专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]互连结构及铜互连结构的制作方法-CN201310069905.X有效
  • 周鸣 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2013-03-05 - 2017-02-08 - H01L23/532
  • 本发明提供了一种铜互连结构及铜互连结构的制作方法。所述铜互连结构包括半导体衬底;位于所述半导体衬底上的第一层间介质层;贯穿所述第一层间介质层的铜插塞;位于所述第一层间介质层上的第二层间介质层;贯穿所述第二层间介质层的铜互连线;所述第一层间介质层与所述铜互连线之间具有第一保护层,所述第二层间介质层与所述铜互连线之间具有第二保护层。本发明提供的铜互连结构中,铜互连线与第一层间介质层之间包括第一保护层,铜互连线与第二介质层之间包括第二保护层,从而避免了铜互连线与第一层间介质层和第二层间介质层直接接触,防止第一层间介质层和第二层间介质层被铜互连线压裂
  • 互连结构制作方法
  • [发明专利]一种用于硅芯片间互连的冗余互连结构-CN201210046598.9有效
  • 甘正浩;徐依协 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2012-02-27 - 2013-09-11 - H01L23/525
  • 本发明提供用于硅芯片间互连的冗余互连结构,包括:多个主互连通道,其下端连接到通过焊点与焊球连接的所述硅芯片下表面的焊盘,上端连接到与所述硅芯片上表面的焊盘连接的金属互连线;多个冗余互连通道,所述多个冗余互连通道中的每个形成于所述多个主互连通道中的每个的旁边;多个反熔丝元件,所述多个反熔丝元件中的每个形成于所述多个主互连通道中的每个的上端与所述多个冗余互连通道中的每个的上端之间的所述金属互连线中;多个熔丝元件,所述多个熔丝元件中的每个形成于所述多个主互连通道中的每个的下端与连接所述硅芯片下表面的焊盘和所述焊球的焊点之间的所述焊盘中
  • 一种用于芯片互连冗余结构
  • [发明专利]金属互连结构形成方法和金属互连结构-CN201110103157.3无效
  • 牟善勇;谭璜 - 上海宏力半导体制造有限公司
  • 2011-04-25 - 2011-09-14 - H01L21/768
  • 本发明提供了一种金属互连结构形成方法和金属互连结构。根据本发明的金属互连结构形成方法包括:金属间介质沉积步骤,用于在形成有有源区结构的半导体器件结构上沉积金属间介质;接触孔图案形成步骤,用于对金属间介质进行刻蚀以形成接触孔图案,金属层形成步骤,用于在形成有接触孔图案的结构上形成金属层根据本发明,通过两次形成金属层以及两次形成金属之间的刻蚀,可以有效地消除接触孔部分的金属互连结构中的空隙,并且使得所形成的金属互连结构更加均匀。
  • 金属互连结构形成方法

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