“光栅干涉仪”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果823114个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种计算光栅干涉仪位移补偿参数的装置和方法-CN202110298319.7在审
发明人：张文涛;杜浩;熊显名;曾启林;朱保华;张玉婷;徐韶华;李洪阳 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2021-03-19 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种计算光栅干涉仪位移补偿参数的装置和方法，包括运动台119、外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪。所述外差式光栅干涉仪包括读数头(115‑118)、二维光栅(111‑114)，4块二维光栅放置在运动台(119)上，每块二维光栅对应一个读数头，读数头出射激光束至二维光栅，并收集二维光栅的衍射光束。外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪能够同时测量运动台的位移，根据上述布局建立外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪的测量模型；设定运动台的轨迹，在不同轨迹下获取外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪分别测量的运动台位移，以外差式激光干涉仪的测量数据为参考，计算外差式光栅干涉仪测量模型中的位移补偿参数。本发明可用于超精密光栅干涉仪的校准。
一种计算光栅干涉仪位移补偿参数装置方法

[发明专利]一种计算光栅干涉仪安装误差的装置和方法-CN202010801107.1在审
发明人：张文涛;杜浩;熊显名;曾启林;徐绍华;张玉婷;李洪阳 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2020-08-11 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种计算光栅干涉仪安装误差的装置和方法，包括承载台9、框架10和测量装置，所述测量装置设置于承载台与框架之间；测量装置包括4组光栅干涉仪，承载台底面上设置有4个一维光栅(5‑8)，4个光栅的矢量方向沿逆时针方向旋转，在每个一维光栅的上方设置有一个二维读头(1‑4)。根据光栅干涉仪的安装布局，建立光栅干涉仪解算模型，光栅干涉仪解算模型中的自由度系数是由读头、光栅的定义位置和定义的安装误差计算得到，通过设置各个读头、光栅的安装误差表，计算误差表中满足光栅干涉仪测量精度的安装误差项，即可得到各个读头和光栅的安装误差范围。本发明可用于超精密光栅干涉仪的校准。
一种计算光栅干涉仪安装误差装置方法

[发明专利]一种波分复用器-CN202210934510.0有效
发明人：辛田;冯大增;武爱民 -专利权人：上海羲禾科技有限公司
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G02B6/293 文献下载
摘要：本申请涉及一种波分复用器，该波分复用器包括光栅、马赫泽德干涉仪和调相模块；调相模块与马赫泽德干涉仪连接；调相模块用于根据当前环境温度对马赫泽德干涉仪进行相位调制；马赫泽德干涉仪的输出端与光栅的输入端连接；马赫泽德干涉仪，用于在调相模块的调制下，对光信号进入光栅的输入路径进行校准；或者；马赫泽德干涉仪的输入端与光栅的输出端连接；马赫泽德干涉仪，用于在调相模块的调制下，对光栅所输出的光信号的输出路径进行校准如此，可以有效解决现有技术中不同温度环境下，光栅输出通道中心波长易发生漂移的问题。
一种波分复用器

[发明专利]一种光栅干涉仪对准误差实时校正方法-CN201710673638.5在审
发明人：夏豪杰;张欣;于连栋;李维诗;陈长春;胡梦雯;张海铖;吴晓婷 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2017-08-09 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种光栅干涉仪对准误差实时校正方法，包括光栅干涉仪位移测量光路、位姿偏转检测光路、光电检测模块、干涉仪信号处理与误差补偿模块。光栅干涉仪位移测量光路主要由激光光源、光栅、非偏振分光镜、偏振分光镜、四分之一波片组成；位姿偏转检测光路主要由半透半反镜和聚焦透镜组成；干涉仪信号处理与误差补偿处理光栅干涉仪信号位移解调与光栅测量误差补偿本发明利用对称光路以及四象限探测器来测量光学读数头相对于光栅尺空间位姿绕x轴、y轴和z轴偏转量，通过误差补偿模型对位移测值实时进行实时校正，最终达到提高光栅干涉仪测量精度的目的，测量简单，误差小。
一种光栅干涉仪对准误差实时校正方法

[发明专利]一种旋转平台的旋转测控装置-CN202110067126.0在审
发明人：李艳丽;伍强 -专利权人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2021-01-19 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转平台的旋转测控装置，包括：旋转平台、磁悬浮平面旋转电机、柱形光栅干涉仪，所述柱形光栅干涉仪包括柱形光栅尺、多个光栅尺读数头以及位于所述柱形光栅尺底部的平面干涉仪，柱形光栅干涉仪用于测量所述旋转平台转动角度、在水平方向和竖直方向的偏移量以及在竖直方向的倾斜量；所述磁悬浮平面旋转电机根据所述柱形光栅干涉仪的测量结果，对旋转平台进行转动控制，以及对水平方向和竖直方向的偏移量和竖直方向的倾斜量进行补偿。本发明采用磁悬浮平面旋转电机对承载工件台的旋转平台进行旋转驱动，使用柱形光栅干涉仪对转动角度和偏移量进行实时测量和反馈补偿及控制，从而确保旋转平台能够精准地将工件台交换到对应的工位。
一种旋转平台测控装置

