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- [发明专利]产生光刻胶图案的方法-CN201010153353.7无效
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畑光宏;釜渊明
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住友化学株式会社
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2010-04-21
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2010-10-27
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G03F7/00
- 本发明提供一种产生光刻胶图案的方法，包括下列步骤：在衬底上施加第一光刻胶组合物然后进行干燥以形成第一光刻胶膜；预烘第一光刻胶膜；将预烘过的第一光刻胶膜曝露于辐射；烘焙曝露过的第一光刻胶膜；用第一碱性显影剂使烘焙过的第一光刻胶膜显影以形成第一光刻胶图案；使形成的第一光刻胶图案对下述步骤中的辐射无活性、不溶于碱性显影剂或者不溶于第二光刻胶组合物；在其上已经形成有第一光刻胶图案的衬底上施加第二光刻胶组合物，然后进行干燥以形成第二光刻胶膜；预烘第二光刻胶膜；使预烘过的第二光刻胶膜曝露于辐射；烘焙曝露过的第二光刻胶膜；和用第二碱性显影剂使烘焙过的第二光刻胶膜显影以形成第二光刻胶图案。
- 产生光刻图案方法
- [发明专利]表面贴片的纠偏补偿方法-CN202310081493.5在审
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佘小将;张萌
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厦门微亚智能科技有限公司
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2023-01-28
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2023-08-29
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G03F7/16
- 本申请涉及屏幕准备工艺技术领域，尤其涉及一种表面贴片的纠偏补偿方法，S100、获取玻璃位置，使玻璃两端和光刻胶膜两端重合宽度达到预定数值；S200、控制机械手往下运动，驱动光刻胶膜在高度与玻璃相接和，并调光刻胶膜，使玻璃和光刻胶膜重合且部分宽度一致；S300、使用短压头对光刻胶膜进行热压，并调整光刻胶膜，直至光刻胶膜与第二段两端重合且宽度一致，再对第二段进行热压；S400、重复调整光刻胶膜，使光刻胶膜在第三段与玻璃重合且宽度一致；直至整条光刻胶膜全部贴在玻璃上，以确保整条光刻胶膜与玻璃重合且宽度一致。
- 表面纠偏补偿方法
- [发明专利]产生光刻胶图案的方法-CN201010153376.8无效
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畑光宏;山本敏;藤裕介
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住友化学株式会社
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2010-04-21
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2010-10-27
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G03F7/00
- 本发明提供一种产生光刻胶图案的方法，包括步骤(A)至(D)：(A)用第一光刻胶组合物在衬底上形成第一光刻胶膜、使第一光刻胶膜曝露于辐射、然后使曝露过的第一光刻胶膜显影以获得第一光刻胶图案的步骤，第一光刻胶组合物包含树脂、产酸剂和交联剂，树脂含有在其侧链中具有酸不稳定基团的结构单元并且自身在碱性水溶液中不可溶或可溶性差，但通过酸的作用变为在碱性水溶液中可溶，(B)在190-250℃烘焙所得第一光刻胶图案10-60秒的步骤，(C)用第二光刻胶组合物在其上形成有第一光刻胶图案的衬底上形成第二光刻胶膜并使第二光刻胶膜曝露于辐射的步骤，(D)使曝露过的第二光刻胶膜显影以获得第二光刻胶图案的步骤。
- 产生光刻图案方法
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