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[发明专利]用于光刻设备的离轴对准系统及对准方法-CN201210042665.X有效
发明人：张鹏黎;徐文;王帆 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-02-24 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明公开一种用于光刻设备的离轴对准系统，用于测量一对准标记的对准位置信息，包括：照明模块、偏振调节器、参考标记、包括偏振分光器的成像模块、探测模块，本发明主要是透过偏振调节器及偏振分光强调整参考光及探测光的能量比，并探测参考光及探测光在参考光栅处二次衍射产生的各级次衍射光的干涉光束，之后根据探测结果确定对准标记位置。
用于光刻设备对准系统方法

[发明专利]一种双庞加莱球偏振态追踪系统及方法-CN202210793888.3在审
发明人：许景江;朱明涛;万青云;袁钘;张轶星;卢兆东;冯中武;黄燕平;蓝公仆;杨盛凯;于波;贾海波;赵士勇;任尚杰 -专利权人：佛山科学技术学院
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明提供了一种双庞加莱球偏振态追踪系统及方法，其中系统包括包括发光组件、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、第三光纤耦合器、第二偏振控制器、第三偏振控制器、第四偏振控制器、第一偏振分束器、第二偏振分束器、参考臂、样品臂、偏振复用模块、环形器、第一平衡探测器和第二平衡探测器；该系统通过偏振复用模块产生两束在庞加莱球上正交的偏振光，使用两个偏振分束器和两个平衡探测器，实现建立两个庞加莱球，并对各庞加莱球实现两束在庞加莱球上的偏振光的输出偏振态使用庞加莱球偏振态追踪算法本发明弥补了现有技术中因样品光轴与入射偏振态重合时，偏振态追踪算法失效的不足。
一种双庞加莱球偏振追踪系统方法

[发明专利]一种无盲区的激光雷达系统及大气参数检测方法-CN202110514437.7在审
发明人：孙东松;冼锦洪;杨少辰;徐文静;龙传德;宋庆春 -专利权人：孙东松;冼锦洪;杨少辰;徐文静;龙传德;宋庆春
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： G01S17/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种无盲区的激光雷达系统及大气参数检测方法，其中系统包括：激光器、第一偏振分束镜、偏振方向控制器、第二偏振分束镜、第一探测器、第二探测器和处理器；所述激光器出射光束的光路为出射光路；所述出射光路上设置有所述偏振方向控制器；所述偏振方向控制器处于第一状态时，不改变所述激光器出射光束的偏振方向，处于第二状态时，将光束的偏振方向旋转90度；经大气相互作用后反射的垂直偏振光束被第一偏振分束镜反射至第一探测器；反射回来的平行偏振光束被处于第二状态的偏振方向控制器变成垂直偏振光束后，被第二偏振分束镜反射至第二探测器；整个过程中，发射光束和反射光束同轴，实现了激光雷达系统的无盲区接收。
一种盲区激光雷达系统大气参数检测方法

[实用新型]一种无盲区的激光雷达系统-CN202121002818.9有效
发明人：孙东松;冼锦洪;杨少辰;徐文静;龙传德;宋庆春 -专利权人：孙东松;冼锦洪;杨少辰;徐文静;龙传德;宋庆春
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： G01S17/95 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种无盲区的激光雷达系统，其中系统包括：激光器、第一偏振分束镜、偏振方向控制器、第二偏振分束镜、第一探测器、第二探测器和处理器；所述激光器出射光束的光路为出射光路；所述出射光路上设置有所述偏振方向控制器；所述偏振方向控制器处于第一状态时，不改变所述激光器出射光束的偏振方向，处于第二状态时，将光束的偏振方向旋转90度；经大气相互作用后反射的垂直偏振光束被第一偏振分束镜反射至第一探测器；反射回来的平行偏振光束被处于第二状态的偏振方向控制器变成垂直偏振光束后，被第二偏振分束镜反射至第二探测器；整个过程中，发射光束和反射光束同轴，实现了激光雷达系统的无盲区接收。
一种盲区激光雷达系统

[发明专利]一种实时浑浊介质目标识别系统和方法-CN202110573758.4有效
发明人：廖然;马辉;刘通 -专利权人：清华大学深圳国际研究生院
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01N15/00 文献下载
摘要：一种实时浑浊介质目标识别系统，包括颗粒物探测器和目标探测器，颗粒物探测器现场测量包含颗粒物的浑浊介质的偏振光散射信息，建立和更新浑浊介质的偏振光散射物理模型，偏振光散射物理模型模拟在偏振光照射下浸在浑浊介质中的待测目标的偏振图像，通过模型计算，获得对现场待测目标的最佳偏振照明‑检测组合测量方式，目标探测器控制照明光源与偏振检测器按照最佳偏振照明‑检测组合测量方式，实施现场偏振图像的测量，获得使浑浊介质中的待测目标具有最大对比度的偏振图像利用现场测量获得的信息，获得最佳偏振照明‑检测组合，让待测目标的对比度最高、分辨率最好，极大地提高了对现场目标识别的准确度。
一种实时浑浊介质目标识别系统方法