[发明专利]一种基于光栅干涉仪的精密高度计-CN201610936769.3在审
发明人：夏豪杰;张欣;张海铖;胡梦雯;陈长春 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2016-10-25 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光栅干涉仪的精密高度计，包括传动结构、光栅干涉仪系统和显示装置。传动结构包括测量导轨、配重导轨、测头和配重，光栅干涉仪系统包括标尺光栅、光路干涉系统、光电检测单元以及信号处理单元。本发明利用光栅干涉仪代替常用光栅传感器来研发具有纳米级分辨率的精密高度计，是一种能实现高精度、高分辨率的测量系统。
一种基于光栅干涉仪精密高度计

[发明专利]一种空间外差干涉仪光栅的胶合检测方法-CN201010046536.9无效
发明人：熊伟;施海亮;罗海燕;李大成;吴军;方勇华 -专利权人：中国科学院安徽光学精密机械研究所
申请日： 2010-01-13 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种空间外差干涉仪光栅的胶合检测方法，涉及光学仪器领域。待胶合空间外差干涉仪竖直放置于胶合装调机构的透明平台上，由激光器输出的激光经积分球漫反射形成均匀面光源，入射至准直系统形成平行光，入射待胶合空间外差干涉仪上。在待胶合空间外差干涉仪出射端形成干涉条纹，最终经成像系统后由CCD接收干涉条纹，并在计算机上实时显示。计算特定波长光源λ0经干涉系统后在CCD整个像面宽度w1上，形成fx个干涉条纹。在待胶合空间外差干涉仪上均匀地涂覆光敏胶，微量调整两臂光栅倾角α和β，读取CCD整幅像面内的干涉条纹f变化到fx时止，使两光栅定位，固化被胶合的两光栅。本发明解决了空间外差干涉仪胶合过程中光栅倾角难以准确控制的技术问题。本发明两臂光栅倾角误差可控制在2.5″以内。
一种空间外差干涉仪光栅胶合检测方法

[发明专利]利用光纤光栅的合成波干涉台阶高度在线测量系统-CN200710122403.3无效
发明人：谢芳;张琳 -专利权人：北京交通大学
申请日： 2007-09-25 - 公布日： 2008-02-20 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用光纤光栅的合成波干涉台阶高度在线测量系统。利用光纤光栅反射布拉格波长特性构成复合光纤干涉仪，该干涉仪含二个光路几乎重合的光纤迈克尔逊干涉仪。一个干涉仪用于测量；另一个干涉仪用于稳定系统，经反馈控制补偿修正环境干扰对测量系统的影响，从而使系统适用于在线测量。波长均在1550nm波段但波长各不同的三个激光器发出的光，由于光纤光栅反射布拉格波长和啁啾光纤光栅反射特定光谱的作用，使一个波长作用于稳定干涉仪中，稳定测量系统；另二个波长作用于测量干涉仪中，产生合成波干涉调节作用于测量干涉仪的二个波长的大小，可得不同大小的合成波长，实现对不同高度台阶的测量。
利用光纤光栅合成干涉台阶高度在线测量系统

[发明专利]一种三光栅拼接系统-CN202011051435.0有效
发明人：吉日嘎兰图;尹云飞;巴音贺希格;李文昊;张伟;王耕 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：一种三光栅拼接系统，三光栅拼接系统包括：干涉仪波前测量系统、光栅拼接机构，干涉仪波前测量系统包括激光干涉仪、二维角度调整机构，二维角度调整机构设置于激光干涉仪的斜下面，光栅拼接机构包括气浮隔振平台、支撑及水平粗调机构、平行支架、底板和光栅位置调整及定位机构，气浮隔振平台设置于激光干涉仪的正下方，支撑及水平粗调机构设置在气浮隔振平台上，并位于激光干涉仪的四周，支撑及水平粗调机构的四个定位支架位于同一水平面上，平行支架设置在支撑及水平粗调机构上，底板设置在平行支架上，光栅位置调整及定位机构设置在底板上。本申请的三光栅拼接系统拼接精度和拼接效率高。
一种光栅拼接系统

[实用新型]一种基于并联游标效应的温度传感系统-CN202220876142.4有效
发明人：王婷婷;王秀婷;孙家程 -专利权人：南京信息工程大学
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本实用新型公开一种基于并联游标效应的温度传感系统，包括：电脑、光纤光栅解调仪、跳线、隔离器、耦合器、参考干涉仪、传感干涉仪、温箱，所述电脑连接所述光纤光栅解调仪以太网接口，所述光纤光栅解调仪输出端通过跳线连接所述隔离器输入端，所述隔离器输出端通过跳线连接所述耦合器输入端，所述耦合器输出端通过跳线分别连接所述参考干涉仪输入端与温箱输入端，所述参考干涉仪输出端与温箱输出端均通过跳线连接所述耦合器输入端，所述耦合器输出端通过跳线连接所述光纤光栅解调仪输入端，本实用新型能够通过分别控制传感干涉仪和参考干涉仪的自由光谱范围(FSR)可以获得较高的温度测量灵敏度。
一种基于并联游标效应温度传感系统

