鹏;薛联金;丘晓明 -专利权人：厦门普诚科技有限公司
申请日： 2021-07-22 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： B65B43/42 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种光罩盒打包装置，包括输送导轨、托盘；所述托盘由所述输送导轨运输，所述托盘上放置光罩盒；所述输送导轨的侧部设置有封口组件，所述封口组件与所述托盘的一侧边平行；所述输送导轨的一端设置有机械手应用本技术方案可实现自动化打包光罩盒。
光罩盒打包装置

[发明专利]光罩盒及其组件-CN201811640863.X在审
发明人：邱铭乾;潘咏晋;罗孝嘉 -专利权人：家登精密工业股份有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种光罩盒及其组件。所述组件主要包括一主支架及二接合板，且所述二接合板各设置于所述主支架的两端上。其中，所述主支架及所述二接合板共构出一第一装设部及一第二装设部，且所述组装件嵌设于光罩盒的上盖或下盖。
光罩盒及其组件

[实用新型]气密光罩盒构造-CN201120287215.8有效
发明人：陈明生 -专利权人：陈明生
申请日： 2011-08-09 - 公布日： 2012-04-18 - 主分类号： B65D85/38 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气密光罩盒构造，特别是指一种密封性佳、且可防止微粒侵入的气密光罩盒构造，其是由可相对盖合的一本体与一盖体所组成，且本体与盖体之间形成有一容置光罩的空间，本实用新型的特色在于本体与盖体的至少其中之一，在两者相对盖合的其中一接合表面上设有一道软质的弹性密合件，通过本实用新型的设计，可借由软质的弹性密合件使光罩盒的本体与盖体的接合表面产生较佳的贴合性与气密性，如此可有效防止外部微粒、水气或有害物质侵入光罩盒内部，以提升光罩储存时的洁净度，可避免光罩表面因微粒、水气或有害物质附着而破坏表面图案，而能用于保存或运输光罩。
气密光罩盒构造

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