[发明专利]一种空间目标三维信息实时探测系统-CN201711026585.4在审
发明人：于洪涛;于洪波;贺东雷;尹骁 -专利权人：广东建元和安科技发展有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：一种空间目标三维信息实时探测系统，包括偏振成像探测子系统、跟踪子系统、标定子系统以及跟踪转台子系统，偏振成像探测子系统、跟踪子系统、标定子系统设置在跟踪转台子系统右侧；跟踪子系统与标定子系统并排设置，跟踪子系统的光轴与标定子系统的光轴平行设置；偏振成像探测子系统设置在跟踪子系统与标定子系统下方，并且偏振成像探测子系统的光轴与跟踪子系统及标定子系统的光轴相垂直。本发明通过光机结构设计，将激光测距跟踪、可控标定与可见光、红外多谱段、多维度偏振成像探测相结合，实现了对空间碎片的实时探测。
标定跟踪子系统偏振成像探测子系统光轴实时探测系统空间目标三维信息转台跟踪子系统设置可见光并排设置光机结构光轴平行激光测距空间碎片实时探测多谱段多维度可控探测垂直

[发明专利]基于偏振探测的远距离激光半主动方位测量装置-CN201710308205.X有效
发明人：张勇;宁敏;刘越豪;赵远;康禹;向振佼 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2017-05-04 - 公布日： 2018-10-30 - 主分类号： G01V8/10 文献下载
摘要：基于偏振探测的远距离激光半主动方位测量装置，涉及远距离目标方位探测技术领域。本发明是为了解决现有激光方位测量装置进行远距离目标方位探测时，输入信号会被系统噪声所淹没，影响激光方位测量装置的探测能力的问题。本发明所述的基于偏振探测的远距离激光半主动方位测量装置，传统激光半主动方位测量装置的光学透镜组前依次设有一号1/4波片、二号1/4波片和四象限偏振片，且四象限偏振片与光学透镜组相邻，二号1/4波片仅覆盖四象限偏振片的第一象限和APD探测器的第一象限。本发明适用于进行远距离目标方位探测。
基于偏振探测远距离激光主动方位测量装置

[实用新型]一种空间目标三维信息实时探测系统-CN201721403984.3有效
发明人：于洪涛;于洪波;贺东雷;尹骁 -专利权人：广东建元和安科技发展有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：一种空间目标三维信息实时探测系统，包括偏振成像探测子系统、跟踪子系统、标定子系统以及跟踪转台子系统，偏振成像探测子系统、跟踪子系统、标定子系统设置在跟踪转台子系统右侧；跟踪子系统与标定子系统并排设置，跟踪子系统的光轴与标定子系统的光轴平行设置；偏振成像探测子系统设置在跟踪子系统与标定子系统下方，并且偏振成像探测子系统的光轴与跟踪子系统及标定子系统的光轴相垂直。本实用新型通过光机结构设计，将激光测距跟踪、可控标定与可见光、红外多谱段、多维度偏振成像探测相结合，实现了对空间碎片的实时探测。
标定跟踪子系统偏振成像探测子系统光轴实时探测系统空间目标三维信息转台跟踪本实用新型子系统设置可见光并排设置光机结构光轴平行激光测距空间碎片实时探测多谱段多维度可控探测垂直

[发明专利]一种高动态水下无线光接收系统-CN202110488580.3有效
发明人：张建磊;兰香;贺锋涛;杨祎;张斌;段作梁;陆蓉;王烨 -专利权人：西安邮电大学
申请日： 2021-05-06 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H04B10/61 文献下载
摘要：包括：偏振分束器，及包括依次排列的第一偏振片、第一聚焦透镜和光功率计；和依次排列的第二偏振片、第二聚焦透镜和光电探测器；第一驱动单元和第二驱动单元；控制器，与第一驱动单元、第二驱动单元和光功率计分别连接，接收光功率计发送的功率值，记录功率值，并结合存储的光电探测器的饱和阈值计算第二偏振片的旋转角度，从而驱动第二驱动单元，以避免光电探测器发生光饱和现象。本发明可以获得进入第二偏振片的第二偏振光的功率值，并结合光电探测器的饱和阈值计算第二偏振片的旋转角度，从而控制第二驱动单元调整第二偏振片的角度，以调整光电探测器的接收光强，从而避免光电探测器发生饱和现象
一种动态水下无线接收系统

[实用新型]光学平衡桥式电流互感器-CN200820226577.4无效
发明人：马任德;孟祥省;李爱国 -专利权人：马任德
申请日： 2008-12-08 - 公布日： 2009-10-07 - 主分类号： H01F38/28 文献下载
摘要：光学平衡桥式电流互感器，涉及有偏振片、传感头、波晶片、反射镜、光电探测器A、计算机、光电探测器B和偏振分束器组成。入射光经偏振片进入，偏振片后面设置有传感头，传感头后面设置有波晶片，波晶片之后设置有偏振分束器。偏振分束器在与光电探测器B连接的同时，还与反射镜相连接。反射镜后连接设置有光电探测器A，光电探测器A连接到计算机。偏振分束器后连接光电分束器B，光电分束器B也连接到计算机。通过调节波晶片光轴方向来调节经过传感头出射的光的偏振态，使传感头材料由于温度变化所引起的双折射噪声在平衡桥两探测臂上的分量相等，从而使得平衡桥的输出真正反映了要测量电流的大小。
光学平衡电流互感器