[发明专利]一种高热稳定性整体式多普勒差分干涉仪-CN202211191556.4在审
发明人：畅晨光;孙剑;李娟;武俊强;郝雄波;李勇;吴阳;冯玉涛 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G01J3/45 文献下载
摘要：本发明涉及一种多普勒差分干涉仪，具体涉及一种高热稳定性整体式多普勒差分干涉仪。解决现有整体式多普勒差分干涉仪中胶合应力和热应力易使光栅面型变差，导致整体式多普勒差分干涉仪的图像质量和稳定性下降，以及支撑元件存在胶合质量较差、装配及加工难度大的技术问题。本发明干涉仪对光栅基底和光栅支撑元件进行结构设计和材料设计，将光栅面与粘接面分开，将光栅支撑元件设计为整体式结构且一端为不连续的支撑块，使光栅基底主要变形发生在粘接面，保证光栅面的面型精度，提高干涉图质量和稳定性；将光栅基底材料与视场展宽棱镜材料匹配，使温度变化时光栅入射角的变化量抵消Littrow角变化量，避免引入光程差变化。
一种高热稳定性整体多普勒干涉仪

[发明专利]双脉冲非匹配短干涉仪的光栅增强型分布式振动传感系统与方法-CN202310089782.X在审
发明人：李政颖;王一鸣;王洪海;桂鑫;何思琪;姜德生 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种双脉冲非匹配短干涉仪的光栅增强型分布式振动传感系统，它包括脉冲光调制器、双脉冲程序控制器、光纤放大器、第一光环形器、第一光栅阵列光纤、第二光环形器、非匹配短干涉仪、三通道光电探测器和三通道数据采集卡，本发明采用双脉冲非匹配短干涉仪实现光栅反射信号的干涉振动传感，当接入不同光栅间距的光栅阵列光纤时，无需将系统内部的干涉仪臂长差调整到与光栅间距一致，只需调节双脉冲时延即可实现对不同光栅间距的光栅阵列光纤形成干涉传感
脉冲匹配干涉仪光栅增强分布式振动传感系统方法

[发明专利]一种刀具颤振状态的在线检测装置-CN202111157590.5有效
发明人：吉日嘎兰图;李文昊;刘兆武;尹云飞;王玮;糜小涛;李晓天 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种刀具颤振状态的在线检测装置，包括双频激光干涉仪、第一分光棱镜、激光干涉仪Y向测量单元、激光干涉仪X向测量单元、第三分光棱镜、二维光栅、二维光栅衍射结构单元、光栅Z向位移测量单元、光栅Y向位移测量单元、光栅X向位移测量单元、第三反射镜、二维光栅和第六反射镜。通过激光干涉仪Y向测量单元和激光干涉仪X向测量单元测量第三反射镜和第六反射镜的位移，将位移作为刀具的位移对照数据，通过二维光栅、光栅Z向位移测量单元、光栅Y向位移测量单元和光栅X向位移测量单元得到基于光栅测量原理得到的刀具位移基础数据
一种刀具状态在线检测装置

[发明专利]一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统-CN201310243113.X有效
发明人：张鸣;朱煜;王磊杰;杨开明;刘召;成荣;刘昊;徐登峰;叶伟楠;张利;赵彦坡;田丽;张金;胡金春;穆海华;尹文生;秦慧超 -专利权人：清华大学
申请日： 2013-06-19 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件；光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量双频激光器出射的双频激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出两路光信号至接收器，后至电子信号处理部件。当光栅干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。
一种自由度外差光栅干涉仪位移测量系统

[发明专利]一种长波红外多普勒差分干涉仪光栅组件低温安装结构-CN202111273148.9有效
发明人：张兆会;孙剑;吴阳;武俊强;韩斌;畅晨光;冯玉涛 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： G01P1/00 文献下载
摘要：本发明属于光学工程领域，提供了一种长波红外多普勒差分干涉仪光栅组件低温安装结构，旨在解决传统长波红外低温光机结构因不同元件材料低温热膨胀系数不匹配，在温度载荷变化时发生安装预紧力的改变，进而造成结构组件位置改变，使干涉条纹产生倾斜、调制度下降，最终影响光学系统成像质量和稳定性的问题。本发明包括长波红外干涉仪支架、光栅压板、光栅压板固定件。光栅压板内部安装光栅元件，光栅压板与干涉仪支架结构紧密贴合连接，通过光栅压板固定件的柔性压块进行轴向定位压紧，保证低温状态下光栅压板基准结构始终与干涉仪支架紧密贴合，提供可靠有效的安装，具有结构简单，加工
一种长波红外多普勒干涉仪光栅组件低温安装结构

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条