[实用新型]一种分子束外延生长表面监测装置-CN202020540945.3有效
发明人：郭帅;冯巍 -专利权人：新磊半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2020-04-14 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：该监测装置包括：激光光源、线偏振器、分子束外延生长室腔体、光信号探测组件、数据处理组件；线偏振器包括第一线偏振器和第二线偏振器；第一线偏振器设置在激光光源与入光口之间；第二线偏振器设置在出光口与光信号探测组件之间，并且第二线偏振器的偏振轴方向与第一线偏振器的偏振轴方向对应设置。在实现原位监测的光路上，通过在激光光源之后设置第一线偏振器以产生线偏振光，在光信号探测组件之前设置第二线偏振器以透过从出光口出射的线偏振光，经外延片表面反射的线偏振光没有损失，同时抑制了生长室内部组件发出的部分噪声光的透过，提高了光信号探测的信噪比。
一种分子外延生长表面监测装置

[发明专利]双调制CPT差分探测方法及系统-CN202011168758.8有效
发明人：云恩学;李青林;郝强;刘国宾;高玉平;张首刚 -专利权人：中国科学院国家授时中心
申请日： 2020-10-28 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G01J9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种双调制CPT差分探测方法及系统，首先产生左右旋偏振和相位同步调制的相干双色光，与量子共振系统相互作用，将量子系统制备到CPT态；通过偏振和相位的差分时序设计和控制，线偏振双色光与制备到CPT态的量子系统相互作用，其左右旋偏振分量分别产生干涉相长和干涉相消的CPT，之后透射光经由偏振转换与分束器进行空间分离，分别被光电探测器探测，得到差分CPT信号。本发明探测系统结构紧凑，探测对比度高，共模噪声低。
调制 cpt 探测方法系统

[发明专利]高性能圆偏振光探测器及其制备方法-CN202310008843.5在审
发明人：秦伟;胡人杰 -专利权人：山东大学
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H10K30/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用具有广域圆二色性的手性高聚物和倍增型器件结构的高效圆偏振光探测器，相比于传统利用光学偏振片进行圆偏振光探测的手段，本发明制备的圆偏振光探测器集成度高，便携性好。相对于普通有机圆偏振光探测器，由于利用了倍增机理实现了载流子注入，器件的外量子效率突破了百分之百达到103量级，因此器件的探测率和响应度达到1012(Jones)和100(A/W)，表现出优良的探测性能。除此之外，由于活性层的CD信号覆盖可见光至近红外光波段，因此该圆偏振光探测器在多个波段的激光下均可以实现区分左右旋圆偏振光的功能，区分度最高可达0.154(793nm)。
性能偏振光探测器及其制备方法

[发明专利]一种超导单光子探测器探测效率测试装置与方法-CN202110611315.X有效
发明人：庄新港;史学舜;刘长明;张鹏举;刘红博;赵发财;沈荣仁 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十一研究所
申请日： 2021-06-01 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本发明提供了一种超导单光子探测器探测效率测量装置及方法，其中装置由宽光谱相对探测效率测量系统和特殊波长点下的绝对探测效率测量系统组成。测量方法是首先完成超导单光子探测器在特定偏振条件下的宽波段相对探测效率测量，获取相对探测效率曲线；然后在同一偏振条件下进行数个特殊波长点下的绝对探测效率测量，并用该波长点下的绝对探测效率对相对探测效率曲线进行校正，从而实现特定偏振条件下宽波段绝对探测效率的精确测量。本发明方法较为简易和快捷，用于实现对超导单光子探测器在宽光谱范围下探测效率的绝对测量；同时实现在不同入射光偏振态下对超导单光子探测器探测效率的测量。
一种超导光子探测器探测效率测试装置方法

[发明专利]一种结构光相机及3D探测设备-CN202011446264.1在审
发明人：崔尧;沈志强 -专利权人：深圳博升光电科技有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01S17/894 文献下载
摘要：本申请涉及3D探测领域技术领域，公开了一种结构光相机及3D探测设备，所述结构光相机包括：镜头元件、感光元件及偏振元件，所述偏振元件、所述镜头元件及所述感光元件依次布置，或者，所述镜头元件、所述偏振元件及所述感光元件依次布置通过设置偏振元件，偏振元件、镜头元件及感光元件依次设置，或者，镜头元件、偏振元件及感光元件依次设置，以使大部分的自然光过滤掉，从而避免结构光相机产生眩光和过曝问题；此外，提高了结构光相机的信噪比，优化成像质量，从而提高3D探测设备的探测精度。
一种结构相机探测设备

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